公开(公告)号：CN106653537B

公开(公告)日：2018-12-21

申请号：CN201610729771.3

申请日：2016-08-26

Applicant: FEI ,  公司

Inventor： A.亨斯特拉 ,  P.C.蒂伊梅杰

IPC: H01J37/26 ,  H01J37/28

Abstract: 本发明公开具有增强的能量范围的柱后滤波器。本发明涉及针对（扫描）透射电子显微镜（（S）TEM）的柱后过滤器（PCF）。传统上，这些过滤器使用在EFTEM和EELS模式二者中同样的在狭缝平面之前的光学元件的激发。尽管这便于本领域中的技术人员开发和调谐PCF的任务，由于其将自由度数目减少到可管理的数量。发明人发现用来确定针对EELS模式的狭缝平面之前的光学元件的设置，其与EFTEM模式不同，并且其中PCF在EELS模式中的性能改进（特别地是可以被成像的相对能量范围），而没有使PCF在EFTEM模式中的性能降级。

公开(公告)号：CN106653537A

公开(公告)日：2017-05-10

申请号：CN201610729771.3

申请日：2016-08-26

Applicant: FEI 公司

Inventor： A.亨斯特拉 ,  P.C.蒂伊梅杰

IPC: H01J37/26 ,  H01J37/28

CPC classification number: H01J37/28 ,  H01J37/05 ,  H01J37/14 ,  H01J37/22 ,  H01J37/263 ,  H01J2237/057 ,  H01J2237/1534 ,  H01J2237/2802 ,  H01J37/261 ,  H01J37/265

Abstract: 本发明公开具有增强的能量范围的柱后滤波器。本发明涉及针对（扫描）透射电子显微镜（（S）TEM）的柱后过滤器（PCF）。传统上，这些过滤器使用在EFTEM和EELS模式二者中同样的在狭缝平面之前的光学元件的激发。尽管这便于本领域中的技术人员开发和调谐PCF的任务，由于其将自由度数目减少到可管理的数量。发明人发现用来确定针对EELS模式的狭缝平面之前的光学元件的设置，其与EFTEM模式不同，并且其中PCF在EELS模式中的性能改进（特别地是可以被成像的相对能量范围），而没有使PCF在EFTEM模式中的性能降级。

公开(公告)号：CN103681188B

公开(公告)日：2016-03-23

申请号：CN201310397481.X

申请日：2013-09-04

Applicant: FEI公司

Inventor： I.拉滋 ,  G.范杜恩恩 ,  P.C.蒂伊梅杰

IPC: H01J37/26 ,  H01J37/28

CPC classification number: H01J37/153 ,  H01J2237/1534

Abstract: 本发明的名称是探查和校正带电粒子透镜系统中的像差的方法，透镜系统具有包括物平面的物空间和包括像平面的像空间，由此放置在物平面上的物体能够通过透镜系统而被成像到所述像平面上，透镜系统还具有入射光瞳。本发明的方法包括以下步骤：选择物平面上的固定轴心点；导引带电粒子射束通过轴心点、入射光瞳以及透镜系统并且到像平面上，射束相对于入射光瞳的面积具有相对小的横截面积；改变射束通过轴心点的定向，以便在入射光瞳上描绘出入射图形并且在像平面上描绘出对应的像图形；记录像图形；在透镜系统的一系列不同焦点设定处重复这个过程，从而在不同焦点设定处采集被记录的像图形的集合；分析该集合以便从其得到透镜像差。

公开(公告)号：CN105405734A

公开(公告)日：2016-03-16

申请号：CN201510554068.9

申请日：2015-09-02

Applicant: FEI公司

Inventor： E.F.德荣格 ,  S.拉扎 ,  P.C.蒂伊梅杰 ,  R.格尔恩克

IPC: H01J37/26 ,  H01J37/28

CPC classification number: H01J37/226 ,  H01J37/05 ,  H01J37/09 ,  H01J37/147 ,  H01J37/20 ,  H01J37/244 ,  H01J37/26 ,  H01J37/261 ,  H01J37/28 ,  H01J2237/0455 ,  H01J2237/057 ,  H01J2237/15 ,  H01J2237/2007 ,  H01J2237/24485 ,  H01J2237/24585 ,  H01J2237/2802

Abstract: 本发明涉及一种在透射带电粒子显微镜中执行光谱术的方法，所述透射带电粒子显微镜包括：-样本夹持器，用于夹持样本；-源，用于产生带电粒子的射束；-照明器，用于引导所述射束以便照射所述样本；-成像系统，用于将透射穿过所述样本的带电粒子的通量引导到光谱学装置上，所述光谱学装置包括用于使所述通量分散到光谱子射束的能量分辨阵列中的分散设备，所述方法包括以下步骤：-使用可调光圈设备来容许所述阵列的第一部分到达检测器，同时阻挡所述阵列的第二部分；-在所述光圈设备上游在所述通量中提供辐射传感器；-使用所述传感器来在所述阵列的所述第二部分的所选区域中执行局部化辐射感测，同时通过所述检测器检测所述第一部分；-使用来自所述传感器的感测结果来调整来自所述检测器的检测结果。