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公开(公告)号：CN119197829A
公开(公告)日：2024-12-27
申请号：CN202411431979.8
申请日：2024-10-14
Applicant: 上海蓝威微机电有限公司
Inventor： 房亮
Abstract: 本发明涉及传感器技术领域，尤其为一种MEMS平板电容式差压压力传感器，包括：外框，用于作为承载结构，安装双层薄膜、平板电极；平板电极，固定安装在所述外框内的中间；双层薄膜，安装在外框内，且分别在所述平板电极的两侧，通过测量薄膜和平板电容之间电容的变化，来反映压力的变化；刚性连接体，位于所述双层薄膜之间，用于该双层薄膜的传导压力，并平衡两侧压力。本发明通过固定的平板电极以及平板电极两侧的薄膜结构，实现差分测量，在减小误差的同时提高灵敏度。
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公开(公告)号：CN119191222A
公开(公告)日：2024-12-27
申请号：CN202411578185.4
申请日：2024-11-07
Applicant: 润芯感知科技(南昌)有限公司
Abstract: 本公开实施例提供一种电容式压力传感器及其制造方法、电子装置，所述制造方法包括：在衬底的第一侧上形成第一介质层、第一电极层、第二介质层和第二电极层；在第二电极层中形成第一电极过孔和第二电极过孔；移除第二介质层的被第二电极过孔暴露出的部分，以形成介质凹槽；在第二电极层的远离衬底的一侧形成钝化层，钝化层具有填入介质凹槽的钝化凸出部，且具有第一钝化开口，第一钝化开口与第一电极过孔空间连通，并构成释放孔；从衬底的第二侧进行刻蚀工艺，以在衬底中形成第一空腔；以及进行介质刻蚀工艺，以形成第二空腔，第二空腔和释放孔空间连通，第一电极层的部分位于第一空腔和第二空腔之间，并用作振膜，且钝化凸出部位于第二空腔中。
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公开(公告)号：CN118961049B
公开(公告)日：2024-12-27
申请号：CN202411447309.5
申请日：2024-10-16
Applicant: 季华实验室
Abstract: 本申请属于电路测量的技术领域，公开了一种真空计电容传感器的测量电路，该测量电路包括：依次连接的二极管双T型交流电桥电路、多级放大电路、后置滤波电路和ADC采样电路；当被测腔体内的气体压力没有发生变化时，二极管双T型交流电桥电路处于平衡状态，二极管双T型交流电桥电路中无直流电信号产生；当被测腔体内的气体压力发生变化时，二极管双T型交流电桥电路处于不平衡状态，二极管双T型交流电桥电路根据气体压力变化量产生对应的直流电信号；通过测量电路中的二极管双T型交流电桥电路，对被测腔体内的气体压力变化量进行测量，提高了真空计电容传感器的测量电路的测量精度。
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公开(公告)号：CN119164520A
公开(公告)日：2024-12-20
申请号：CN202411246270.0
申请日：2024-09-06
Applicant: 孝感华工高理电子有限公司
Abstract: 本发明涉及压力传感器技术领域，特别涉及一种耐高温压力传感器及其制造方法，所述耐高温压力传感器包括：壳体，其一端具有安装槽，其另一端具有与所述安装槽的槽底连通的通道；压力感应元件，其设置在所述安装槽内，并通过粘合剂与所述安装槽的槽底粘合密封；电路板；连接器，所述电路板设置在所述连接器上并与其电连接；线束，其两端接口分别与所述压力感应元件和所述电路板电连接。本发明提供一种耐高温压力传感器及其制造方法，对压力传感器结构进行变更，可以满足苛刻的高温要求。
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公开(公告)号：CN109855774B
公开(公告)日：2024-12-17
申请号：CN201910065266.7
申请日：2019-01-23
Applicant: 广西大学
Abstract: 本发明公开了一种分层的电容式多维力传感器，其由变形层、测量层组成。变形层主要包括变形层外圈、变形层内圈以及蛇形结构变形梁。变形层内圈上设有螺纹孔和通孔，分别用于连接测量层和输入轴。变形层外圈上设有沉头孔，用于外负载的连接。测量层上有传感器动电极部分和测量内圈，传感器动电极部分包括垂直型感应电容器动电极部分和平行板感应电容器动电极部分。本发明采用测量层与变形层上下分层分布，测量层和变形层可以使用不同材料，同时使得传感器更容易加工，降低制作成本、提高加工精度，从而可以提高传感器测量精度。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN118999881A
公开(公告)日：2024-11-22
申请号：CN202411409575.9
申请日：2024-10-10
Applicant: 中国南方电网有限责任公司
