PVD镀覆工艺中的镀层控制装置及方法

    公开(公告)号:CN113195781A

    公开(公告)日:2021-07-30

    申请号:CN201980084764.4

    申请日:2019-12-10

    Applicant: POSCO公司

    Abstract: 本发明提供一种镀层控制装置,该镀层控制装置应用于利用金属蒸汽对钢板进行物理气相沉积(Physical Vapor Deposition,PVD)以形成镀层的PVD镀覆工艺。镀层控制装置包括:坩埚,放入有熔融材料;电磁感应线圈,设置在坩埚的外围,加热放入坩埚中的熔融材料并形成熔汤,以从熔汤产生金属蒸汽;电源单元,向电磁感应线圈供应电流;以及控制单元,测量电磁感应线圈的阻抗,并根据以恒定的供应速度放入坩埚中的熔融材料控制供应到所述电磁感应线圈的电流,以使电磁感应线圈的阻抗恒定。

    熔融材料供应单元及包括该供应单元的干式涂覆装置

    公开(公告)号:CN109154059A

    公开(公告)日:2019-01-04

    申请号:CN201780029755.6

    申请日:2017-05-16

    Applicant: POSCO公司

    Abstract: 根据本发明的一实施例的熔融材料供应单元,包括:原料供应部,提供固体材料;熔融容器部,与原料供应部连接,并且将固体材料熔融而形成熔融材料之后,排出到外部;以及隔板部,配置在与原料供应部连接的熔融容器部的供应区域与将熔融材料排出到外部的熔融容器部的排出区域之间,并且设置为只将熔融材料移动到排出区域。并且,根据本发明的另一实施例的干式涂覆装置可以包括:熔融材料供应单元;真空腔室单元,配置为被镀覆部件在内部移动,并且内部设有熔融材料供应单元的熔融容器部;以及蒸气喷射单元,设置在真空腔室单元的内部,并且与熔融容器部连接,将加热熔融材料而形成的蒸气材料喷射到被镀覆部件以执行涂覆。

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