一种电子级三氟化氯制备用初级纯化设备

    公开(公告)号:CN117414601A

    公开(公告)日:2024-01-19

    申请号:CN202311748533.3

    申请日:2023-12-19

    IPC分类号: B01D5/00 B01D53/00

    摘要: 本发明公开了一种电子级三氟化氯制备用初级纯化设备,包括:冷凝纯化单元,包含罐体,其一侧顶部向上连接有三氟化氯进料管,另一侧上下端部分别向外连接有尾气排出管,以及三氟化氯液料收集管;液态物料收集单元,包含连接于三氟化氯液料收集管的收集容器,收集容器的顶部向外连接有抽气管,所述三氟化氯进料管上连接有虹吸三通管,抽气管连接到虹吸三通管的虹吸段;信号获取单元,所述罐体上固定安装有隔料板,所述信号获取单元固定安装于隔料板外侧的罐体上,在信号获取单元获取到位于隔料板外侧的气体不再形成冷凝液时,将所述隔料板外侧的气体排往相应的尾气处理设备进行尾气处理。本发明能够有效提升产品的纯化效果、并降低产品损失。

    一种三氟化氯充装用温差式隔离充装柜及其充装方法

    公开(公告)号:CN116658802B

    公开(公告)日:2023-12-22

    申请号:CN202310719592.1

    申请日:2023-06-16

    摘要: 本发明公开了一种三氟化氯充装用温差式隔离充装柜及其充装方法,所述温差式隔离充装柜包括充装柜本体,所述充装柜本体分隔成上部常温区和下部低温区;充装罐固定机构,包含可移动安装于充装柜本体底部的固定底座,固定底座的外侧向上固接有第一固定板,第一固定板的上部向内固接有隔离限位板,隔离限位板的内侧向下固接有第二固定板;充装机构,包含物料充装管,所述物料充装管上固定安装有物料充装阀门;充装罐,包含充装罐体、以及连接于充装罐体顶部的进出料管,所述进出料管上固定安装有进出料阀门,第一固定板封闭于充装柜本体的开口外侧时,所述进出料管固定插接于所述物料充装管内。本发明能够有效快速安全对三氟化氯进行充装。

    一种在线监控的光刻胶反应釜

    公开(公告)号:CN116920774B

    公开(公告)日:2023-12-19

    申请号:CN202311209557.1

    申请日:2023-09-19

    摘要: 本发明公开了一种在线监控的光刻胶反应釜,包括釜体;监测机构,包含抽料泵、以及连接到所述釜体内部的进料管、出料管,所述进料管内固定安装有滤网,所述滤网外侧的进料管上安装有用于对声音信号进行获取的声音传感器;搅拌机构,包含转动安装于釜体内的搅拌轴,所述搅拌轴的两侧固接有若干个相应的搅拌板;搅拌加强机构,所述搅拌板的中部分别贯穿设置有相应的插接口,所述搅拌加强机构包含可移动插接于所述插接口处的搅拌加强板;当所述搅拌轴的搅拌速度超过第一阈值时,所述搅拌加强板向下移动至所述插接口的外侧,以增加对物料的搅拌面积。本发明能够有效便捷对产品的反应进程进行监测,且能够有效保持检测精度。

    用于三氟化氮制备的热裂解装置及安全制备系统

    公开(公告)号:CN117138497A

    公开(公告)日:2023-12-01

    申请号:CN202310732915.0

    申请日:2023-06-12

    摘要: 本发明提供了一种用于三氟化氮制备的热裂解装置及安全制备系统。所述用于三氟化氮制备的热裂解装置,包括热裂解塔,设置于所述热裂解塔底部的进气部,设置于所述进气部和所述热裂解塔之间的滤网,缠绕于所述热裂解塔外部的加热线圈,设置于所述热裂解塔顶部的出气口,以及填充于所述热裂解塔内的加热钢球,所述热裂解装置用于将NF3气体进行热裂解以除去氟氮类杂质气体杂质。本发明通过在电解法制备三氟化氮的过程中,增加热裂解装置,其可以有效去除氟氮类杂质气体杂质,从而可以降低由于氟氮类杂质气体杂质积聚产生的爆炸风险,提高生产的安全性能。

    六氟乙烷的纯度确定方法和系统
    15.
    发明公开

    公开(公告)号:CN116990336A

    公开(公告)日:2023-11-03

    申请号:CN202310979819.6

    申请日:2023-08-04

    摘要: 本发明提供的一种六氟乙烷的纯度确定方法和系统,该方法包括获取本次六氟乙烷的检测信息,本次六氟乙烷的检测信息包括纯度检测重要程度、六氟乙烷的总摩尔数、分析方式信息;基于本次六氟乙烷的检测信息使用深度神经网络模型确定本次六氟乙烷的检测方式;基于本次六氟乙烷的检测信息、本次六氟乙烷的检测方式确定本次六氟乙烷的检测次数;基于本次六氟乙烷的检测方式、本次六氟乙烷的检测次数来对六氟乙烷进行检测得到本次六氟乙烷的检测方式的检测结果信息;基于本次六氟乙烷的检测方式的检测结果信息使用卷积神经网络模型确定六氟乙烷的纯度,该方法可以降低六氟乙烷的纯度分析成本。

