离子束用的电荷转换膜
    13.
    发明授权

    公开(公告)号:CN109874344B

    公开(公告)日:2023-03-28

    申请号:CN201680021888.4

    申请日:2016-04-14

    Abstract: 本发明目的在于提供离子束用的电荷转换膜,所述离子束用的电荷转换膜在大强度射束使用下也不易受到损伤、放射性活化,具有高耐久性,容易控制小于10μm的膜厚。本发明为一种离子束用的电荷转换膜,其为碳成分为96原子%以上、25℃下的膜面方向的热导率为800W/mK以上的离子束用的电荷转换膜的单层体或前述离子束用的电荷转换膜的层叠体,其厚度小于10μm且为100nm以上。

    束流强度转换膜以及束流强度转换膜的制造方法

    公开(公告)号:CN108780670A

    公开(公告)日:2018-11-09

    申请号:CN201780014702.7

    申请日:2017-04-20

    Abstract: 本发明实现一种具备充分的屏蔽性、耐久性、耐热性且放射性活化程度能降低的束流强度转换膜。衰减器(1)由石墨膜构成,该石墨膜以其膜面与荷电粒子束(X)的束轴相交的方式配置,石墨膜的厚度为1μm以上,石墨膜在其膜面方向上的热导率是在其膜厚方向上的热导率的20倍以上。

    离子束电荷转换装置的电荷转换膜

    公开(公告)号:CN109874345B

    公开(公告)日:2023-10-31

    申请号:CN201680021978.3

    申请日:2016-04-14

    Abstract: 本发明目的在于,提供耐热性、热导性高、对长时间的射束照射也能够耐受的高品质的离子束电荷转换膜装置的电荷转换膜。本发明为一种离子束电荷转换装置的电荷转换膜,其为通过高分子烧成法制造的碳膜,膜厚为10μm以上且150μm以下。本发明也包括如下的离子束电荷转换装置的电荷转换膜,其为25℃下的膜面方向的热导率为300W/mK以上的碳膜,膜厚为10μm以上且150μm以下。这些电荷转换膜优选的是:密度为0.90g/cm3以上且2.26g/cm3以下、每单位面积的重量为1.5mg/cm2以上且30mg/cm2以下、并且面积为4cm2以上等。

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