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公开(公告)号：CN111562149B
公开(公告)日：2024-12-13
申请号：CN202010064575.5
申请日：2020-01-20
Applicant: 日本株式会社日立高新技术科学
IPC: G01N1/28 , G01N1/32 , G01N23/2005 , H01J37/02 , H01J37/20 , H01J37/305
Abstract: 提供薄膜试样片制作方法和带电粒子束装置，能够抑制薄膜试样片的缺损。具有如下工序：从与试样(S)的表面的法线方向(z)交叉的第2方向照射会聚离子束(FIB2)而对试样(S)进行加工，从而制作出薄膜试样片(1)，并且制作出配置于试样(S)薄膜试样片(1)的厚度方向(x)的一侧并使薄膜试样片(1)连接于试样(S)的连结部(3)的工序；使试样(S)绕法线方向(z)旋转的工序；使对薄膜试样片(1)进行保持的探针连接于薄膜试样片(1)的工序；以及从与法线方向(z)交叉的第3方向向连结部(3)照射会聚离子束(FIB3)从而使薄膜试样片(1)从试样(S)分离出来的工序。
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公开(公告)号：CN108335961A
公开(公告)日：2018-07-27
申请号：CN201810034839.5
申请日：2018-01-15
Applicant: 日本株式会社日立高新技术科学
CPC classification number: H01J37/20 , G01N1/286 , G01N2001/2873 , H01J37/28 , H01J37/285 , H01J37/3056 , H01J2237/208 , H01J2237/221 , H01J2237/28 , H01J2237/31745 , H01J2237/31749 , H01J37/3007
Abstract: 本发明提供带电粒子束装置，其自动地重复进行取出通过离子束对试样的加工而形成的试样片并移置到试样片支架上的动作。该带电粒子束装置从试样自动地制作出试样片，其具有：带电粒子束照射光学系统，其照射带电粒子束；试样台，其载置并移动试样；试样片移置单元，其保持从试样分离和取出的试样片并进行输送；支架固定台，其对移置有试样片的试样片支架进行保持；导通传感器，其检测试样片移置单元与对象物之间的导通；以及计算机，其在将试样片移置单元和试样片连接起来时导通传感器未检测到试样片移置单元与试样片之间的导通的情况下，设定时间管理模式。
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公开(公告)号：CN110335800B
公开(公告)日：2024-04-16
申请号：CN201910183164.5
申请日：2019-03-12
Applicant: 日本株式会社日立高新技术科学
IPC: H01J37/20 , H01J37/305 , G01N1/28 , G01N23/04
Abstract: 提供带电粒子束装置。自动反复进行摘出试样片而将其移设于试样片保持器的动作，其中，该试样片是通过离子束对试样的加工而形成的。带电粒子束装置具有计算机，该计算机实施如下控制：在不使将试样片固定在试样保持器上的针旋转的情况下，从带电粒子束照射光学系统对附着于针的沉积膜照射带电粒子束。
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公开(公告)号：CN109817502B
公开(公告)日：2023-07-25
申请号：CN201811363931.2
申请日：2018-11-16
Applicant: 日本株式会社日立高新技术科学
IPC: H01J37/02 , H01J37/08 , H01J37/20 , H01J37/21 , H01J37/22 , G06T3/60 , G06T5/00 , G06T5/50 , G06T7/00
Abstract: 提供带电粒子束装置，自动地重复进行摘出试样片并将其移设于试样片保持器的动作，该试样是通过基于离子束的试样的加工而形成的。带电粒子束装置具有计算机，该计算机对聚焦离子束照射光学系统进行控制，以使得在通过针保持试样片后，设定包含与试样的加工时的深度方向对应的试样片的厚度方向的底部在内的整形加工区域，对整形加工区域照射聚焦离子束而对试样片进行整形加工。
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公开(公告)号：CN108335962B
公开(公告)日：2021-10-15
申请号：CN201810034728.4
申请日：2018-01-15
Applicant: 日本株式会社日立高新技术科学
IPC: H01J37/317 , G01N1/28 , H01J37/20
