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公开(公告)号：CN117983022A
公开(公告)日：2024-05-07
申请号：CN202410275722.1
申请日：2024-03-12
Applicant: 明石创新(烟台)微纳传感技术研究院有限公司 , 山东国创微纳制造研究院有限公司
Abstract: 本发明提出了一种多功能变压吸附式制氧吸附塔，用以解决现有技术中的靠近气流的分子筛容易快速饱和，远离气流的分子筛不易饱和，使得分子筛的吸附均匀度较差的问题。该吸附塔包括吸附罐、净化器、气泵、支撑柱，两个所述吸附罐下表面固定连接有若干支撑柱，所述气泵与净化器通过输气管连接，所述净化器与其中一个所述吸附罐之间设置有第一进气管，另一个所述吸附罐与第一进气管之间设置有第二进气管，还包括搅动组件，所述搅动组件设置在吸附罐内，用于对分子筛进行搅动。本发明通过搅动组件对分子筛进行翻滚搅动，提高分子筛的吸附均匀度，以此来提高分子筛的吸附效果。
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公开(公告)号：CN117761257A
公开(公告)日：2024-03-26
申请号：CN202311787014.8
申请日：2023-12-22
Applicant: 西安交通大学 , 明石创新(烟台)微纳传感技术研究院有限公司
IPC: G01N33/00 , D06M11/74 , D06M11/42 , D06M11/44 , D06M101/34
Abstract: 本发明公开了一种基于纳米线阵列的柔性织物气体传感器及其制备方法，以具有良好抗弯曲拉伸能力的尼龙纤维作为传感器的基底，在尼龙纤维表面附着RGO薄膜，不仅可以使尼龙纤维获得优异的导电性，也可以作为ZnO‑NWs阵列的生长基底，而在RGO薄膜表面生长的ZnO‑NWs阵列结构可以作为复合材料的附着基底，形成基于纳米线阵列的柔性织物NO2气体传感器，建立一种传感器电阻和不同NO2气体浓度之间的变化关系，进而实现对NO2气体的室温检测。使用P型CuO纳米材料对同样为P型的RGO材料进行掺杂修饰改性，两种电学性质、功能函数等不同的半导体材料会形成特殊的气敏结构单元(P‑P异质结构)，可以有效提高气敏材料的催化氧化活性，有利于改善传感器对NO2气体的室温响应特性。
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公开(公告)号：CN117761133A
公开(公告)日：2024-03-26
申请号：CN202311787878.X
申请日：2023-12-22
Applicant: 西安交通大学 , 明石创新(烟台)微纳传感技术研究院有限公司
IPC: G01N27/30 , B05D7/24 , G01N27/416
Abstract: 本发明公开了一种基于多层异质薄膜结构的气体传感器及其制备方法，属于低浓度二氧化氮气体室温检测和柔性可穿戴领域，通过在柔性基底上设置柔性叉指电极，然后利用涂覆工艺生长形成基底薄膜，能够确保整体结构的柔性，适合穿戴，同时在生长基底薄膜上设置ZnO‑NWs阵列层，能够提高检测范围以及检测精度；本申请制备得到的多层异质薄膜结构的气体传感器，基于ZnO‑NWs阵列生长复合气敏薄膜，采用ZnO‑NWs阵列，具有更大的比表面积，应用在气体传感器中作为气敏材料的附着基底，可有效增大气敏薄膜的表面积，进而有利于提升传感器的气敏特性。
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公开(公告)号：CN114923973B
公开(公告)日：2023-10-20
申请号：CN202210543984.2
申请日：2022-05-18
Applicant: 明石创新(烟台)微纳传感技术研究院有限公司 , 明石创新产业技术研究院有限公司
IPC: G01N27/407 , G01N27/409 , C23C14/58 , C23C14/35 , C23C14/16 , C23C14/08 , C23C14/04
Abstract: 本发明公开了一种高原制氧机专用小尺寸氧分压型氧传感器及其制备方法，其中，该氧传感器的结构自上而下依次为：顶层多孔Pt电极、上层钇稳定氧化锆固体电解质、第二层多孔Pt电极、回字形致密Pt电极层、第三层多孔Pt电极、下层钇稳定氧化锆固体电解质、底层多孔Pt电极、绝缘层和加热电极。本发明提供的氧传感器以氧化锆固体电解质作为功能层，可以测量氧分压，并进一步换算获得氧浓度，进而可以实时监控环境下的氧分压和氧浓度；本发明采用磁控溅射工艺制备传感器，整个传感器的厚度可降低至2.1～47μm，从而可以降低功耗，改善加热的均匀性，最终保持氧的输运特性一致，进一步提升测氧精度。
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公开(公告)号：CN115166008B
公开(公告)日：2023-10-13
申请号：CN202210804629.6
申请日：2022-07-08
Applicant: 明石创新(烟台)微纳传感技术研究院有限公司 , 明石创新产业技术研究院有限公司
IPC: G01N27/417 , G01N27/406 , G01N27/407 , G01N27/409
Abstract: 本发明公开了一种氧分压式型氧传感器及其制备方法，属于氧传感器技术领域。该氧分压型氧传感器的结构从上至下依次为：加热电极、氧化铝绝缘层、第一固体电解质、铂环、第二固体电解质和氧化铝保护层，其中，第一固体电解质和第二固体电解质的上下两面均涂有铂浆，加热电极、感应电极、铂环和泵电极上各引出一根铂丝，整个氧传感器通过这四根铂丝与外界进行电气连接。本发明的有益之处在于：仅保留内部一个作为空腔结构的铂环，无需内置有机浆料后期排胶烧结成空腔，既降低了物料成本，又保证了空腔结构的稳定性，进而保证了氧传感器的灵敏度；印刷有加热电极，简化了加热方式，减少了后期加工难度，更加有利于有效元件小型化。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN115060778B
