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公开(公告)号：CN107782274B
公开(公告)日：2020-10-23
申请号：CN201710744125.9
申请日：2017-08-25
Applicant: 株式会社三丰
IPC: G01B21/00
Abstract: 本发明涉及坐标测定装置和坐标校正方法。处理装置具有：坐标获取部，其在由限制单元限制了测定触头状态下由驱动机构使测定探头进行了移动时分别获取测定探头的移动量和探头输出；矩阵生成部，其根据坐标获取部的输出来生成由分别用于校正针对测定探头的移动量的线性校正元素和非线性校正元素构成的校正矩阵；以及探头输出校正部，其使用校正矩阵校正探头输出。坐标获取部在线性校正元素的数量与非线性校正元素的数量的合计数以上的测定点处分别获取测定探头的移动量和探头输出。由此，能够校正从测定探头输出的探头输出的非线性误差，因此能够高精度地求出被测定物的形状坐标。
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公开(公告)号：CN104848826B
公开(公告)日：2019-02-05
申请号：CN201510087881.X
申请日：2015-02-25
Applicant: 株式会社三丰
IPC: G01B21/20
Abstract: 本发明涉及一种形状测量设备和形状测量误差校正方法。计算器包括第一滤波器、第二滤波器和加法装置。所述第一滤波器将基于从标尺到被测物放置部的第一频率传递特性对由标尺检测到的移位台的移位进行校正得到的值输出为第一校正值。所述第二滤波器将基于从端部球到端部球移位检测器的第二频率传递特性对所述第一校正值进行校正得到的值输出为第二校正值。所述加法装置通过将所述第二校正值与由所述端部球移位检测器检测到的所述端部球的移位相加来计算测量值。
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公开(公告)号：CN107782222A
公开(公告)日：2018-03-09
申请号：CN201710743552.5
申请日：2017-08-25
Applicant: 株式会社三丰
IPC: G01B5/008
Abstract: 本发明涉及坐标校正方法和坐标测定装置。前级校正步骤包括：将测定探头(300PR)配置于驱动机构(220PR)；限制测定触头(306PR)；分别获取移动量(Mpr)和探头输出(Ppr)；生成用于校正探头输出(Ppr)的由线性校正元素(ALE)和非线性校正元素(ANLE)构成的前级校正矩阵(AA)。后级校正步骤包括：将测定探头(300)配置于驱动机构(220)；限制测定触头(306)；分别获取移动量(M)和探头输出(P)；生成用于校正探头输出(P)的由线性校正元素(BLE)构成的中间校正矩阵(BB)；利用基于中间校正矩阵(BB)和前级校正矩阵(AA)生成的后级校正矩阵(EE)校正探头输出(P)。
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公开(公告)号：CN107131853A
公开(公告)日：2017-09-05
申请号：CN201710104606.3
申请日：2017-02-24
Applicant: 株式会社三丰
Abstract: 提供一种能够保持高灵敏度并且以简易的结构降低灵敏度的测定方向依赖性的测定探头。在探头外壳(306)的轴向(O)上具备两个容许测针(336)的姿势变化的、呈旋转对称形状的支承构件(322、324)，在两个支承构件(322、324)中的具备四个能够变形的臂部(324B)的一个支承构件(324)，四个检测元件(325)配置在四重对称的位置，信号处理电路(320)具备第一处理部(364)，该第一处理部(364)对检测元件(325)的输出进行处理，输出表示接触部(362)在彼此正交的三个方向的各方向上的位移分量的三个位移信号(Vx、Vy、Vz)。
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公开(公告)号：CN103292686B
公开(公告)日：2017-03-01
申请号：CN201310003704.X
申请日：2013-01-06
Applicant: 株式会社三丰
CPC classification number: G01B9/02041 , G01B5/012 , G01B11/007 , G01B11/272
Abstract: 本发明提供一种图像传感器、姿势检测器、接触探头以及多传感探头，该图像传感器是成为比以往的线阵图像传感器更简单的光学系统的结构并且能够进行高速检测的干涉条纹等条纹图像用的图像传感器。图像传感器(10)具备配置在受光面上的两个以上的直线状的像素列，根据各像素(2)的受光量对基于来自被照射体的反射光产生的有规则的条纹进行拍摄。像素列中的至少两个像素列(线(1)、线(2))配置为成大致90度的交角，获取投射于受光面的条纹中的以大致90度交叉的两个方向的线状条纹的像。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN103808238A
