公开(公告)号：CN104115004B

公开(公告)日：2016-07-13

申请号：CN201280069425.7

申请日：2012-02-10

申请人： 株式会社岛津制作所

发明人： 高见芳夫

IPC分类号： G01N21/88 ,  G01N21/894 ,  H01L21/66

CPC分类号： G01N21/8803 ,  G01M11/00 ,  G01N21/8806 ,  G01N21/894 ,  G01N21/9501 ,  G01N21/9505 ,  G01N2201/02 ,  G01N2201/04 ,  G01N2201/061 ,  H01L31/18 ,  H02S50/10

摘要： 太阳能电池单体(100)的检查装置(1)具备：可见光源(11)，其照射可见光；CCD摄像机(15)，其对被太阳能电池单体(100)的防反射膜反射而得到的反射图像进行测量；红外光源(13)，其对太阳能电池单体(100)照射红外光；以及CCD摄像机(16)，其对透过太阳能电池单体(100)而得到的透过图像进行测量。在该检查装置(1)中，将反射图像与透过图像进行比较，将在反射图像中成为亮点的区域中的在透过图像中成为暗点的区域判断为包括颗粒的区域，并且将在反射图像中成为亮点的区域中的除被判断为包括颗粒的区域的区域以外的区域判断为包括针孔的区域。

公开(公告)号：CN103674974B

公开(公告)日：2016-04-27

申请号：CN201310203802.8

申请日：2013-05-27

申请人： 株式会社岛津制作所

发明人： 高见芳夫 ,  坂内尚史

IPC分类号： G01N21/95

CPC分类号： Y02E10/50

摘要： 本发明是有关于一种检查装置，即便在防反射膜的膜厚不均的情形时也可高精度地进行缺陷检测。该外观检查装置(检查装置)包括：照明部，构成为能以具有互不相同的波长区域的多种照明色照射照明光；摄像部，使用照明光拍摄太阳能电池单元；以及控制部，针对多种照明色的每一种而获得太阳能电池单元的摄像图像，并且根据太阳能电池单元对各种照明色的照明光的反射强度或防反射膜的膜厚，而从各种照明色的摄像图像中选择用于检查的图像，并基于所选择的摄像图像对太阳能电池单元进行检查。

公开(公告)号：CN104115004A

公开(公告)日：2014-10-22

申请号：CN201280069425.7

申请日：2012-02-10

申请人： 株式会社岛津制作所

发明人： 高见芳夫

IPC分类号： G01N21/88 ,  G01N21/894 ,  H01L21/66

CPC分类号： G01N21/8803 ,  G01M11/00 ,  G01N21/8806 ,  G01N21/894 ,  G01N21/9501 ,  G01N21/9505 ,  G01N2201/02 ,  G01N2201/04 ,  G01N2201/061 ,  H01L31/18 ,  H02S50/10

摘要： 太阳能电池单体(100)的检查装置(1)具备：可见光源(11)，其照射可见光；CCD摄像机(15)，其对被太阳能电池单体(100)的防反射膜反射而得到的反射图像进行测量；红外光源(13)，其对太阳能电池单体(100)照射红外光；以及CCD摄像机(16)，其对透过太阳能电池单体(100)而得到的透过图像进行测量。在该检查装置(1)中，将反射图像与透过图像进行比较，将在反射图像中成为亮点的区域中的在透过图像中成为暗点的区域判断为包括颗粒的区域，并且将在反射图像中成为亮点的区域中的除被判断为包括颗粒的区域的区域以外的区域判断为包括针孔的区域。

公开(公告)号：CN101312117B

公开(公告)日：2010-09-01

申请号：CN200710163150.4

申请日：2007-10-10

申请人： 株式会社岛津制作所

发明人： 秋田典孝 ,  高见芳夫

IPC分类号： H01L21/00 ,  H01L21/02 ,  H01L21/268 ,  H01L21/20 ,  H01L21/336 ,  B23K26/00 ,  B23K26/06

CPC分类号： B23K26/067 ,  B23K26/0613 ,  H01L21/02675 ,  Y10T117/1004 ,  Y10T117/1008

摘要： 本发明提供一种结晶装置，在此结晶装置中，提供可以获得高能量密度的输出的可见光源。可见光照射系统是由二维阵列排列的多个可见光激光束源形成的。可见光照射系统包括：光强度分布形成装置，使从各可见光激光束源发出的多道可见光激光束的光强度分布图案化；以及成像光学系统，使经所述光强度分布形成装置图案化的光强度分布的光，成像在被处理基板上的照射区域中。将多个固体激光器或半导体激光器发出的各可见激光束，重叠到符合被处理基板与光轴上的成像位置关系的光强度分布形成装置。当重叠准分子激光束与可见光激光束时，重叠从多个可见光的激光束源发出的多道可见光激光束，借由重叠所述可见光激光束所形成的可见光激光束的光强度分布来形成晶体成长。