公开(公告)号：CN102853771A

公开(公告)日：2013-01-02

申请号：CN201210347063.5

申请日：2012-09-19

申请人： 哈尔滨工业大学

发明人： 谭久彬 ,  刁晓飞 ,  胡鹏程 ,  杨千惠 ,  白洋

IPC分类号： G01B11/02 ,  G01B11/04

CPC分类号： G01B9/02007 ,  G01B9/02003 ,  G01B9/02027 ,  G01B9/02045 ,  G01B11/14 ,  G01B2290/70 ,  G01J9/04 ,  G02B27/283

摘要： 小型化高速超精密激光外差干涉测量方法及装置属于激光应用技术领域，本发明采用了空间分离的参考光和测量光，并进行测量光路平衡性设计，同时该方法产生了两个具有相反多普勒频移的干涉测量信号，并根据被测目标的运动方向和速度，选择性使用两测量信号来进行干涉测量；本发明不仅减小了温度变化对测量的影响，而且消除了干涉仪中的频率混叠现象，提高了外差干涉测量的测量精度，简化了干涉测量系统的结构；同时解决了激光光源频差对测量速度限制的问题。

公开(公告)号：CN102853771B

公开(公告)日：2015-07-29

申请号：CN201210347063.5

申请日：2012-09-19

申请人： 哈尔滨工业大学

发明人： 谭久彬 ,  刁晓飞 ,  胡鹏程 ,  杨千惠 ,  白洋

IPC分类号： G01B11/02 ,  G01B11/04

CPC分类号： G01B9/02007 ,  G01B9/02003 ,  G01B9/02027 ,  G01B9/02045 ,  G01B11/14 ,  G01B2290/70 ,  G01J9/04 ,  G02B27/283

摘要： 小型化高速超精密激光外差干涉测量方法及装置属于激光应用技术领域，本发明采用了空间分离的参考光和测量光，并进行测量光路平衡性设计，同时该方法产生了两个具有相反多普勒频移的干涉测量信号，并根据被测目标的运动方向和速度，选择性使用两测量信号来进行干涉测量；本发明不仅减小了温度变化对测量的影响，而且消除了干涉仪中的频率混叠现象，提高了外差干涉测量的测量精度，简化了干涉测量系统的结构；同时解决了激光光源频差对测量速度限制的问题。

公开(公告)号：CN102859418B

公开(公告)日：2015-04-08

申请号：CN201180021834.5

申请日：2011-05-02

申请人： 浜松光子学株式会社

发明人： 岩井秀直 ,  藤本正俊

IPC分类号： G02B27/52 ,  G01J9/02 ,  G01N21/45

CPC分类号： G01B9/02045 ,  G01N21/41 ,  G02B21/14 ,  G02B27/52 ,  G03H1/0443 ,  G03H1/0866 ,  G03H2001/0447 ,  G03H2001/045 ,  G03H2001/0463 ,  G03H2210/62

摘要： 本发明的目的在于提供一种即使是在使用每一个像素的读出速度为低速的光检测器的情况下也能够以高灵敏度高速地获得移动的对象物的相位图像的观察装置。观察装置（1）具备光源部（10）、第1调制器（20）、第2调制器（30）、透镜（40）、射束分离器（41）、光检测器（46）以及运算部（50）。透镜（40）输入在移动的对象物（2）所产生的散射光而形成对象物（2）的傅里叶变换图像。光检测器（46）关于u方向的各个位置在各个时刻输出表示以对应于经过透镜（40）到达受光面上的各个位置的光的多普勒频移量的频率进行随时间变化的数据的关于v方向的总和的数据。运算部（50）根据光检测器（46）的输出而获得对象物（2）的图像。

公开(公告)号：CN102859418A

公开(公告)日：2013-01-02

申请号：CN201180021834.5

申请日：2011-05-02

申请人： 浜松光子学株式会社

发明人： 岩井秀直 ,  藤本正俊

IPC分类号： G02B27/52 ,  G01J9/02 ,  G01N21/45

CPC分类号： G01B9/02045 ,  G01N21/41 ,  G02B21/14 ,  G02B27/52 ,  G03H1/0443 ,  G03H1/0866 ,  G03H2001/0447 ,  G03H2001/045 ,  G03H2001/0463 ,  G03H2210/62

摘要： 本发明的目的在于提供一种即使是在使用每一个像素的读出速度为低速的光检测器的情况下也能够以高灵敏度高速地获得移动的对象物的相位图像的观察装置。观察装置（1）具备光源部（10）、第1调制器（20）、第2调制器（30）、透镜（40）、射束分离器（41）、光检测器（46）以及运算部（50）。透镜（40）输入在移动的对象物（2）所产生的散射光而形成对象物（2）的傅里叶变换图像。光检测器（46）关于u方向的各个位置在各个时刻输出表示以对应于经过透镜（40）到达受光面上的各个位置的光的多普勒频移量的频率进行随时间变化的数据的关于v方向的总和的数据。运算部（50）根据光检测器（46）的输出而获得对象物（2）的图像。

公开(公告)号：CN1979086A

公开(公告)日：2007-06-13

申请号：CN200610112248.2

申请日：2006-08-29

申请人： 安捷伦科技有限公司

发明人： 威廉·克莱·施卢赫特尔

IPC分类号： G01B9/02

CPC分类号： G01B9/02018 ,  G01B9/02007 ,  G01B9/02021 ,  G01B9/02027 ,  G01B9/02045 ,  G01B2290/70 ,  G03F7/70775

摘要： 本发明公开了一种干涉仪，所述干涉仪采用第一测量通道和第二测量通道，对于沿垂直和水平方向的测量可以获得大的动态范围，其中第一测量通道对于一路径进行的包括分别与光学器件－物体间隔平行和垂直的分量的测量具有大的动态范围，第二测量通道只对垂直分量的测量提供了大的动态范围。此外，在物体周围的多个位置处采用相同的技术可以使物体自由度的测量具有大的动态范围。