在导向套筒内表面形成硬质碳膜的方法

    公开(公告)号:CN1178257A

    公开(公告)日:1998-04-08

    申请号:CN97116061.9

    申请日:1997-08-19

    Abstract: 本发明将自动车床中用于保持被加工件使之可以旋转和沿轴向运动的导向套筒放置在真空槽中,在导向套筒和被加工件滑动接触的内表面上,形成质量均匀粘着性好的硬质碳膜。为此,将导向套筒放置于真空槽中,在构成上述内表面的中心开口处插入辅助电极,将该电极接地;在将真空槽排气后,经气体导入口将含碳的气体导入真空槽中,在上述导向套筒上经电抗器加上直流电压后,在真空槽中产生等离子体,利用等离子体CVD法在导向套筒的内表面形成氢化非晶状碳的硬质碳膜。

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