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公开(公告)号：CN113366753A
公开(公告)日：2021-09-07
申请号：CN201980089992.0
申请日：2019-11-08
申请人： 株式会社京三制作所
摘要： 一种直流脉冲电源装置，其具备直流电源部(10)和通过与直流电源部连接的升压斩波电路产生脉冲输出的脉冲部(20)，箝位电压部(30)的输出端连接于直流电抗器(21)与开关元件(22)的连接点s，对开关元件(22)的一端施加箝位电压VC。通过在升压斩波电路的断开期间Toff对开关元件的两端电压进行箝位，从而防止开关元件的损伤，并且抑制伴随负载电流变动的输出电压的变动、以及负载电流、放电电流流过电阻所引起的电力损失。
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公开(公告)号：CN107211521A
公开(公告)日：2017-09-26
申请号：CN201580074957.3
申请日：2015-02-20
申请人： 株式会社京三制作所
CPC分类号： H05H1/46 , C23C14/34 , H01J37/32174 , H01L21/203 , H01L21/31 , H02M5/08 , H02M5/42 , H02M7/12 , H05H2001/4682
摘要： 在输出互为反相的交流电压的高频电源装置中，将高频输出电路的输出分压成两个输出的结构中，无法将高电压与低电压的相异的电压值进行与需求相对应的切换，输出端的电压会降低至高频输出电路的输出电压的1/2的峰值。在高频电源装置中，切换将由分压电路进行分压后的高频电压分压为相对于接地电位互为反相的交流电压的分压电路的连接状态来改变两个输出端电压的电压比例，从而切换高电压和低电压并输出。通过切换分压电路的连接状态，能够选择输出高电压和低电压的相异的电压值，在高频电源装置的输出端，通过在高电压输出时选择高电压来输出，抑制源自高频输出电路的输出电压的降低。
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公开(公告)号：CN105075087B
公开(公告)日：2016-08-17
申请号：CN201380075356.5
申请日：2013-12-26
申请人： 株式会社京三制作所
CPC分类号： H02M5/458 , H02M1/36 , H02M3/1582 , H02M7/4807 , H02M2001/007
摘要： 在具备逆变器的电压型直流电源装置中，在电弧发生时抑制从逆变器向负载侧的电流供给。在电压型直流电源装置的直流输出的停止/恢复中，停止时使斩波部从逆变器分离，由此抑制电弧发生时的向负载的过剩电流，高速地进行电弧的消弧，保持流过斩波部的电流作为循环电流，并在逆变器的重新启动时向负载供给所保持的循环电流，由此减少电压型直流电源装置的直流输出的恢复时的、向负载的直流电力的供给延迟。
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公开(公告)号：CN104604337A
公开(公告)日：2015-05-06
申请号：CN201280075694.4
申请日：2012-09-07
申请人： 株式会社京三制作所
CPC分类号： H05H1/46 , H01J37/32027 , H01J37/32045 , H02M3/33507 , H02M3/337 , H02M2001/007 , H05H7/001 , H05H2001/4682
摘要： 在点火模式中，通过进行间歇短路控制，使短路电流流过电流型降压斩波部。将短路电流的能量先积蓄在电流型降压斩波部具备的电感器中。积蓄的能量经由到下次短路为止的期间的电流、多相逆变器以及整流部，对直流电源装置的输出电压进行升压。通过基于短路的电流能量的积蓄和重复基于导通的输出电压的升压的升压动作，进行用于提高向等离子体发生装置施加的输出电压的控制。
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公开(公告)号：CN113348618A
公开(公告)日：2021-09-03
申请号：CN201980089853.8
申请日：2019-11-08
申请人： 株式会社京三制作所
摘要： 本发明提供一种直流脉冲电源装置，具备：直流电源；脉冲部(20)，其通过与直流电源连接的升压斩波电路产生脉冲输出；以及电压叠加部(30A、30B)，其与升压斩波电路的直流电抗器连接。电压叠加部(30A、30B)将叠加电压量Vc、VDCL2叠加于升压斩波电路的输出电压。脉冲部(20)对通过电压叠加部(30A、30B)叠加了叠加电压量Vc、VDCL2的输出电压Vo进行脉冲输出。通过将叠加电压量叠加于升压斩波电路的脉冲输出，提高升压斩波电路的脉冲输出的输出电压。
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公开(公告)号：CN107211521B
公开(公告)日：2018-05-04
申请号：CN201580074957.3
申请日：2015-02-20
申请人： 株式会社京三制作所
CPC分类号： H05H1/46 , C23C14/34 , H01J37/32174 , H01L21/203 , H01L21/31 , H02M5/08 , H02M5/42 , H02M7/12 , H05H2001/4682
