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公开(公告)号：CN100474056C
公开(公告)日：2009-04-01
申请号：CN200610162879.5
申请日：2006-11-28
Applicant: 株式会社爱发科
IPC: G02F1/1333
Abstract: 本发明提供一种面板制造装置及其制造方法。用于解决在面板制造过程中必须要采用带有隔离粒子的密封材料的技术问题。当被上基板保持部(44)吸附的基板(W2)与间隔形成块(61)的上面靠接时，即可控制上基板保持部(44)的下降。被下基板保持部(53)吸附的基板(W1)被收纳于间隔形成块(61)的内侧。两块基板(W1、W2)贴合时，上基板保持部(44)的下降被间隔形成块(61)所限制，因此两块基板(W1、W2)之间的间隔即被限制为规定的基板间隔。所以，这种面板制造装置无需采用隔离粒子即可形成所需要的间隔。同时，减少了清洗设备所需花费的功夫，提高了生产效率。
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公开(公告)号：CN100340696C
公开(公告)日：2007-10-03
申请号：CN200410007812.5
申请日：2000-01-11
Applicant: 株式会社爱发科
Abstract: 本发明提供具有高耐久性、光催化功能的氧化钛薄膜。在屏障薄膜12表面上以点状使氧化钛薄膜31存在，在其间形成亲水性薄膜41，进而构成功能性薄膜3。在其表面上因混杂着氧化钛薄膜露出的部分和亲水性薄膜露出的部分，所以可获得两种薄膜的功能。在紫外线照射环境下具有自清洗效果和超亲水性，即使暗处，也有某种程度的亲水性。用加氧气的溅射气体使氧化钛靶子进行溅射，因能补充形成氧化钛薄膜中的缺损氧，故能形成有光催化功能的氧化钛薄膜31。
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公开(公告)号：CN101617564B
公开(公告)日：2013-02-06
申请号：CN200880005565.1
申请日：2008-02-15
Applicant: 株式会社爱发科
Inventor： 根岸敏夫
CPC classification number: H01J1/70 , H01L27/3244 , H01L51/5246 , H01L51/5253 , H01L51/529 , Y10T156/10
Abstract: 本发明提供一种发光效率不降低的显示装置。本发明的显示装置(1)由于是用填充膜(27)填充发光部(15)所在的凹部(13)之后再形成无机膜(28)，因此在无机膜(28)上不会产生龟裂。由于无机膜(28)是由类金刚石碳或AlN这样的气密性和导热性都很高的材料构成，因此，水或氧不易进入到发光部(15)中，而且发光部(15)的热被传递到无机膜(28)上，发光部(15)不会成为高温。此外，由于第一、第二面板(10)、(20)之间的空隙被树脂膜(29)填充，因此不会从外部进入大气。由于发光部(15)不会因水、氧或热而受到损伤，因此本发明的显示装置(1)的寿命长。
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公开(公告)号：CN101960041B
公开(公告)日：2012-05-30
申请号：CN200980106406.5
申请日：2009-02-26
Applicant: 株式会社爱发科
CPC classification number: C23C14/12 , C23C14/243 , C23C14/564 , H05B33/10
Abstract: 本发明提供一种能够成膜膜质良好的薄膜的成膜源。各开闭阀(70)通过使遮蔽部件(72)与熔融的金属紧贴来成为关闭状态，因此关闭状态的气体遮蔽性高，而且不会起尘。当在多个蒸气产生装置(20)中产生各自的蒸镀材料(39)的蒸气的情况下，选定的蒸气产生装置(20)中产生的蒸气不会与来自其他蒸气产生装置的蒸气混合，因此不会混入成膜目的以外的蒸镀材料(39)，也不会由于起尘导致污染。因此能够获得膜质良好的薄膜。
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公开(公告)号：CN101803461B
公开(公告)日：2011-12-21
申请号：CN200880107221.1
申请日：2008-09-08
Applicant: 株式会社爱发科
Inventor： 根岸敏夫
CPC classification number: C23C14/246 , C23C14/12 , C23C14/228 , H01L51/001
Abstract: 即使不加快成膜速度，也形成均匀膜厚的薄膜。预先使配置于蒸发室(20a)内的蒸发装置(24)升温，从供给装置(40)使有机材料(48)落下至蒸发装置(24)的蒸发面(28)上，在使有机材料(48)蒸发时，将被加热的运载气体导入至蒸发室(20a)，在蒸发室(20a)内进行混合，并导入至放出装置(70)内。在仅将有机材料蒸气导入至放出装置(70)内的情况下，在放出装置(70)内形成分子流，但运载气体使放出装置(70)内的压力上升，因而形成粘性流，混合气体充满于放出装置(70)内，均匀地放出。每次少量地供给有机材料，使成膜速度不过快即可。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN101816081A
