X射线分光分析装置及使用该X射线分光分析装置的化学状态分析方法

    公开(公告)号:CN111133302B

    公开(公告)日:2022-11-08

    申请号:CN201880062049.6

    申请日:2018-07-25

    IPC分类号: G01N23/2209

    摘要: 一种X射线分光分析装置,具备:激发源,对试样表面的规定照射区域照射用于使特征X射线产生的激发射线;分光晶体,面向照射区域而设置,由平板构成;狭缝,设置于照射区域和分光晶体之间,平行于照射区域及分光晶体的规定的晶面;X射线线性传感器,设置为在平行于狭缝的方向上具有长边的线状的检测元件沿垂直于狭缝的方向排列;能量校准部,通过从激发源对因照射所述激发射线而生成能量已知的2个特征X射线的标准试样的表面照射该激发射线从而测量该2个特征X射线,并基于该测量的2个特征X射线的能量,校准由X射线线性传感器的各个检测元件检测的特征X射线的能量。能够更高精度地求出从测量对象试样发射的特征X射线的能量。

    X射线分光分析装置及使用该X射线分光分析装置的化学状态分析方法

    公开(公告)号:CN111133302A

    公开(公告)日:2020-05-08

    申请号:CN201880062049.6

    申请日:2018-07-25

    IPC分类号: G01N23/2209

    摘要: 一种X射线分光分析装置,具备:激发源,对试样表面的规定照射区域照射用于使特征X射线产生的激发射线;分光晶体,面向照射区域而设置,由平板构成;狭缝,设置于照射区域和分光晶体之间,平行于照射区域及分光晶体的规定的晶面;X射线线性传感器,设置为在平行于狭缝的方向上具有长边的线状的检测元件沿垂直于狭缝的方向排列;能量校准部,通过从激发源对因照射所述激发射线而生成能量已知的2个特征X射线的标准试样的表面照射该激发射线从而测量该2个特征X射线,并基于该测量的2个特征X射线的能量,校准由X射线线性传感器的各个检测元件检测的特征X射线的能量。能够更高精度地求出从测量对象试样发射的特征X射线的能量。

    光或放射线摄像装置
    15.
    发明授权

    公开(公告)号:CN101480043B

    公开(公告)日:2011-02-16

    申请号:CN200680055205.3

    申请日:2006-07-27

    发明人: 足立晋

    IPC分类号: H04N5/335 G01T1/24

    摘要: 本发明提供一种光或放射线摄像装置,其具有:从主信号减去第一偏置信号来计算第一运算值的第一运算部(50)、计算第二偏置信号和第一偏置信号的差分即第二运算值的第二运算部(51)、和修正部(52),所述修正部(52)使用和从该第一运算部(50)的运算中使用的第一偏置信号至主信号为止的期间等长的期间所对应的、通过第二运算部(51)运算的第二运算值,对通过第一运算部(50)运算的第一运算值进行修正。因此,第一运算值被进行的修正是除去由在自第一偏置信号至主信号为止的期间蓄积的电荷信号的漏泄导致的噪声成分。因此,可以使由X射线检测元件(11)蓄积的电荷信号的漏泄(漏泄电流)导致的画质劣化减轻,且可以防止摄像时间延长。

    光或放射线摄像装置
    16.
    发明公开

    公开(公告)号:CN101480043A

    公开(公告)日:2009-07-08

    申请号:CN200680055205.3

    申请日:2006-07-27

    发明人: 足立晋

    IPC分类号: H04N5/335 G01T1/24

    摘要: 本发明提供一种光或放射线摄像装置,其具有:从主信号减去第一偏置信号来计算第一运算值的第一运算部(50)、计算第二偏置信号和第一偏置信号的差分即第二运算值的第二运算部(51)、和修正部(52),所述修正部(52)使用和从该第一运算部(50)的运算中使用的第一偏置信号至主信号为止的期间等长的期间所对应的、通过第二运算部(51)运算的第二运算值,对通过第一运算部(50)运算的第一运算值进行修正。因此,第一运算值被进行的修正是除去由在自第一偏置信号至主信号为止的期间蓄积的电荷信号的漏泄导致的噪声成分。因此,可以使由X射线检测元件(11)蓄积的电荷信号的漏泄(漏泄电流)导致的画质劣化减轻,且可以防止摄像时间延长。