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公开(公告)号：CN107773271A
公开(公告)日：2018-03-09
申请号：CN201710709559.5
申请日：2017-08-17
申请人： 精工爱普生株式会社
CPC分类号： G01N29/2437 , A61B8/4411 , A61B8/4427 , A61B8/4483 , A61B8/4494 , A61B8/54 , B06B1/0688 , G01N29/0681 , G01N29/221 , G01N2291/02466 , G01N2291/0426 , G01N2291/102 , G01N2291/105 , A61B8/00 , A61B8/06 , A61B8/4488 , B06B1/06 , B06B3/00
摘要： 本发明提供了超声波的发送接收效率高的超声波器件、超声波组件以及超声波测定装置。超声波器件具备：基板，具有第一开口和第二开口；支撑膜，设置在所述基板上，所述支撑膜将所述第一开口和所述第二开口堵塞；发送用压电膜，设置在所述支撑膜上，且当从所述基板的厚度方向观察时，设置于与所述第一开口重叠的位置，在所述基板的厚度方向上被一对电极夹着；以及接收用压电膜，设置在所述支撑膜上，且当从所述基板的厚度方向观察时，设置于与所述第二开口重叠的位置，在与所述基板的厚度方向交叉的交叉方向上被一对电极夹着，相对于所述基板的厚度方向的所述接收用压电膜的膜厚尺寸小于所述发送用压电膜的膜厚尺寸。
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公开(公告)号：CN106175827A
公开(公告)日：2016-12-07
申请号：CN201610361700.2
申请日：2016-05-26
申请人： 精工爱普生株式会社
IPC分类号： A61B8/00
CPC分类号： A61B8/4281 , A61B8/4209 , A61B8/4444 , A61B8/4477 , A61B8/4483 , A61B8/461 , B06B1/06 , B06B1/0607 , B06B1/0622 , B06B1/0696 , H01L41/0475
摘要： 本发明提供压电器件、探测器、电子设备及超声波图像装置，压电器件(47)具备：压电体膜位于该第一面的相反侧的第二面(51b)；第一电极(52)和第二电极(53)，设置于压电体膜(51)的第二面(52b)，配置于彼此分开的位置，且在与压电体膜(51)分开的位置彼此短路；以及第三电极(54)，在压电体膜(51)的第二面(51b)设置于在第一电极(52)与第二电极(53)之间，并配置在与第一电极(52)和第二电极(53)分开的位置。第一电极(52)和第二电极(53)的端部(52a)、(53a)的轮廓被限定为至少局部地平行于第三电极(54)的侧部(54b)、(54b)。(51)，具有与振动膜(48)接触的第一面(51a)和
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公开(公告)号：CN104954958A
公开(公告)日：2015-09-30
申请号：CN201510130669.7
申请日：2015-03-24
申请人： 精工爱普生株式会社
CPC分类号： B06B1/0666 , A61B8/14 , A61B8/4488 , A61B8/4494 , A61B8/462 , B06B1/0629 , B06B1/0662 , B06B1/067
摘要： 本发明提供一种压电元件、压电器件、探头、电子设备及超声波图像装置，其能够避免压电体产生裂纹，最大限度地发挥压电体的压电效应。超声波换能器元件(57)包括：振膜(58)；压电体(63)，配置在振膜(58)上；第1电极(61)，配置在压电体(63)上；第2电极(62)，配置在压电体(63)上并且是与第1电极(61)隔开的位置上；以及槽(64)，在从振膜(58)的厚度方向观察的俯视下，位于第1电极(61)和第2电极(62)之间，并将压电体(63)的表面分成两个。
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公开(公告)号：CN106052666B
公开(公告)日：2021-07-02
申请号：CN201610181833.1
申请日：2016-03-28
申请人： 精工爱普生株式会社
IPC分类号： G01C19/5656 , G01C19/5649
摘要： 本发明提供电子器件、电子器件的制造方法、电子设备以及移动体，具有接合强度高且能够比较简单地制造的金属膜结构。电子器件(100)具有：基材(110)；第1金属膜(121)，其配置在基材(110)上，含有氮和铬；以及第2金属膜(122)，其配置在第1金属膜(121)上，含有金，在第1金属膜(121)中，氮原子的数量是铬原子的数量的20％以上且100％以下。并且，对于第1金属膜(121)中的氮原子的分布，被第1金属膜(121)的基材(110)侧的第1区域和第2金属膜(122)侧的第2区域夹着的第3区域比第1区域和第2区域大。
