用于制造面板的装置及其制造方法

    公开(公告)号:CN1975527A

    公开(公告)日:2007-06-06

    申请号:CN200610162879.5

    申请日:2006-11-28

    Abstract: 本发明提供一种面板制造装置及其制造方法。用于解决在面板制造过程中必须要采用带有隔离粒子的密封材料的技术问题。当被上基板保持部(44)吸附的基板(W2)与间隔形成块(61)的上面靠接时,即可控制上基板保持部(44)的下降。被下基板保持部(53)吸附的基板(W1)被收纳于间隔形成块(61)的内侧。两块基板(W1、W2)贴合时,上基板保持部(44)的下降被间隔形成块(61)所限制,因此两块基板(W1、W2)之间的间隔即被限制为规定的基板间隔。所以,这种面板制造装置无需采用隔离粒子即可形成所需要的间隔。同时,减少了清洗设备所需花费的功夫,提高了生产效率。

    有机化合物蒸汽发生装置及有机薄膜制造装置

    公开(公告)号:CN102239275A

    公开(公告)日:2011-11-09

    申请号:CN201080003478.X

    申请日:2010-02-23

    Abstract: 提供一种在发生槽内产生的有机化合物蒸汽不会倒流到将有机化合物向发生槽供给的内侧连接管中的技术。在具有配置有机材料的储存槽(31)、将有机材料加热而产生有机材料的蒸汽的发生槽(33)、和将储存槽(31)内的有机材料向发生槽(33)供给的输送装置(32)的有机薄膜制造装置(1)中,输送装置(32)设有:外侧连接管(37),将储存槽(31)的内部环境与发生槽(33)的内部环境气密地连接;气体导入口(42),将气体导入到配置在外侧连接管(37)的内部中而使有机材料从储存槽(31)内部移动到发生槽(33)内部的由石英构成的内侧连接管(38)的内部中。

    用于制造面板的装置及其制造方法

    公开(公告)号:CN100474056C

    公开(公告)日:2009-04-01

    申请号:CN200610162879.5

    申请日:2006-11-28

    Abstract: 本发明提供一种面板制造装置及其制造方法。用于解决在面板制造过程中必须要采用带有隔离粒子的密封材料的技术问题。当被上基板保持部(44)吸附的基板(W2)与间隔形成块(61)的上面靠接时,即可控制上基板保持部(44)的下降。被下基板保持部(53)吸附的基板(W1)被收纳于间隔形成块(61)的内侧。两块基板(W1、W2)贴合时,上基板保持部(44)的下降被间隔形成块(61)所限制,因此两块基板(W1、W2)之间的间隔即被限制为规定的基板间隔。所以,这种面板制造装置无需采用隔离粒子即可形成所需要的间隔。同时,减少了清洗设备所需花费的功夫,提高了生产效率。

    溅射装置
    4.
    发明授权

    公开(公告)号:CN100340696C

    公开(公告)日:2007-10-03

    申请号:CN200410007812.5

    申请日:2000-01-11

    Abstract: 本发明提供具有高耐久性、光催化功能的氧化钛薄膜。在屏障薄膜12表面上以点状使氧化钛薄膜31存在,在其间形成亲水性薄膜41,进而构成功能性薄膜3。在其表面上因混杂着氧化钛薄膜露出的部分和亲水性薄膜露出的部分,所以可获得两种薄膜的功能。在紫外线照射环境下具有自清洗效果和超亲水性,即使暗处,也有某种程度的亲水性。用加氧气的溅射气体使氧化钛靶子进行溅射,因能补充形成氧化钛薄膜中的缺损氧,故能形成有光催化功能的氧化钛薄膜31。

    有机薄膜的成膜装置以及有机材料成膜方法

    公开(公告)号:CN102639746B

    公开(公告)日:2014-03-12

    申请号:CN201080055842.7

    申请日:2010-12-08

    CPC classification number: C23C14/12 C23C14/246 C23C14/564

    Abstract: 逐次少量地向蒸发槽(41)内供给的有机材料与加热部(43)接触而被加热,成为蒸气并导入缓冲装置(50)中。在缓冲装置(50)中设有具有流路的缓冲部(52),在流路中流动的蒸气与缓冲部(52)碰撞,成为固体的有机材料而附着在缓冲部(52)上。当缓冲部(52)的表面被固体的有机材料覆盖时,蒸发槽(41)内的蒸气发生量的变动被缓冲部(52)抵消,蒸气从排放装置(12)的排放稳定。若在蒸气从排放装置(12)的排放稳定之前,预先将蒸气导入收集装置(60)中并使其在缓冲部(62)的表面上析出,则能够回收而再利用。