Abstract: 本发明提供带电粒子束装置，其自动地重复进行取出通过离子束对试样的加工而形成的试样片并移置到试样片支架上的动作。该带电粒子束装置从试样自动地制作出试样片，其具有：带电粒子束照射光学系统，其照射带电粒子束；试样台，其载置并移动试样；试样片移置单元，其保持从试样分离和取出的试样片并进行输送；支架固定台，其对移置有试样片的试样片支架进行保持；以及计算机，其在由试样片移置单元对试样片进行保持之后发生异常的情况下，进行使试样片移置单元所保持的试样片灭失的控制。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN112635277A
公开(公告)日：2021-04-09
申请号：CN202010985029.5
申请日：2020-09-18
Applicant: 日本株式会社日立高新技术科学
IPC: H01J37/147 , H01J37/244 , H01J37/26 , H01J37/28
Abstract: 本发明提供带电粒子束照射装置和控制方法，能够缩短观察多层试样中包含的多个观察对象层各自的物质或构造所需的时间。带电粒子束照射装置具备：会聚离子束镜筒，其对多层试样照射会聚离子束；电子束镜筒，其对多层试样照射电子束；电子检测器，其检测从多层试样产生的二次电子或反射电子；像形成部，其形成基于从电子检测器输出的信号的观察像；以及控制部，其控制会聚离子束镜筒来反复进行如下露出控制：利用会聚离子束朝向层叠方向使多层试样的截面露出，控制部在反复进行露出控制的过程中，每检测出观察对象层在多层试样的截面上露出时，控制电子束镜筒来进行如下观察控制：照射电子束而使像形成部形成多层试样的截面的观察像。
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公开(公告)号：CN105910855B
公开(公告)日：2020-09-04
申请号：CN201610086197.4
申请日：2016-02-15
Applicant: 日本株式会社日立高新技术科学
IPC: G01N1/28
Abstract: 本发明提供带电粒子束装置，其自动重复这样的动作：取出通过利用离子束的试样的加工而形成的试样片并使其移设到试样片保持器。该带电粒子束装置具有计算机，该计算机使用由吸收电流图像形成的模板、和从二次电子图像取得的针的前端坐标，以使针接近试样片的方式控制针驱动机构，该吸收电流图像是将带电粒子束照射到针而得到的，该二次电子图像是将带电粒子束照射到针而得到的。
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公开(公告)号：CN105388048B
公开(公告)日：2019-11-05
申请号：CN201510542307.9
申请日：2015-08-28
Applicant: 日本株式会社日立高新技术科学
IPC: G01N1/28
Abstract: 本发明提供自动试样片制作装置，其使取出通过利用离子束的试样加工而形成的试样片并将其移设到试样片保持器的动作自动化。该自动试样片制作装置具备计算机，该计算机以在试样片与柱状部之间形成沉积膜的方式控制带电粒子束照射光学系统、试样片移设单元和气体供给部，直到试样片移设单元与试样片保持器之间的电气特性达到预定状态为止。
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公开(公告)号：CN105910855A
公开(公告)日：2016-08-31
申请号：CN201610086197.4
申请日：2016-02-15
Applicant: 日本株式会社日立高新技术科学
IPC: G01N1/28
CPC classification number: G01N1/28
Abstract: 本发明提供带电粒子束装置，其自动重复这样的动作：取出通过利用离子束的试样的加工而形成的试样片并使其移设到试样片保持器。该带电粒子束装置具有计算机，该计算机使用由吸收电流图像形成的模板、和从二次电子图像取得的针的前端坐标，以使针接近试样片的方式控制针驱动机构，该吸收电流图像是将带电粒子束照射到针而得到的，该二次电子图像是将带电粒子束照射到针而得到的。
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公开(公告)号：CN108335961B
公开(公告)日：2021-10-15
申请号：CN201810034839.5
申请日：2018-01-15
Applicant: 日本株式会社日立高新技术科学
Abstract: 本发明提供带电粒子束装置，其自动地重复进行取出通过离子束对试样的加工而形成的试样片并移置到试样片支架上的动作。该带电粒子束装置从试样自动地制作出试样片，其具有：带电粒子束照射光学系统，其照射带电粒子束；试样台，其载置并移动试样；试样片移置单元，其保持从试样分离和取出的试样片并进行输送；支架固定台，其对移置有试样片的试样片支架进行保持；导通传感器，其检测试样片移置单元与对象物之间的导通；以及计算机，其在将试样片移置单元和试样片连接起来时导通传感器未检测到试样片移置单元与试样片之间的导通的情况下，设定时间管理模式。
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