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公开(公告)号：CN103240994B
公开(公告)日：2015-09-30
申请号：CN201310042767.6
申请日：2013-01-31
申请人： 精工爱普生株式会社
CPC分类号： B41J2/14233 , B41J2/045 , B41J2/14201 , B41J2/14274 , B41J2/161 , B41J2/1626 , B41J2/1631 , B41J2/1646 , B41J2002/14258 , B41J2002/14491 , H01L41/0471 , H01L41/0805
摘要： 本发明涉及一种液体喷射头及液体喷射装置，其防止压电体层中的裂纹等不良的产生。所述液体喷射头具备：基板，其形成有与喷嘴开口连通的压力产生室；压电元件，其具有压电体层、第一电极以及第二电极，其中，所述第一电极在所述压电体层的所述基板侧以与所述压力产生室相对应的方式而形成，所述第二电极在所述压电体层的、形成有第一电极的一侧的相反侧以遍及多个所述压力产生室的方式而形成，所述第二电极以在所述压力产生室的长度方向上延伸至所述压力产生室的外侧的方式而形成。
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公开(公告)号：CN103252995A
公开(公告)日：2013-08-21
申请号：CN201310049819.2
申请日：2013-02-07
申请人： 精工爱普生株式会社
IPC分类号： B41J2/045
CPC分类号： B41J2/14201 , B41J2/14233 , B41J2002/14491 , B41J2202/11
摘要： 本发明提供一种能够抑制裂纹的产生的、可靠性较高的液滴喷射头。本发明所涉及的液滴喷射头包括：个别电极，其以与压力产生室相对应的方式而被设置；压电体层，其被形成在所述个别电极之上；共用电极，其被形成在所述压电体层之上，并以横跨多个所述压力产生室的方式而被设置，在被所述个别电极与所述共用电极夹着的所述压电体层的能动部的长度方向外侧处，设置有导电性部件，所述导电性部件被形成于所述压电体层之上，并且与所述个别电极以及所述共用电极绝缘。
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公开(公告)号：CN101722730B
公开(公告)日：2012-07-04
申请号：CN200910179424.8
申请日：2009-10-09
申请人： 精工爱普生株式会社
CPC分类号： B41J2/14233 , B41J2/04581 , B41J2/04588 , B41J2002/14241
摘要： 本发明提供一种提高了变位特性的液体喷射头、液体喷射装置及执行元件装置。液体喷射头具有：流路形成基板，其形成有与喷射液滴的喷嘴开口连通的压力发生室；和压电元件(300)，其具有第1电极(60)、形成在该第1电极(60)上的压电体层(70)、和形成在该压电体层(70)的与上述第1电极(60)相反侧的第2电极(80)，通过使上述压力发生室产生压力，从上述喷嘴开口喷出液滴；在上述第1电极(60)和上述第2电极(80)未被施加电压的状态下，上述压电体层(70)的内部电场偏向上述第1电极(60)侧、或上述第2电极(80)侧。
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公开(公告)号：CN109196881B
公开(公告)日：2020-11-17
申请号：CN201780025741.7
申请日：2017-04-18
申请人： 精工爱普生株式会社
IPC分类号： H04R17/00 , A61B8/14 , H01L41/04 , H01L41/09 , H01L41/113
摘要： 提供超声波的收发效率高的超声波器件、超声波模块和超声波测量装置。该超声波器件具备：基板，具有第一开口和第二开口；支承膜，设在基板上，并堵塞第一开口及第二开口；发送用压电膜，设在支承膜上，且从基板的厚度方向观察时，设在与第一开口重叠的位置，发送用压电膜在基板的厚度方向上被夹在一对电极之间；以及接收用压电膜，设在支承膜上，且从基板的厚度方向观察时，设在与第二开口重叠的位置，接收用压电膜在基板的厚度方向上被夹在一对电极之间，在基板的厚度方向上，发送用压电膜的厚度尺寸比接收用压电膜的厚度薄。
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公开(公告)号：CN102180013A
公开(公告)日：2011-09-14
申请号：CN201110008111.3
申请日：2011-01-11
申请人： 精工爱普生株式会社
CPC分类号： B41J2/14233 , B41J2/055 , B41J2/161 , B41J2/1623 , B41J2/1629 , B41J2002/14241 , B41J2002/14419
摘要： 本发明涉及液体喷射头及液体喷射装置，可降低压电元件的应力集中来抑制压电元件的损坏。具备：沿着短边方向并列设置有与喷嘴开口连通的压力发生室的流路形成基板；和压电元件，其在该流路形成基板的一个面侧与压力发生室对应设置，具有第1电极、在第1电极上设置的压电体层及在压电体层上设置的第2电极，第1电极对应于压力发生室独立设置，并且第2电极遍及压力发生室的并列设置方向连续设置，与压力发生室的并列设置方向交叉的方向上，在压电体层的实质上驱动的活性部和实质上不驱动的非活性部的边界的至少一方边界的活性部侧，在第1电极与第2电极之间设置有介电常数比活性部的中央部低的低电介质层。