    有机化合物蒸汽发生装置及有机薄膜制造装置

    公开(公告)号:CN102239275B

    公开(公告)日:2013-10-30

    申请号:CN201080003478.X

    申请日:2010-02-23

    Abstract: 提供一种在发生槽内产生的有机化合物蒸汽不会倒流到将有机化合物向发生槽供给的内侧连接管中的技术。在具有配置有机材料的储存槽(31)、将有机材料加热而产生有机材料的蒸汽的发生槽(33)、和将储存槽(31)内的有机材料向发生槽(33)供给的输送装置(32)的有机薄膜制造装置(1)中,输送装置(32)设有:外侧连接管(37),将储存槽(31)的内部环境与发生槽(33)的内部环境气密地连接;气体导入口(42),将气体导入到配置在外侧连接管(37)的内部中而使有机材料从储存槽(31)内部移动到发生槽(33)内部的由石英构成的内侧连接管(38)的内部中。

    有机薄膜的成膜装置以及有机材料成膜方法

    公开(公告)号:CN102639746A

    公开(公告)日:2012-08-15

    申请号:CN201080055842.7

    申请日:2010-12-08

    CPC classification number: C23C14/12 C23C14/246 C23C14/564

    Abstract: 逐次少量地向蒸发槽(41)内供给的有机材料与加热部(43)接触而被加热,成为蒸气并导入缓冲装置(50)中。在缓冲装置(50)中设有具有流路的缓冲部(52),在流路中流动的蒸气与缓冲部(52)碰撞,成为固体的有机材料而附着在缓冲部(52)上。当缓冲部(52)的表面被固体的有机材料覆盖时,蒸发槽(41)内的蒸气发生量的变动被缓冲部(52)抵消,蒸气从排放装置(12)的排放稳定。若在蒸气从排放装置(12)的排放稳定之前,预先将蒸气导入收集装置(60)中并使其在缓冲部(62)的表面上析出,则能够回收而再利用。

    溅射装置
    8.
    发明公开

    公开(公告)号:CN1528946A

    公开(公告)日:2004-09-15

    申请号:CN200410007812.5

    申请日:2000-01-11

    Abstract: 本发明提供具有高耐久性、光催化功能的氧化钛薄膜。在屏障薄膜12表面上以点状使氧化钛薄膜31存在,在其间形成亲水性薄膜41,进而构成功能性薄膜3。在其表面上因混杂着氧化钛薄膜露出的部分和亲水性薄膜露出的部分,所以可获得两种薄膜的功能。在紫外线照射环境下具有自清洗效果和超亲水性,即使暗处,也有某种程度的亲水性。用加氧气的溅射气体使氧化钛靶子进行溅射,因能补充形成氧化钛薄膜中的缺损氧,故能形成有光催化功能的氧化钛薄膜31。

    功能性薄膜、功能性基板、及氧化钛薄膜的制造方法

    公开(公告)号:CN1165366C

    公开(公告)日:2004-09-08

    申请号:CN00101041.7

    申请日:2000-01-11

    Abstract: 本发明提供具有高耐久性、光催化功能的氧化钛薄膜。在屏障薄膜12表面上以点状使氧化钛薄膜31存在,在其间形成亲水性薄膜41,进而构成功能性薄膜3。在其表面上因混杂着氧化钛薄膜露出的部分和亲水性薄膜露出的部分,所以可获得两种薄膜的功能。在紫外线照射环境下具有自清洗效果和超亲水性,即使暗处,也有某种程度的亲水性。用加氧气的溅射气体使氧化钛靶子进行溅射,因能补充形成氧化钛薄膜中的缺损氧,故能形成有光催化功能的氧化钛薄膜31。

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