Abstract: 本申请涉及一种集成式无线无源压力传感器及环境气压检测设备。上述集成式无线无源压力传感器，包括密封衬底、敏感电容结构、补偿结构、与敏感电容结构连接的第一电感、与补偿结构连接第二电感以及分别与第一电感和第二电感焊接的焊盘，经焊盘可以外接一阻抗分析仪，以测量由补偿结构和第二电感组成的补偿谐振回路的补偿谐振频率；在集成式无线无源压力传感器所处的环境中的气压发生变化时，可以测量由敏感电容结构和第一电感组成的气压敏感谐振回路的气压敏感谐振频率；根据气压敏感谐振频率和补偿谐振频率即可确定环境中气压变化引起的谐振频率。上述集成式无线无源压力传感器能够提高测量准确性。
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公开(公告)号：CN118961049A
公开(公告)日：2024-11-15
申请号：CN202411447309.5
申请日：2024-10-16
Applicant: 季华实验室
Abstract: 本申请属于电路测量的技术领域，公开了一种真空计电容传感器的测量电路，该测量电路包括：依次连接的二极管双T型交流电桥电路、多级放大电路、后置滤波电路和ADC采样电路；当被测腔体内的气体压力没有发生变化时，二极管双T型交流电桥电路处于平衡状态，二极管双T型交流电桥电路中无直流电信号产生；当被测腔体内的气体压力发生变化时，二极管双T型交流电桥电路处于不平衡状态，二极管双T型交流电桥电路根据气体压力变化量产生对应的直流电信号；通过测量电路中的二极管双T型交流电桥电路，对被测腔体内的气体压力变化量进行测量，提高了真空计电容传感器的测量电路的测量精度。
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公开(公告)号：CN118936688A
公开(公告)日：2024-11-12
申请号：CN202410646391.8
申请日：2024-05-23
Applicant: 北京信息科技大学
IPC: G01L1/14 , B29C64/106 , B29C64/20 , B29C64/314 , B29C64/268 , B33Y10/00 , B33Y30/00 , B33Y40/10 , C01B32/184 , G01L9/12
Abstract: 本发明涉及一种全多孔结构超高灵敏度电容式柔性压力传感器，属于微纳加工—传感器技术领域。本发明的目的是为了解决目前电容式传感器灵敏度还不够高以适配微观场景的问题。本发明使用PAA溶液混合CuCl2粉末经过加热获得掺铜的PI膜，通过飞秒激光诱导出多孔的石墨烯，伴随着被还原的铜纳米粒子成为一种二维复合材料，作为电容式压力传感器的两个电极层。然后，再通过用离子液体浸泡pu泡沫作为“三明治”结构的介质层，如此一来，本发明便获得了全结构都为多孔粗糙表面的电容式压力传感器。传感器由于其每一个接触面都为多孔且粗糙的，增大了接触表面积，极大地提升了传感器的灵敏度。
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公开(公告)号：CN111807311B
公开(公告)日：2024-11-12
申请号：CN202010284231.5
申请日：2020-04-13
Applicant: 罗伯特·博世有限公司
Abstract: 本发明涉及用于电容式传感器设备的微机械构件，其具有衬底(10)；由直接或间接布置在衬底(10)上的第一半导体层和/或金属层(16)形成的固定的第一电极(12)；和相对于第一电极(12)能调节的借助膜片(22)悬置在第一电极(12)上方的第二电极(14)，至少第二电极(14)由第二半导体层和/或金属层(24)形成，第二半导体层和/或金属层布置在第一半导体层和/或金属层(16)的离开衬底(10)指向的侧上，盖装置(26)覆盖膜片(22)，盖装置(26)由第三半导体层和/或金属层(28)形成，其布置在第二半导体层和/或金属层(24)的离开衬底(10)指向的侧上。本发明也涉及电容式传感器设备和用于微机械构件和电容式传感器设备的制造方法。
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公开(公告)号：CN113937399B
公开(公告)日：2024-10-01
申请号：CN202110793927.5
申请日：2021-07-13
Applicant: 奥迪股份公司
Inventor： S·施陶登迈尔
IPC: H01M50/204 , H01M50/244 , H01M50/249 , H01M10/48 , B60L58/10 , G01L9/12
Abstract: 本发明涉及一种具有至少两个电池单体(20)的电池模块(10)，这些电池单体被作为单体组(11)设置在一个共同的模块壳体中以形成电池模块(10)。在单体组叠(11)中，分别在两个相邻的电池单体(20)之间布置有单体分隔元件(31)，其被设计成根据电池单体(20)的膨胀状态而变形。为了监测膨胀状态，电池模块(10)还包括监测装置(40)，其具有压力传感器(30)，以检测对应于膨胀状态的压力信号。为了电容式地检测压力信号，压力传感器(30)按照平板电容器原理被设计为具有多个层的、压敏的膜。此外，单体分隔元件(31)作为所述膜的各层中的一层构成了用于压力传感器(30)的电介质。
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