镀膜装置
    12.
    发明公开

    公开(公告)号:CN101517132A

    公开(公告)日:2009-08-26

    申请号:CN200780034208.3

    申请日:2007-08-22

    Abstract: 提供一种可以对轴状构件的表面高速施加具有均一厚度和均一组分的磁性合金镀膜的镀膜装置。镀膜装置(1)具有积存镀膜液(2)的镀膜槽(3),是以浸渍在镀膜液中的轴状构件(5)为阴极对该轴状构件(5)施以磁性合金镀膜的镀膜装置。镀膜装置(1)具有:以轴状构件(5)为旋转轴进行旋转的旋转机构(6);安装在轴状构件(5)的外周面上的环状的遮蔽夹具(13)、(14)、(15);具有镀膜液喷口(27)的镀膜液喷嘴(11),该镀膜液喷口(27)避开所述遮蔽夹具(13)、(14)、(15)并与轴状构件(5)相对配置;设置在轴状构件(5)和镀膜液喷嘴(9)周围的阳极(10)。

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