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公开(公告)号：CN101482633B
公开(公告)日：2013-06-26
申请号：CN200910003006.3
申请日：2005-04-21
Applicant: 浜松光子学株式会社
CPC classification number: G02B6/30 , G02B6/13 , G02B2006/12147 , Y10T83/04
Abstract: 本发明涉及一种具有可有效地避免或抑制切断晶圆时的光波导层的剥离的构造的光波导芯片等。该光波导芯片具有：具有主表面的基板；及形成在基板主表面上的光波导层。光波导层具有覆盖层、设置在覆盖层内且具有折射率较覆盖层高的芯部，其侧面的至少一部分位于距离主表面边缘仅为规定距离的该主表面的中央侧。光波导层包括具有在包含主表面边缘的外围区域具有薄膜部分的结构。如上所述，光波导层在其外围具有薄膜部分的情况，光波导层具有与包含主表面边缘的基板侧面一致的侧面，和距主表面边缘为规定距离的侧面。由此，在将晶圆切断为芯片单元时，即使在被切断的基板主表面边缘产生碎屑，仍可有效地抑制形成在基板上的光波导层的剥离。
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公开(公告)号：CN101542246A
公开(公告)日：2009-09-23
申请号：CN200880000503.1
申请日：2008-06-05
Applicant: 浜松光子学株式会社
IPC: G01J3/02
CPC classification number: G01J3/02 , G01J3/0202 , G01J3/0208 , G01J3/0256 , G01J3/0259 , G01J3/0262 , G01J3/18 , G01J3/2803
Abstract: 分光模块(1)中，由于本体部(2)为板状，因而能够通过本体部(2)的薄型化来谋求小型化。并且，由于本体部(2)为板状，因而例如能够利用晶圆工艺来制造分光模块(1)。即，通过对作为多个本体部(2)的玻璃晶圆，以矩阵状设置透镜部(3)、衍射层(4)、反射层(6)以及光检测元件(7)设置成矩阵状，并切割该玻璃晶圆，能够制造多个分光模块(1)。如此，能够容易地大量生产分光模块(1)。
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公开(公告)号：CN100541247C
公开(公告)日：2009-09-16
申请号：CN200610126567.9
申请日：2006-08-28
Applicant: 浜松光子学株式会社
IPC: G02B6/10
CPC classification number: G02B6/12007 , G02B2006/12104 , G02B2006/12109
Abstract: 本发明提供一种光波导路基板及其制造方法，该光波导路基板具有利用简单的结构和工序就可将光学部件埋入由树脂制成的光波导路层内部的结构，并且具有可使光波导路层表面平坦化的结构。该光波导路基板包括：基板；在基板上沿着互相交叉的方向延伸的第一和第二芯部；具有使在第一和第二芯部之中的一个芯部中传递的光向另一个芯部反射的反射面的光学部件。光波导路层具有以夹住光学部件的状态保持该光学部件的第一和第二支承部。这些第一和第二支承部分别由与第一和第二芯部相同的材料制成，而且与该第一和第二芯部一起形成于基板的主面上。另外，光学部件与第一和第二芯部一起由包层部覆盖。
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公开(公告)号：CN1947043A
公开(公告)日：2007-04-11
申请号：CN200580012785.3
申请日：2005-04-21
Applicant: 浜松光子学株式会社
CPC classification number: G02B6/30 , G02B6/13 , G02B2006/12147 , Y10T83/04
Abstract: 本发明涉及一种具有可有效地避免或抑制切断晶圆时的光波导层的剥离的构造的光波导芯片等。该光波导芯片具有：具有主表面的基板；及形成在基板主表面上的光波导层。光波导层具有覆盖层、设置在覆盖层内且具有折射率较覆盖层高的芯部，其侧面的至少一部分位于距离主表面边缘仅为规定距离的该主表面的中央侧。光波导层包括具有在包含主表面边缘的外围区域具有薄膜部分的结构。如上所述，光波导层在其外围具有薄膜部分的情况，光波导层具有与包含主表面边缘的基板侧面一致的侧面，和距主表面边缘为规定距离的侧面。由此，在将晶圆切断为芯片单元时，即使在被切断的基板主表面边缘产生碎屑，仍可有效地抑制形成在基板上的光波导层的剥离。
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公开(公告)号：CN1714454A
公开(公告)日：2005-12-28
申请号：CN200380103582.6
申请日：2003-11-18
Applicant: 浜松光子学株式会社
CPC classification number: H01L27/14603 , H01L27/1464 , H01L27/14683 , H01L31/02322 , H01L31/10
Abstract: 本发明提供一种背面入射型光电二极管阵列(1)，具有由第一导电型半导体构成的半导体基板(3)，在该半导体基板(3)的被检测光(L)的入射面的相反面侧上形成有多个光电二极管，其中，在半导体基板(3)的相反面侧上以阵列状排列形成有多个凹部(4)，通过在凹部(4)的底部(4a)上形成由第二导电型半导体构成的第二导电型半导体区域(5)来以阵列状排列光电二极管。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN114930223B
公开(公告)日：2025-03-14
申请号：CN202080093051.7
申请日：2020-10-01
Applicant: 浜松光子学株式会社
Abstract: 本发明提供光学单元，其包括：基体，其由金属构成，具有主面和所述主面的相反侧的背面；光学面，其设置于所述主面；和振动元件，其设置于所述主面或所述背面，所述基体包括：支承部；从所述支承部延伸的第一延伸部和第二延伸部；配置在所述第一延伸部与所述第二延伸部之间的可动部；和将所述第一延伸部与所述可动部连结的第一连结部以及将所述第二延伸部与所述可动部连结的第二连结部，所述振动元件设置于所述支承部，通过使所述支承部振动而在所述第一连结部和所述第二连结部引发扭转振动来使所述可动部摆动，所述光学面在所述可动部中设置于所述主面。
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公开(公告)号：CN111537066A
公开(公告)日：2020-08-14
申请号：CN202010418543.0
申请日：2016-08-04
Applicant: 浜松光子学株式会社
Abstract: 分光器具备：支撑体，具有设置有包含凹曲面状的内面的凹部以及与凹部相邻接的周边部的底壁部、相对于底壁部被配置于凹部开口的一侧的侧壁部；光检测元件，以与凹部相对的状态被支撑于侧壁部；分光部，被配置于凹部的内面上。在从凹部和光检测元件互相相对的第1方向观察的情况下，构成分光部的多个光栅槽排列的第2方向上的凹部的长度大于垂直于第2方向的第3方向上的凹部的长度。在从第1方向观察的情况下，在第2方向上与凹部相邻接的周边部的面积大于在第3方向上与凹部相邻接的周边部的面积。
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公开(公告)号：CN108827928A
公开(公告)日：2018-11-16
申请号：CN201810331346.8
申请日：2013-08-09
Applicant: 浜松光子学株式会社
CPC classification number: G01N21/658 , B82Y40/00 , G01J3/02 , G01J3/0205 , G01J3/12 , G01J3/44 , G01J3/4412 , G01N2201/02 , G01N2201/0227 , G01N2201/06113
Abstract: SERS单元(1A)包括：基板(4)；光学功能部(10)，其形成于基板(4)上，且产生表面增强拉曼散射；及封装体(20A)，其将光学功能部(10)收纳于不活泼的空间(S)中，且使空间(S)不可逆地开放。
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