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公开(公告)号:CN101517669B
公开(公告)日:2012-07-25
申请号:CN200780034225.7
申请日:2007-09-10
Applicant: 株式会社爱发科
CPC classification number: H01F7/0221 , C23C14/18 , C23C14/24 , C23C14/243 , C23C14/5806 , H01F1/0577 , H01F41/0293
Abstract: 本发明提供一种具有更高磁特性的永磁铁,以规定形状在铁-硼-稀土系烧结磁铁表面形成Dy、Tb膜,并使其向晶界相扩散。一种永磁铁的制造方法,包括:成膜工序,使至少含有Dy及Tb中的一种金属蒸发材料蒸发,使该蒸发的金属原子附着到该烧结磁铁表面;扩散工序,通过实施热处理,使附着在表面上的前述金属原子扩散到烧结磁铁的晶界相中;前述金属蒸发材料至少含Nd、Pr中的一种。
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公开(公告)号:CN101512036B
公开(公告)日:2011-11-02
申请号:CN200780033699.X
申请日:2007-09-10
Applicant: 株式会社爱发科
CPC classification number: C23C14/24 , H01F41/0293
Abstract: 本发明提供一种真空蒸气处理装置,其适于实施在处理室内形成金属蒸气气氛、该金属蒸气气氛中的金属附着到被处理物的表面,并且使附着到被处理物表面的金属原子扩散到其晶界内的处理。其具有处理炉11,设置在该处理炉内的至少一个处理箱,以及设置在处理炉内围绕该处理箱周围的加热手段2。当在处理箱内配置了被处理物S与金属蒸发材料V的状态下将其收容到处理炉中后,设置将处理炉和处理箱减压到规定压力并保持的真空排气手段,在减压状态下使加热手段动作,将被处理物加热到规定温度的过程中,一边升温一边使金属蒸发材料蒸发,并将该蒸发的金属原子提供到被处理物表面。
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公开(公告)号:CN101563737A
公开(公告)日:2009-10-21
申请号:CN200780047143.6
申请日:2007-12-19
Applicant: 株式会社爱发科
CPC classification number: H01F1/0577 , H01F41/0293
Abstract: 能够以高生产效率及低成本制造出永磁铁,其使Dy、Tb附着到规定形状的铁—硼—稀土类系的烧结磁铁表面,并扩散到其晶界相中后形成。在处理室内配置铁—硼—稀土类系的烧结磁铁,加热到规定温度的同时,使配置在同一或另一处理室内的至少含有Dy及Tb中的一种的氟化物构成的蒸发材料V蒸发,使该蒸发的蒸发材料附着到烧结磁铁表面,使该附着的蒸发材料的Dy、Tb的金属原子在烧结磁铁表面上形成由蒸发材料构成的薄膜之前扩散到烧结磁铁的晶界相中。
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公开(公告)号:CN101517669A
公开(公告)日:2009-08-26
申请号:CN200780034225.7
申请日:2007-09-10
Applicant: 株式会社爱发科
CPC classification number: H01F7/0221 , C23C14/18 , C23C14/24 , C23C14/243 , C23C14/5806 , H01F1/0577 , H01F41/0293
Abstract: 本发明提供一种具有更高磁特性的永磁铁,以规定形状在铁-硼-稀土系烧结磁铁表面形成Dy、Tb膜,并使其向晶界相扩散。一种永磁铁的制造方法,包括:成膜工序,使至少含有Dy及Tb中的一种金属蒸发材料蒸发,使该蒸发的金属原子附着到该烧结磁铁表面;扩散工序,通过实施热处理,使附着在表面上的前述金属原子扩散到烧结磁铁的晶界相中;前述金属蒸发材料至少含Nd、Pr中的一种。
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公开(公告)号:CN101512036A
公开(公告)日:2009-08-19
申请号:CN200780033699.X
申请日:2007-09-10
Applicant: 株式会社爱发科
CPC classification number: C23C14/24 , H01F41/0293
Abstract: 本发明提供一种真空蒸气处理装置,其适于实施在处理室内形成金属蒸气气氛、该金属蒸气气氛中的金属附着到被处理物的表面,并且使附着到被处理物表面的金属原子扩散到其晶界内的处理。其具有处理炉11,设置在该处理炉内的至少一个处理箱,以及设置在处理炉内围绕该处理箱周围的加热手段2。当在处理箱内配置了被处理物S与金属蒸发材料V的状态下将其收容到处理炉中后,设置将处理炉和处理箱减压到规定压力并保持的真空排气手段,在减压状态下使加热手段动作,将被处理物加热到规定温度的过程中,一边升温一边使金属蒸发材料蒸发,并将该蒸发的金属原子提供到被处理物表面。
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