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公开(公告)号：CN102375015A
公开(公告)日：2012-03-14
申请号：CN201110226985.6
申请日：2011-08-09
Applicant: 罗伯特·博世有限公司
IPC: G01N27/414
CPC classification number: G01N27/4141
Abstract: 本发明涉及场效应气体传感器、用于制造场效应气体传感器的方法和用于探测气体的方法。提出了一种场效应气体传感器（100，200，250，300，400，500，600，1020），其具有对于至少一种预先确定的气体可透过的多孔电极层（110，310，410，510，610）。此外，该场效应气体传感器包括至少一个与电极层邻接的介电体层（120、210、220、230、240、320、430、520、540、620、660），所述介电体层具有不同于SiO2的材料。最后，该场效应气体传感器包括由金属或半导体材料构成的后部电极（150，330，420，440，530，640），其中后部电极在与电极层对置的那侧上与所述介电体层邻接。
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公开(公告)号：CN107250783B
公开(公告)日：2020-06-02
申请号：CN201580076605.1
申请日：2015-12-08
Applicant: 罗伯特·博世有限公司
IPC: G01N27/407
Abstract: 本发明涉及一种用于制造用于检测测量介质（M）中的至少一种气态分析物的气体传感器设备（100）的方法。该方法包括以下步骤：在使用至少一种分离工艺和至少一种涂层工艺的情况下加工第一半导体衬底（101）和第二半导体衬底（102），以便在第一半导体衬底（101）和第二半导体衬底（102）中产生凹槽区段、固体电解质层和电极。该方法还具有以下步骤：将第一半导体衬底（101）和第二半导体衬底（102）拼接，以便在第一半导体衬底（101）和第二半导体衬底（102）之间产生用于调节测量介质（M）的气体组成的调节腔（111）、用于检测气态分析物的检测腔（112）和用于控制测量介质（M）在调节腔（111）和检测腔（112）之间的扩散的扩散区段（113）。
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公开(公告)号：CN107003277A
公开(公告)日：2017-08-01
申请号：CN201580065419.8
申请日：2015-10-09
Applicant: 罗伯特·博世有限公司
IPC: G01N27/407
Abstract: 本发明涉及用于制造用于检测至少一种气态分析物的气体传感器装置（100）的方法。所述方法（700）具有以下步骤：提供传感器基体（110），所述半导体基体具有半导体衬底（112）和被布置在所述半导体衬底（112）的第一主表面上的固体电解质层（116），至少一个腔区段（114）成形在所述半导体衬底中。在此所述固体电解质层（116）在所述至少一个腔区段（114）中未被所述半导体衬底（112）覆盖。所述方法还具有以下步骤：在所述传感器基体（110）的半导体衬底侧处生成以干化学方式沉积的信号传导层（120），使得在所述至少一个腔区段（114）中未被所述半导体衬底（112）覆盖的固体电解质层（116）的区域中，至少一个缺口区段在所述信号传导层（120）中成形，在所述缺口区段中移除了或者未沉积所述信号传导层（120）；此外，所述方法具有下述步骤：将至少两个测量电极（130、140）借助于湿化学过程涂覆到所述固体电解质层（116）上，其中第一测量电极（130）布置在所述信号传导层（120）的所述至少一个缺口区段中，并且第二测量电极（140）布置在所述传感器基体（110）的固体电解质层侧上。
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公开(公告)号：CN105784786A
公开(公告)日：2016-07-20
申请号：CN201610010520.X
申请日：2016-01-08
Applicant: 罗伯特·博世有限公司
IPC: G01N27/12
CPC classification number: G01N27/123 , G01N27/12
Abstract: 用于检测气态分析物的方法和传感器设备及其制造方法。本发明涉及用于检测至少一种气态分析物的传感器设备（300）。在此传感器设备（300）具有由化学电阻材料构成的化学电阻器层（310），所述化学电阻材料的电阻依赖于运行温度以及依赖于与至少一种气态分析物的接触。在这种情况下化学电阻器层（310）能够借助于通过该化学电阻器层的电流被调温到能够定义的运行温度上。传感器设备（300）也具有电极对（320、330），所述电极对与化学电阻器层（310）导电连接。在此在使用电极对（320、330）的情况下将用于将化学电阻器层（310）调温到能够定义的运行温度上的加热功率注入到化学电阻器层（310）中并且能够测量化学电阻器层（310）的电阻。
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公开(公告)号：CN103109173B
公开(公告)日：2015-11-25
申请号：CN201180045518.1
申请日：2011-07-29
Applicant: 罗伯特·博世有限公司
CPC classification number: F01N13/008 , F01N2560/02 , G01N1/2252 , G01N27/4077 , G01N2001/2282