公开(公告)日：2014-05-21
申请号：CN201310566473.3
申请日：2013-11-14
Applicant: 株式会社三丰
IPC: G01B5/20
CPC classification number: G01B5/008 , G01B21/045
Abstract: 一种形状测量机和用于校正形状测量误差的方法，该形状测量机包括用于支持包含尖端球体的扫描探测器的滑块。标尺单元检测滑块的位移。尖端球体位移检测单元检测尖端球体的位移。计算单元包括校正滤波器和加法器，并且根据滑块和尖端球体的位移来计算测量值。校正滤波器输出校正值，其中该校正值是通过基于从标尺单元到尖端球体的频率传递特性的逆特性来校正尖端球体位移检测单元所检测到的尖端球体的位移而获得的。加法器通过将标尺单元所检测到的滑块的位移和校正值相加来计算测量值。
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公开(公告)号：CN1191301A
公开(公告)日：1998-08-26
申请号：CN98104416.6
申请日：1998-02-10
Applicant: 株式会社三丰
CPC classification number: G05B19/401 , G01B21/045
Abstract: 本发明揭示一种测量方法及测量装置。在采用测量头(接触触发式测量头(70))的测量方法中,对从接触触发式测量头(70)产生接触检测信号时的测量头(70)的坐标值(P1)及速度(V1)进行检测,根据这些坐标值(P1)、速度(V1)及接触触发式测量头(70)的接触检测延迟时间(T1)(从接触至产生接触检测信号为止的时间)求得接触时的坐标值(P0)。
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公开(公告)号：CN105588533B
公开(公告)日：2019-07-05
申请号：CN201510753225.9
申请日：2015-11-06
Applicant: 株式会社三丰
IPC: G01B21/20
CPC classification number: G01B21/045
Abstract: 本发明提供一种形状测定装置以及形状测定方法。形状测定装置具备包括具有前端球的测针和安装有测针的测头主体的仿形测头、支承仿形测头并被设置为能够移动的滑动件、检测滑动件的移动量的标尺部、检测前端球的位移量的前端球位移检测部以及使用滑动件移动量、前端球位移量以及校正用过滤器来计算测定值的运算部，运算部具有校正用过滤器设定单元，该校正用过滤器设定单元使用通过仿形测头的校准处理检测出的滑动件移动量和前端球位移量来计算校正矩阵的对角成分，基于该对角成分计算校正用过滤器的校正系数，从而对校正用过滤器进行设定。
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公开(公告)号：CN103808238B
公开(公告)日：2017-09-08
申请号：CN201310566473.3
申请日：2013-11-14
Applicant: 株式会社三丰
IPC: G01B5/20
CPC classification number: G01B5/008 , G01B21/045
Abstract: 一种形状测量机和用于校正形状测量误差的方法，该形状测量机包括用于支持包含尖端球体的扫描探测器的滑块。标尺单元检测滑块的位移。尖端球体位移检测单元检测尖端球体的位移。计算单元包括校正滤波器和加法器，并且根据滑块和尖端球体的位移来计算测量值。校正滤波器输出校正值，其中该校正值是通过基于从标尺单元到尖端球体的频率传递特性的逆特性来校正尖端球体位移检测单元所检测到的尖端球体的位移而获得的。加法器通过将标尺单元所检测到的滑块的位移和校正值相加来计算测量值。
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公开(公告)号：CN107131861A
公开(公告)日：2017-09-05
申请号：CN201710104608.2
申请日：2017-02-24
Applicant: 株式会社三丰
IPC: G01B21/20
Abstract: 提供一种构造简易并且能够确保高测定灵敏度的测定探头。测定探头具备：测针，其具有用于与被测定物接触的接触部；探头外壳，其能够将测针支承在轴心上；以及检测元件，其能够检测接触部的移动，该测定探头具备配置于探头外壳的轴向且容许测针的姿势变化的两个支承构件以及将两个支承构件连结的连结轴，对两个支承构件中的离旋转中心位置最远的支承构件配置检测元件，利用检测元件来检测支承构件的应变量，其中，旋转中心位置是在对接触部从与轴向正交的方向施加测定力时测针所产生的旋转的旋转中心位置。
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