公开(公告)日：2010-08-25
申请号：CN200880110615.2
申请日：2008-09-26
Applicant: 株式会社爱发科
Inventor： 根岸敏夫
CPC classification number: H01L51/5092 , H01L51/5234 , H01L2251/5315
Abstract: 在电子注入层上形成致密且阶梯覆盖性高的阴极电极层。将电子输送性材料与电子注入性材料进行共蒸镀，形成电子注入性材料的微粒分散于电子输送性的有机薄膜中的电子注入层(26)，在其表面利用溅镀法形成由MgAg合金层构成的阴极电极层(27)。分散于有机薄膜的表面的电子注入性材料的微粒的下部埋入于有机薄膜中，因此即使溅镀粒子发生碰撞也不会剥离，而在上部通过溅镀粒子来与所形成的阴极电极层(27)接触。
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公开(公告)号：CN101069453A
公开(公告)日：2007-11-07
申请号：CN200680001328.9
申请日：2006-06-12
Applicant: 株式会社爱发科
Inventor： 根岸敏夫
CPC classification number: H01L51/5246 , H01L51/56
Abstract: 本发明提供一种使用紫外线固化树脂进行密封时，可在短时间使树脂固化以抑制热对密封对象部分造成影响的密封装置及密封方法。本发明的密封装置包括：可导入氮气的对准贴合室(3)；和具有UV照射灯(30)的UV照射室(4)。在对准贴合室(3)内，将密封用玻璃基板(7)和基板(9)载置于搬送机构(15)上，使用紫外线固化型密封用树脂(7a)进行加压贴合。然后，利用搬送机构(15)将有机电致发光面板(40)从对准贴合室(3)搬出，使之移动至UV照射室(4)进行密封用树脂(7a)的固化。
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公开(公告)号：CN1993491A
公开(公告)日：2007-07-04
申请号：CN200580025678.4
申请日：2005-12-19
Applicant: 株式会社爱发科
CPC classification number: H01L51/0021 , C23C14/35 , H01J37/3408 , H01J37/3461 , H01L51/56
Abstract: 不对有机薄膜造成损伤地在其表面上形成溅镀膜。以遮蔽板103来遮蔽溅射源11～13的框体101的开口，在该开口部107a的两侧配置捕获磁铁1051、1052。在框体101内部配置靶部120，溅镀时，将遮蔽部103连接到接地电位，使电子等负的带电粒子入射到遮蔽部103，而通过了开口部107a的带电粒子则由于捕获磁铁1051、1052形成的磁场而弯曲其飞行方向。在成膜对象物横越溅射源11～13时，带电粒子不入射到成膜对象物表面，因此对有机薄膜的损伤减小。
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公开(公告)号：CN1939095A
公开(公告)日：2007-03-28
申请号：CN200580010415.6
申请日：2005-12-13
Applicant: 株式会社爱发科
Inventor： 根岸敏夫
CPC classification number: B41J11/002 , H01L51/0005 , H01L51/0027 , H01L51/56
Abstract: 本发明提供一种不需要加热室和冷却室的涂敷装置。在沿X轴方向移动的涂敷对象物(14)上配置可在Y轴方向往复移动的喷出器(31)和激光照射装置(32a、32b)，对从喷出器(31)喷出到涂敷对象物(14)的局部表面的有机材料照射激光，进行加热使其干燥或聚合，实现薄膜化。反复进行喷出器(31)和激光照射装置(32a、32b)的Y轴方向的移动，和涂敷对象物(14)的X轴方向的移动，在涂敷对象物(14)的规定区域形成有机材料的薄膜。由于并行进行涂敷和激光照射，所以，作业效率高。而且，由于涂敷对象物(14)不处于高温，所以不需要冷却工序。
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公开(公告)号：CN101641457B
公开(公告)日：2012-04-25
申请号：CN200880009698.6
申请日：2008-03-17
Applicant: 株式会社爱发科
Inventor： 根岸敏夫
CPC classification number: C23C14/24 , C23C14/12 , C23C14/243 , C23C14/246
Abstract: 本发明提供一种能够成膜膜质良好的有机薄膜的蒸镀装置。本发明的蒸镀装置(1)在蒸发室(15)内配置有承接皿(41)，供给装置(30)将蒸镀材料(16)供给至该承接皿(41)上。承接皿(41)搭载在质量计(49)上，并对配置在承接皿(41)上的蒸镀材料(16)的质量进行测量，控制装置(45)比较该测量值和基准值，使供给装置(30)供给必要的量的蒸镀材料(16)。由于在必要时补充蒸镀材料(16)，因而，在成膜的途中蒸镀材料(16)不会耗尽，另外，由于大量的蒸镀材料(16)不会被长时间加热，因而，蒸镀材料(16)不变质。
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