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公开(公告)号：CN104954958B
公开(公告)日：2019-07-09
申请号：CN201510130669.7
申请日：2015-03-24
申请人： 精工爱普生株式会社
CPC分类号： B06B1/0666 , A61B8/14 , A61B8/4488 , A61B8/4494 , A61B8/462 , B06B1/0629 , B06B1/0662 , B06B1/067
摘要： 本发明提供一种压电元件、压电器件、探头、电子设备及超声波图像装置，其能够避免压电体产生裂纹，最大限度地发挥压电体的压电效应。超声波换能器元件(57)包括：振膜(58)；压电体(63)，配置在振膜(58)上；第1电极(61)，配置在压电体(63)上；第2电极(62)，配置在压电体(63)上并且是与第1电极(61)隔开的位置上；以及槽(64)，在从振膜(58)的厚度方向观察的俯视下，位于第1电极(61)和第2电极(62)之间，并将压电体(63)的表面分成两个。
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公开(公告)号：CN103240994A
公开(公告)日：2013-08-14
申请号：CN201310042767.6
申请日：2013-01-31
申请人： 精工爱普生株式会社
CPC分类号： B41J2/14233 , B41J2/045 , B41J2/14201 , B41J2/14274 , B41J2/161 , B41J2/1626 , B41J2/1631 , B41J2/1646 , B41J2002/14258 , B41J2002/14491 , H01L41/0471 , H01L41/0805
摘要： 本发明涉及一种液体喷射头及液体喷射装置，其防止压电体层中的裂纹等不良的产生。所述液体喷射头具备：基板，其形成有与喷嘴开口连通的压力产生室；压电元件，其具有压电体层、第一电极以及第二电极，其中，所述第一电极在所述压电体层的所述基板侧以与所述压力产生室相对应的方式而形成，所述第二电极在所述压电体层的、形成有第一电极的一侧的相反侧以遍及多个所述压力产生室的方式而形成，所述第二电极以在所述压力产生室的长度方向上延伸至所述压力产生室的外侧的方式而形成。
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公开(公告)号：CN101722730A
公开(公告)日：2010-06-09
申请号：CN200910179424.8
申请日：2009-10-09
申请人： 精工爱普生株式会社
CPC分类号： B41J2/14233 , B41J2/04581 , B41J2/04588 , B41J2002/14241
摘要： 本发明提供一种提高了变位特性的液体喷射头、液体喷射装置及执行元件装置。液体喷射头具有：流路形成基板，其形成有与喷射液滴的喷嘴开口连通的压力发生室；和压电元件(300)，其具有第1电极(60)、形成在该第1电极(60)上的压电体层(70)、和形成在该压电体层(70)的与上述第1电极(60)相反侧的第2电极(80)，通过使上述压力发生室产生压力，从上述喷嘴开口喷出液滴；在上述第1电极(60)和上述第2电极(80)未被施加电压的状态下，上述压电体层(70)的内部电场偏向上述第1电极(60)侧、或上述第2电极(80)侧。
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公开(公告)号：CN107039577B
公开(公告)日：2022-01-14
申请号：CN201610949882.5
申请日：2016-10-26
申请人： 精工爱普生株式会社
IPC分类号： H01L41/047 , H01L41/29 , H01L41/297 , B06B1/06
摘要： 提供一种具有高压电特性的压电体的压电元件、压电模块、电子设备以及压电元件的制造方法。接收用换能器(52)具备：挠性部(412D)；压电膜(423)，设置于挠性部(412D)；第一电极(422)，设置于挠性部(412D)的设置有压电膜(423)一侧的第一面(412B1)和压电膜(423)的与挠性部(412D)相反一侧的面的第二面(423A)之间；以及第二电极(424)，设置于第一面(412B1)和第二面(423A)之间，在从挠性部(412D)的厚度方向观察的俯视下，与第一电极(422)隔着间隙相对。
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