    一种制备六氟化钨的离心控制系统及控制方法

    公开(公告)号:CN116618190B

    公开(公告)日:2023-10-03

    申请号:CN202310896060.5

    申请日:2023-07-21

    IPC分类号: B04B5/12 C01G41/04 B04B13/00

    摘要: 本发明公开了一种制备六氟化钨的离心控制系统及控制方法。所述系统包括反应器、低温收集罐、气液分离器、压缩机,所述气液分离器包括控制器,所述控制器包括平衡模型建立模块、综合优化模型建立模块、转换优化模型建立模块、最优控制条件确定模块,所述控制器根据最优控制条件对气液分离器实施控制。本发明以逸散六氟化钨浓度、气液分离器搅拌桨转速作为寻优目标,确立最优控制条件,能够根据实际工况进行调节控制,提高气液分离的效率,并降低了能耗。

    一种三氟化氮的制备方法
    17.
    发明授权

    公开(公告)号:CN116254547B

    公开(公告)日:2023-09-08

    申请号:CN202211719384.3

    申请日:2022-12-30

    摘要: 本发明属于电子化工领域,尤其涉及一种三氟化氮的制备方法。所述方法包括:将氟化氢和氟化氢铵低温下混匀后加热至熔融,于电解槽中进行电解处理,收集电解处理过程中阳极产生的阳极气,将阳极气导向净化室,净化室内通过氧化处理降解部分杂质后导出粗品气,对粗品气依次进行醇洗和冷阱回收,得到液态三氟化氮。本发明通过电化学法能够一定程度上控制阳极气产物成分,并针对所产生的阳极气成分改进纯化过程,进而实现高效制备高纯三氟化氮,三氟化氮产物得率能够达到70%以上并使得产物三氟化氮纯度达到99.8%以上。

    用于三氟化氮制备的汽水分离装置及制备系统

    公开(公告)号:CN116407913B

    公开(公告)日:2023-08-29

    申请号:CN202310690484.6

    申请日:2023-06-12

    摘要: 本发明提供了一种用于三氟化氮制备的汽水分离装置,包括汽水分离器、旋风分离机以及冻干机;其中,所述汽水分离器包括:容器;设置于所述容器顶部的第一进气口;垂直并排设置于所述容器中上部的水汽分离管道,其中,每一水汽分离管道沿其高度方向进一步设置多个水汽分离腔,所述水汽分离腔交错设置;形成于所述容器中下部,且用于承接所述水汽分离管道的水份的储水部;从所述容器顶部贯穿所述水汽分离管道的出气管,且所述出气管与所述储水部联通;与所述出气管联通的第一出气口;设置于所述容器底部的排水口。本发明通过三级联动控制,从而可以将三氟化氮中的水汽降低到300ppmv以下,从而最大限度的降低水汽对后续吸附装置中吸附剂产生的影响。

    一种三氟化氯充装方法及系统
    19.
    发明公开

    公开(公告)号:CN116624753A

    公开(公告)日:2023-08-22

    申请号:CN202310719593.6

    申请日:2023-06-16

    摘要: 本发明公开了一种三氟化氯充装方法及系统,包括:S1;将充装罐与温差式隔离充装柜的充装控制系统之间建立连接关系;S2;搭建预处理管路,通过预处理管路对充装罐内部进行预处理;S3;在完成充装罐的连接后,将三氟化氯液体通入供气单元,通过控制温差改变三氟化氯的相态变化,并对供气单元内的三氟化氯气体增压,使三氟化氯气体向后端传输;S4;恒温输送三氟化氯气体,并在管道的外侧建立惰性气体层进行保护;S5;温差式隔离充装柜接收恒温的三氟化氯气体并经温差式隔离充装柜降温,三氟化氯气体在充装罐内液化为液体并储存在充装罐内,不仅提升了三氟化氯充装过程的被动安全,还提高充装效率并降低能耗。

    高纯度八氟丙烷的制备方法及装置

    公开(公告)号:CN116425609A

    公开(公告)日:2023-07-14

    申请号:CN202310070620.1

    申请日:2023-01-17

    摘要: 本发明提供了一种高纯度八氟丙烷的制备方法及制备装置。其中,所述制备方法包括以下步骤:S1,将所述七氟丙烷气体与电解制氟产生的氟气通入微通道反应器(10)中反应,其中,反应温度为180~220℃,反应时间为1~10分钟,得到八氟丙烷粗气,然后将八氟丙烷通入缓冲罐(11)中;S2,将所述八氟丙烷粗气依次通入水洗、碱洗、除水、吸附以及精馏步骤,得到所述高纯度八氟丙烷。本发明通过七氟丙烷气体与电解制氟产生的氟气通入微通道反应器中反应一步法制备八氟丙烷,并将所述八氟丙烷经过水洗、碱洗、除水、吸附以及精馏等步骤,从而可以制备纯度为99.999%的高纯八氟丙烷气体。