公开(公告)日：2023-05-12
申请号：CN202210666483.3
申请日：2022-06-13
Applicant: 明石创新(烟台)微纳传感技术研究院有限公司 , 明石创新产业技术研究院有限公司
Abstract: 本发明公开了一种宽域型氧传感器及其制备方法，本发明在满足宽域型氧传感器正常工作的条件下，对宽域型氧传感器的结构进行了简化，将其中的氧储存电池和氧泵电池由传统的垂直排列改为水平间隔排列，改进后的宽域型氧传感器仅需要一层YSZ固体电解质(氧储存电池和氧泵电池共享一个YSZ固体电解质)，且各功能结构后续无需再进行二次加工成型，不仅降低了宽域型氧传感器的生产成本，更重要的是，在生产过程中有效保证了宽域型氧传感器高的批量一致性，进而可以提升宽域型氧传感器的检测质量和可靠性。
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公开(公告)号：CN116022723A
公开(公告)日：2023-04-28
申请号：CN202211604516.8
申请日：2022-12-13
Applicant: 西安交通大学 , 明石创新(烟台)微纳传感技术研究院有限公司 , 山东明石微纳技术研究院
Abstract: 本发明公开了一种双腔MEMS碱金属气室及其制备方法，P型(100)晶面双面抛光硅片上设有工作腔室、辅助腔室以及连接通道，第一玻璃片和第二玻璃片分别键合于P型(100)晶面双面抛光硅片的背面和正面并将工作腔室、辅助腔室和连接通道密封，工作腔室、辅助腔室、连接通道表面、第一玻璃片上与工作腔室和辅助腔室对应的区域以及第二玻璃片上与工作腔室、辅助腔室和连接通道对应的区域表面均设有HF型派瑞林薄膜；辅助腔室内设有碱金属化学反应物，工作腔室、辅助腔室和连接通道内填充有保护气体。与传统碱金属气室相比，本发明双MEMS碱金属气室具有体积小、气室间一致性好，以及批量制造等优点。
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公开(公告)号：CN115779219A
公开(公告)日：2023-03-14
申请号：CN202211440312.5
申请日：2022-11-17
Applicant: 明石创新(烟台)微纳传感技术研究院有限公司 , 明石创新产业技术研究院有限公司
Abstract: 本发明涉及胶囊氧舱技术领域，具体公开了一种应用于胶囊氧舱的多功能吸氧面罩，包括罩体、镜框、连接在罩体上的绑带和透气管，罩体一侧连接吸入管，吸入管管身连接氧气输入管；吸入管上安装有流量调节件；镜框设置有两组，镜框一侧连接折射镜，镜框通过调节架连接中心杆，两组调节架安装在一组中心杆上，罩体上连接有可拆卸的定位座；定位座包括固定块和活动板，固定块和活动板之间设有用于中心杆转动的转动槽；本发明中吸氧面罩中结合折射镜，除了一般吸氧面罩的功能外，使得吸氧用户在躺着的状态下能够查看舱内屏幕的内容，折射镜依附于吸氧面罩，与吸氧面罩一体化设计，提高了舒适性及便捷性。
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公开(公告)号：CN115753939A
公开(公告)日：2023-03-07
申请号：CN202211440468.3
申请日：2022-11-17
Applicant: 明石创新(烟台)微纳传感技术研究院有限公司 , 明石创新产业技术研究院有限公司
IPC: G01N27/409
Abstract: 本发明公开了医用小型制氧机专用氧化锆氧传感器及制备方法，涉及制氧机技术领域，包括第二绝缘层，所述第二绝缘层上设有铂电极阴极，所述铂电极阴极上设有致密扩散障层，所述致密扩散障层上设有钇稳定氧化锆固体电解质层，所述钇稳定氧化锆固体电解质层上设有铂电极阳极，所述铂电极阳极上设有第一绝缘层，所述第一绝缘层上设有加热电极；本发明采用磁控溅射、薄膜沉积工艺批量制备生产氧化锆氧传感器芯体，以解决现有芯体制备技术工艺复杂，生产效率低，不易于批量化生产；以及由于多层异质结构经过压制后烧结，此工艺过程容易导致电解质层与致密扩散障层接触不良，从而使传感器电信号传导效果不佳或不传导，最终良品率低的缺点。
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公开(公告)号：CN115175517A
公开(公告)日：2022-10-11
申请号：CN202210728365.0
申请日：2022-06-24
Applicant: 明石创新(烟台)微纳传感技术研究院有限公司 , 明石创新产业技术研究院有限公司
Abstract: 本发明公开了一种光纤电场传感器的探头保护装置，包括底座、散热机构、装夹机构、增强机构、导向框、伸缩罩、开合罩、安装架、升降座、传感器、支撑块、弹性带，所述底座上设置有散热机构，所述底座上设置有装夹机构，所述底座上设置有增强机构，所述底座上接触有导向框，所述导向框的内部滑动连接有伸缩罩，所述伸缩罩上铰接有两个对称分布的开合罩，所述导向框上固定连接有安装架，所述伸缩罩的内部滑动连接有升降座，所述升降座上固定连接有传感器，所述开合罩上固定连接有支撑块。本发明涉及一种光纤电场传感器的探头保护装置，具有保护装置便于拆卸、可以避免信号干扰与避免传感器过热的特点。
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