Abstract: 本发明涉及一种传感器装置，尤其用于探测带内燃机的机动车的废气中的气体排放物，包括气体管路（12）和由壳体（16）限定边界的以及与气体管路（12）的内部通过入口（18）和出口（20）流体连通的分析室（14），其中分析室（14）至少部分布置在气体管路（12）之外，并且其中在分析室（14）中这样布置传感器（28），使该传感器处在气体管路（12）之外。按照本发明设置了至少一个冷却元件（32），该冷却元件布置在气体管路（12）和传感器（28）之间的区域中。传感器（28）由此可以在处在废气温度之下的温度下运行。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN104062342A
公开(公告)日：2014-09-24
申请号：CN201410101584.1
申请日：2014-03-19
Applicant: 罗伯特·博世有限公司
IPC: G01N27/407 , B81B7/00 , B81C1/00
CPC classification number: G01N27/407
Abstract: 本发明涉及一种用于对于一种气体进行检测的传感器装置（100），它具有检测区域（102）和通过连接接片（106）与该检测区域（102）电地并且机械地连接的读出区域（104），其中，读出区域（104）、检测区域（102）和连接接片（106）由基片构成，并且检测区域（102）和连接接片（106）通过凹坑（108）从基片中镂空地产生，其中，检测区域（102）具有用于提供与气体有关的测量信号的离子传导区域，并且将读出区域（104）设计为用于读出所述测量信号。
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公开(公告)号：CN104049023A
公开(公告)日：2014-09-17
申请号：CN201410091873.8
申请日：2014-03-13
Applicant: 罗伯特·博世有限公司
IPC: G01N27/416 , B81B1/00 , G01N27/406
CPC classification number: G01N27/30 , G01N27/286 , G01N27/3273 , G01N27/4065 , G01N27/4067 , G01N27/417
Abstract: 本发明涉及微电化学传感器以及用于运行微电化学传感器的方法。公开了一种具有能量供应单元（102）和传感器单元（104）的微电化学传感器（100）。自给自足的能量供应单元（102）被构造用于在使用参考流体（108）的情况下产生电能（106）。所述传感器单元（104）被构造用于确定化学种类在测量流体（112）和参考流体（108）之间的浓度差（110），其中所述测量流体具有未知浓度的该种类并且所述参考流体具有已知浓度的该种类。所述传感器单元（104）与所述能量供应单元（102）电连接并且被构造用于在使用能量供应单元（102）的电能（106）的情况下确定所述浓度差（110）。
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公开(公告)号：CN102628831A
公开(公告)日：2012-08-08
申请号：CN201210022334.X
申请日：2012-02-01
Applicant: 罗伯特·博世有限公司
IPC: G01N27/414
CPC classification number: G01N27/4148
Abstract: 本发明涉及用于监控化学敏感场效应晶体管的至少一种功能的方法和监控设备。本发明提出一种用于在机动车中在化学敏感场效应晶体管的运行期间监控所述化学敏感场效应晶体管的至少一种功能的方法。所述化学敏感场效应晶体管具有源极接触部（302）、漏极接触部（304）和栅极电极（300）。所述方法具有步骤：调整在所述漏极接触部和所述源极接触部之间的电压（UDS）和在所述源极接触部和所述栅极电极之间的电压（UG）。此外所述方法具有步骤：测定在所述漏极接触部和所述源极接触部之间的通过电流（IDS），以便在使用所述通过电流的情况下监控所述化学敏感场效应晶体管的功能。
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公开(公告)号：CN102346161A
公开(公告)日：2012-02-08
申请号：CN201110215725.9
申请日：2011-07-29
Applicant: 罗伯特·博世有限公司
IPC: G01N27/22
CPC classification number: G01N27/4141
Abstract: 本发明提供一种气体探测装置，它具有一种半导体材料（100），其中，半导体材料是电可接触的；并且该装置具有一种绝缘材料（102），所述绝缘材料具有预定的厚度，并且是涂覆到半导体材料上的；并且具有一个涂覆到绝缘材料上的电可接触的金属层（104），其中，这个金属层具有至少一个孔（106）、且该孔具有预定的孔隙宽度，其中，这个孔隙宽度和绝缘材料的厚度成一种预先规定的比例，并且其中，在孔的范围中绝缘材料是外露的。
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公开(公告)号：CN104076063B
公开(公告)日：2019-01-15
申请号：CN201410122407.1
申请日：2014-03-28
Applicant: 罗伯特·博世有限公司
IPC: G01N27/00
Abstract: 本发明涉及一种用于定性地和/或定量地检测气体的传感器元件，其具有可暴露给有待测量的气体的前电极（18）、后电极（14）以及布置在前电极（18）与后电极（14）之间的电绝缘层（16），其中前电极（18）和后电极（14）为了定性地和/或定量地检测气体可与交流电压源电气接触，并且其中绝缘层（16）至少如此可局部地极化，从而使得绝缘层在极化状态下具有相对的介电常数，所述介电常数比在非极化状态下小一个系数，所述系数位于在大于或等于1.1的范围中。前述传感器元件（10）可通过有利的方式允许高敏感度地并且高选择性地在宽的温度范围中定性地和/或定量地检测气体。本发明还涉及一种传感器装置以及一种用于定性地和/或定量地检测气体的方法。
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