过氟化物处理装置以及过氟化物处理方法

    公开(公告)号:CN104056536A

    公开(公告)日:2014-09-24

    申请号:CN201410102944.X

    申请日:2014-03-19

    CPC classification number: Y02C20/30 Y02P20/155 Y02P70/605

    Abstract: 本发明提供作为预处理能够避免大量的水的使用和排水处理,并且能够除去含有过氟化物的气体中的固体成分,过滤器等难以堵塞的过氟化物处理装置等。一种过氟化物处理装置(2),其特征在于,具备:对装置入口排气进行预处理的预处理装置(21);对装置入口排气以及水进行加热,并且利用催化剂水解过氟化物,生成含有酸性气体的分解气体的加热单元(第1加热器(221)、第2加热器(222));配置于加热单元的前段以及后段,在装置入口排气以及水与分解气体之间进行热交换的热交换器(231);和将酸成分干式除去的酸成分除去装置(232),预处理装置(21)具备:对装置入口排气进行加热,使装置入口排气中所含有的液体的水蒸发的入口加热器(211);和从装置入口排气除去固体成分的过滤器(212、212a)。

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