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公开(公告)号：CN101676109A
公开(公告)日：2010-03-24
申请号：CN200910173568.2
申请日：2009-09-17
申请人： 精工爱普生株式会社
CPC分类号： B41J2/14233 , B41J2/04581 , B41J2/04588 , B41J2/055 , B41J2002/14241 , B41J2002/1425 , B41J2002/14266 , B41J2002/14419 , H01L41/0973
摘要： 本发明提供一种能够减小因反复驱动而引起的变位量的变化率，提高耐久性的液体喷射头及液体喷射装置和执行元件装置。该液体喷射头包括：流路形成基板(10)，其形成有与喷射液滴的喷嘴开口连通的压力发生室(12)；和压电元件(300)，其具备：第一电极(60)、形成在该第一电极上的具有由通式ABO 3 表示的钙钛矿构造的压电体层(70)、和形成在该压电体层的与第一电极相反侧的第二电极(80)；上述压电体层具有单斜晶系构造，上述第一电极(60)及上述第二电极(80)之间产生的电场的方向与上述压电体层的极矩的方向所成的角度，比上述压电体层的压电常数为极大时上述电场的方向与上述压电体层的极矩的方向所成的角度大。
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公开(公告)号：CN107773271B
公开(公告)日：2022-03-22
申请号：CN201710709559.5
申请日：2017-08-17
申请人： 精工爱普生株式会社
摘要： 本发明提供了超声波的发送接收效率高的超声波器件、超声波组件以及超声波测定装置。超声波器件具备：基板，具有第一开口和第二开口；支撑膜，设置在所述基板上，所述支撑膜将所述第一开口和所述第二开口堵塞；发送用压电膜，设置在所述支撑膜上，且当从所述基板的厚度方向观察时，设置于与所述第一开口重叠的位置，在所述基板的厚度方向上被一对电极夹着；以及接收用压电膜，设置在所述支撑膜上，且当从所述基板的厚度方向观察时，设置于与所述第二开口重叠的位置，在与所述基板的厚度方向交叉的交叉方向上被一对电极夹着，相对于所述基板的厚度方向的所述接收用压电膜的膜厚尺寸小于所述发送用压电膜的膜厚尺寸。
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公开(公告)号：CN106175827B
公开(公告)日：2021-05-18
申请号：CN201610361700.2
申请日：2016-05-26
申请人： 精工爱普生株式会社
摘要： 本发明提供压电器件、探测器、电子设备及超声波图像装置，压电器件(47)具备：压电体膜(51)，具有与振动膜(48)接触的第一面(51a)和位于该第一面的相反侧的第二面(51b)；第一电极(52)和第二电极(53)，设置于压电体膜(51)的第二面(52b)，配置于彼此分开的位置，且在与压电体膜(51)分开的位置彼此短路；以及第三电极(54)，在压电体膜(51)的第二面(51b)设置于在第一电极(52)与第二电极(53)之间，并配置在与第一电极(52)和第二电极(53)分开的位置。第一电极(52)和第二电极(53)的端部(52a)、(53a)的轮廓被限定为至少局部地平行于第三电极(54)的侧部(54b)、(54b)。
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公开(公告)号：CN106923861B
公开(公告)日：2021-03-23
申请号：CN201610856572.9
申请日：2016-09-27
申请人： 精工爱普生株式会社
摘要： 本发明公开了压电元件、探测器以及超声波测定装置，压电元件(50)包括：振动膜(56)；压电体(58)，配置在所述振动膜(56)的一面侧；以及水平电极构造，在所述压电体(58)上隔开规定间隔而配置有电极，所述振动膜(56)俯视时在与所述规定间隔相对应的部分具有凹部(第一凹部(64))。
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公开(公告)号：CN109196881A
公开(公告)日：2019-01-11
申请号：CN201780025741.7
申请日：2017-04-18
申请人： 精工爱普生株式会社
IPC分类号： H04R17/00 , A61B8/14 , H01L41/04 , H01L41/09 , H01L41/113
摘要： 提供超声波的收发效率高的超声波器件、超声波模块和超声波测量装置。该超声波器件具备：基板，具有第一开口和第二开口；支承膜，设在基板上，并堵塞第一开口及第二开口；发送用压电膜，设在支承膜上，且从基板的厚度方向观察时，设在与第一开口重叠的位置，发送用压电膜在基板的厚度方向上被夹在一对电极之间；以及接收用压电膜，设在支承膜上，且从基板的厚度方向观察时，设在与第二开口重叠的位置，接收用压电膜在基板的厚度方向上被夹在一对电极之间，在基板的厚度方向上，发送用压电膜的厚度尺寸比接收用压电膜的厚度薄。
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