公开(公告)号：CN1886006A

公开(公告)日：2006-12-27

申请号：CN200610002116.4

申请日：2006-01-16

Applicant: 株式会社日立制作所

Inventor： 梅村晋一郎 ,  东隆 ,  永田达也 ,  福田宏 ,  峰利之 ,  町田俊太郎

IPC: H04R17/00 ,  A61B8/00

CPC classification number: B06B1/0292

Abstract: 本发明的目的在于在使膜片型电声转换元件的电声转换特性稳定的同时，降低使用该电声转换元件构成的超声波诊断装置的噪音级。由在硅底板(1)上所形成的下部电极(2)和在其上部夹持空隙部(4)的上部电极(6)形成的电容器单元(8)构成电声转换元件(9)，使用电气时间常数比1秒短且比10微秒长的材料，例如在化学计量方面过多包含硅的氮化硅形成在上部电极(6)的空隙部(4)一侧形成的电极短路防止膜(5)。其结果，电极短路防止膜(5)因为变得具有微弱的导电性，所以可以防止向电极短路防止膜(5)的带电或其漂移。其结果，电声转换元件(9)的电声转换特性稳定，而且超声波诊断装置的音响噪音级降低。

公开(公告)号：CN107710787B

公开(公告)日：2019-12-06

申请号：CN201680038034.7

申请日：2016-05-16

Applicant: 株式会社日立制作所

Inventor： 町田俊太郎 ,  峰利之 ,  藤崎耕司 ,  竹崎泰一 ,  龙崎大介

IPC: H04R19/00 ,  A61B8/00 ,  G01N29/06 ,  G01N29/24 ,  H04R1/40

Abstract: 在静电电容检测型的超声波换能器中，由于超声波换能器的单元阵列的各单元的膜状物的膜厚偏差，导致单元阵列内的单元的器件特性变得不均匀。超声波换能器具备CMUT芯片(301)，CMUT芯片(301)包括：形成有多个单元的单元阵列区域CAR；以及与单元阵列区域CAR相邻接的周边区域PER，在单元阵列区域CAR配置梁结构体(201)，并且在周边区域PER配置相当于梁结构体(201)的多个图案结构体(311)。由此，将单元阵列区域CAR的单位表面积和周边区域PER的单位表面积的差减小。其结果，能够提高覆盖梁结构体(201)和图案结构体(311)的绝缘膜的膜厚的均匀性。

公开(公告)号：CN109152568A

公开(公告)日：2019-01-04

申请号：CN201780027702.0

申请日：2017-07-06

Applicant: 株式会社日立制作所

Inventor： 竹崎泰一 ,  町田俊太郎 ,  龙崎大介 ,  吉村保广 ,  永田达也 ,  山下尚昭

IPC: A61B8/14

Abstract: 电容检测型超声波换能器(111A)具备硅基板(101)、形成于硅基板(101)上的绝缘膜(102)、下部电极(103)、绝缘膜(104、106)、由在绝缘膜(106)的一部分所形成的空隙构成的空洞部(105)、上部电极(107)、绝缘膜(108、114)以及保护膜(109)。另外，空洞部(105)的上部的绝缘膜(106)、上部电极(107)、绝缘膜(108)、以及绝缘膜(114)构成振动膜(110)，振动膜(110)的上部的保护膜(109)被分割成隔开固定间隔的间隙(115)而规则性地排列的多个独立图案。

公开(公告)号：CN103350064B

公开(公告)日：2016-12-28

申请号：CN201310065801.1

申请日：2008-01-23

Applicant: 株式会社日立制作所

Inventor： 池田贞一郎 ,  田中宏树 ,  町田俊太郎

IPC: B06B1/02 ,  A61B8/00

CPC classification number: B06B1/0292 ,  A61B8/00 ,  A61B8/4483 ,  A61B2562/028

Abstract: 本发明公开了一种静电容量式传感器以及超声波摄像装置。对cMUT元件阵列赋予均一并且稳定的特性，实现声学特性的提高。在元件（102）中追加设置用于切断元件的移位、振动以及信号收发的信号切断部，该元件（102）位于作为能够进行通常的收发的传感器而被设计并制造的、cMUT元件的二维阵列（101）的最外周部或端部的位置。

公开(公告)号：CN101227863B

公开(公告)日：2011-08-31

申请号：CN200680026787.2

申请日：2006-01-30

Applicant: 株式会社日立医药

Inventor： 东隆 ,  梅村晋一郎 ,  永田达也 ,  福田宏 ,  町田俊太郎 ,  峰利之

IPC: A61B8/00

CPC classification number: A61B8/4483 ,  A61B8/08 ,  A61B8/4281 ,  B06B1/0292 ,  G01N29/2431 ,  G01S15/00

Abstract: 以隔膜型的电声转换元件(101)为基本单位构成的超声波阵列换能器的接收灵敏度因漏泄等导致的电荷蓄积量的经时变化，主射束灵敏度偏移，导致声音噪声等级的上升引起声音SN比恶化或超声波射束的定向性恶化。故设置电荷蓄积控制部(电荷蓄积监视器(211))，进行电声转换元件(101)中电荷蓄积量的控制。以蓄积电荷监测部(102)监视电荷蓄积量的变化，在电荷蓄积量的变化小时，例如在控制部(104)中通过乘以与变化量对应的修正系数，从而进行送波或受波灵敏度的修正，再有在电荷蓄积量的变化大时，例如也可由蓄积电荷注入部(103)进行电荷的再注入。通过由控制部(104)来控制以上一系列动作，尤其修正多个元件间的经时变化的不同引起的灵敏度偏差。

公开(公告)号：CN101227863A

公开(公告)日：2008-07-23

申请号：CN200680026787.2

申请日：2006-01-30

Applicant: 株式会社日立医药

Inventor： 东隆 ,  梅村晋一郎 ,  永田达也 ,  福田宏 ,  町田俊太郎 ,  峰利之

IPC: A61B8/00

CPC classification number: A61B8/4483 ,  A61B8/08 ,  A61B8/4281 ,  B06B1/0292 ,  G01N29/2431 ,  G01S15/00

Abstract: 以隔膜型的电声转换元件(101)为基本单位构成的超声波阵列换能器的接收灵敏度因漏泄等导致的电荷蓄积量的经时变化，主射束灵敏度偏移，导致声音噪声等级的上升引起声音SN比恶化或超声波射束的定向性恶化。故设置电荷蓄积控制部(电荷蓄积监视器(211))，进行电声转换元件(101)中电荷蓄积量的控制。以蓄积电荷监测部(102)监视电荷蓄积量的变化，在电荷蓄积量的变化小时，例如在控制部(104)中通过乘以与变化量对应的修正系数，从而进行送波或受波灵敏度的修正，再有在电荷蓄积量的变化大时，例如也可由蓄积电荷注入部(103)进行电荷的再注入。通过由控制部(104)来控制以上一系列动作，尤其修正多个元件间的经时变化的不同引起的灵敏度偏差。