磁致伸缩式转矩传感器的制造方法

    公开(公告)号:CN1940516B

    公开(公告)日:2011-01-12

    申请号:CN200610154312.3

    申请日:2006-09-20

    CPC classification number: G01L3/105 G01L3/102 G01L3/103

    Abstract: 一种磁致伸缩式转矩传感器的制造方法,其具有:在磁致伸缩式转矩传感器(10)的旋转轴(11)上形成磁致伸缩膜(14A、14B)的形成磁致伸缩膜工序(P1)和向在该形成磁致伸缩膜工序(P1)中形成的所述磁致伸缩膜(14A、14B)附加磁各向异性的附加磁各向异性工序(P2),且具有把旋转轴(11)进行退磁的退磁工序(P32)。退磁工序(P32)被设置在形成磁致伸缩膜工序(P1)后的任一阶段,是把旋转轴(11)上产生的剩磁(MS、MK)进行初始化的工序。

    磁致伸缩式转矩传感器的制造方法

    公开(公告)号:CN1940516A

    公开(公告)日:2007-04-04

    申请号:CN200610154312.3

    申请日:2006-09-20

    CPC classification number: G01L3/105 G01L3/102 G01L3/103

    Abstract: 一种磁致伸缩式转矩传感器的制造方法,其具有:在磁致伸缩式转矩传感器(10)的旋转轴(11)上形成磁致伸缩膜(14A、14B)的形成磁致伸缩膜工序(P1)和向在该形成磁致伸缩膜工序(P1)中形成的所述磁致伸缩膜(14A、14B)附加磁各向异性的附加磁各向异性工序(P2),且具有把旋转轴(11)进行退磁的退磁工序(P32)。退磁工序(P32)被设置在形成磁致伸缩膜工序(P1)后的任一阶段,是把旋转轴(11)上产生的剩磁(MS、MK)进行初始化的工序。

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