摘要： 在输出互为反相的交流电压的高频电源装置中，将高频输出电路的输出分压成两个输出的结构中，无法将高电压与低电压的相异的电压值进行与需求相对应的切换，输出端的电压会降低至高频输出电路的输出电压的1/2的峰值。在高频电源装置中，切换将由分压电路进行分压后的高频电压分压为相对于接地电位互为反相的交流电压的分压电路的连接状态来改变两个输出端电压的电压比例，从而切换高电压和低电压并输出。通过切换分压电路的连接状态，能够选择输出高电压和低电压的相异的电压值，在高频电源装置的输出端，通过在高电压输出时选择高电压来输出，抑制源自高频输出电路的输出电压的降低。
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公开(公告)号：CN105075100B
公开(公告)日：2016-08-31
申请号：CN201380075261.3
申请日：2013-12-26
申请人： 株式会社京三制作所
IPC分类号： H02M7/48 , H02M7/5387
CPC分类号： H02M7/04 , H02M1/34 , H02M7/48 , H02M7/5387 , H02M2007/4815 , Y02B70/1441
摘要： 在逆变器电路，尤其在单相逆变器中，通过简单的结构进行软开关，防止开关元件的开关损失。通过设置在构成单相逆变器的电桥电路的电源侧的共振电容器、设置在电桥电路的输出侧的共振电感器以及电桥电路构成共振电路，通过流过该共振电路的共振电流，在构成电桥电路的主开关元件的电压上升时，进行零电压开关(ZVS)和零电流开关(ZCS)，通过共振电容器的零电压在构成电桥电路的主开关元件的电压下降时进行零电压开关。
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公开(公告)号：CN104604337B
公开(公告)日：2016-05-18
申请号：CN201280075694.4
申请日：2012-09-07
申请人： 株式会社京三制作所
CPC分类号： H05H1/46 , H01J37/32027 , H01J37/32045 , H02M3/33507 , H02M3/337 , H02M2001/007 , H05H7/001 , H05H2001/4682
摘要： 在点火模式中，通过进行间歇短路控制，使短路电流流过电流型降压斩波部。将短路电流的能量先积蓄在电流型降压斩波部具备的电感器中。积蓄的能量经由到下次短路为止的期间的电流、多相逆变器以及整流部，对直流电源装置的输出电压进行升压。通过基于短路的电流能量的积蓄和重复基于导通的输出电压的升压的升压动作，进行用于提高向等离子体发生装置施加的输出电压的控制。
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公开(公告)号：CN105075100A
公开(公告)日：2015-11-18
申请号：CN201380075261.3
申请日：2013-12-26
申请人： 株式会社京三制作所
IPC分类号： H02M7/5387 , H02M7/48
CPC分类号： H02M7/04 , H02M1/34 , H02M7/48 , H02M7/5387 , H02M2007/4815 , Y02B70/1441
摘要： 在逆变器电路，尤其在单相逆变器中，通过简单的结构进行软开关，防止开关元件的开关损失。通过设置在构成单相逆变器的电桥电路的电源侧的共振电容器、设置在电桥电路的输出侧的共振电感器以及电桥电路构成共振电路，通过流过该共振电路的共振电流，在构成电桥电路的主开关元件的电压上升时，进行零电压开关(ZVS)和零电流开关(ZCS)，通过共振电容器的零电压在构成电桥电路的主开关元件的电压下降时进行零电压开关。
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公开(公告)号：CN104604070A
公开(公告)日：2015-05-06
申请号：CN201280075647.X
申请日：2012-09-05
申请人： 株式会社京三制作所
IPC分类号： H02J1/00
CPC分类号： H02M3/33507 , H01J37/32027 , H01J37/32045 , H01T1/02 , H01T15/00 , H02J1/00 , H02M1/36 , H02M3/156 , H02M7/5387 , H02M2001/007 , H02M2001/325 , H05H1/46 , H05H1/48 , H05H2001/4682
摘要： 通过使重新启动时的脉冲控制信号的相位与停止时的脉冲控制信号的相同一致，抑制重新启动时的逆变器的各相的输出电压变动以及向负载的供给电压的变动。在将直流电力供给给等离子体发生装置时，当在等离子体发生装置中发生了电弧放电时，停止直流电力的供给来降低电极或基板的损伤，并且，在电弧放电消弧时，重新开始直流电力的供给。在直流输出的停止/重新开始中，在停止时保持流过斩波部的电流来作为循环电流，在重新启动逆变器部时，通过将该循环电流供给给负载，来降低直流输出重新开始时的向负载的直流电力的供给延迟。
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