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公开(公告)号：CN116022723A
公开(公告)日：2023-04-28
申请号：CN202211604516.8
申请日：2022-12-13
Applicant: 西安交通大学 , 明石创新(烟台)微纳传感技术研究院有限公司 , 山东明石微纳技术研究院
Abstract: 本发明公开了一种双腔MEMS碱金属气室及其制备方法，P型(100)晶面双面抛光硅片上设有工作腔室、辅助腔室以及连接通道，第一玻璃片和第二玻璃片分别键合于P型(100)晶面双面抛光硅片的背面和正面并将工作腔室、辅助腔室和连接通道密封，工作腔室、辅助腔室、连接通道表面、第一玻璃片上与工作腔室和辅助腔室对应的区域以及第二玻璃片上与工作腔室、辅助腔室和连接通道对应的区域表面均设有HF型派瑞林薄膜；辅助腔室内设有碱金属化学反应物，工作腔室、辅助腔室和连接通道内填充有保护气体。与传统碱金属气室相比，本发明双MEMS碱金属气室具有体积小、气室间一致性好，以及批量制造等优点。
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公开(公告)号：CN117254712A
公开(公告)日：2023-12-19
申请号：CN202311211696.8
申请日：2023-09-19
Applicant: 西安交通大学 , 明石创新(烟台)微纳传感技术研究院有限公司 , 山东明石微纳技术研究院
Abstract: 本发明公开了一种复合摩擦电‑热电‑压电可穿戴能量收集器及其制备方法，属于自供电器件技术领域，复合摩擦电‑热电‑压电可穿戴能量收集器包括摩擦电层、热电层、压电层、保护层和柔性基底；按照柔性基底‑保护层‑压电层‑保护层‑热电层‑保护层‑摩擦电层自下而上的方式进行多层堆叠组装，当人体发生运动时，柔性基底和人体皮肤发生相对运动，摩擦电输出电压；柔性基底的自由垂坠块产生摆动，压电层输出电压；热电层感受到人体皮肤和外界环境的温差，热电层输出电压；能量收集器设计可以有效跟随人体运动，高效从人体运动中收集能量。
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公开(公告)号：CN117761257A
公开(公告)日：2024-03-26
申请号：CN202311787014.8
申请日：2023-12-22
Applicant: 西安交通大学 , 明石创新(烟台)微纳传感技术研究院有限公司
IPC: G01N33/00 , D06M11/74 , D06M11/42 , D06M11/44 , D06M101/34
Abstract: 本发明公开了一种基于纳米线阵列的柔性织物气体传感器及其制备方法，以具有良好抗弯曲拉伸能力的尼龙纤维作为传感器的基底，在尼龙纤维表面附着RGO薄膜，不仅可以使尼龙纤维获得优异的导电性，也可以作为ZnO‑NWs阵列的生长基底，而在RGO薄膜表面生长的ZnO‑NWs阵列结构可以作为复合材料的附着基底，形成基于纳米线阵列的柔性织物NO2气体传感器，建立一种传感器电阻和不同NO2气体浓度之间的变化关系，进而实现对NO2气体的室温检测。使用P型CuO纳米材料对同样为P型的RGO材料进行掺杂修饰改性，两种电学性质、功能函数等不同的半导体材料会形成特殊的气敏结构单元(P‑P异质结构)，可以有效提高气敏材料的催化氧化活性，有利于改善传感器对NO2气体的室温响应特性。
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公开(公告)号：CN117761133A
公开(公告)日：2024-03-26
申请号：CN202311787878.X
申请日：2023-12-22
Applicant: 西安交通大学 , 明石创新(烟台)微纳传感技术研究院有限公司
IPC: G01N27/30 , B05D7/24 , G01N27/416
Abstract: 本发明公开了一种基于多层异质薄膜结构的气体传感器及其制备方法，属于低浓度二氧化氮气体室温检测和柔性可穿戴领域，通过在柔性基底上设置柔性叉指电极，然后利用涂覆工艺生长形成基底薄膜，能够确保整体结构的柔性，适合穿戴，同时在生长基底薄膜上设置ZnO‑NWs阵列层，能够提高检测范围以及检测精度；本申请制备得到的多层异质薄膜结构的气体传感器，基于ZnO‑NWs阵列生长复合气敏薄膜，采用ZnO‑NWs阵列，具有更大的比表面积，应用在气体传感器中作为气敏材料的附着基底，可有效增大气敏薄膜的表面积，进而有利于提升传感器的气敏特性。
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公开(公告)号：CN117776091A
公开(公告)日：2024-03-29
申请号：CN202311833488.1
申请日：2023-12-27
Applicant: 西安交通大学 , 明石创新(烟台)微纳传感技术研究院有限公司
Abstract: 本发明公开了一种集成抗弛豫OTS膜的MEMS碱金属气室结构及其制备方法，该气室结构采用玻璃‑高阻硅‑玻璃三层结构，高阻硅片上设有工作腔、辅助腔、连接通道以及碱金属通道，工作腔内表面制备有抗弛豫性能的OTS膜。辅助腔内填充碱金属后，高阻硅片与第一玻璃片键合在一起，之后再将第二玻璃片与高阻硅片键合，形成三层结构。结合OTS膜在无碱金属蒸汽作用时相比于有碱金属蒸汽作用时可耐更高温度的机制，在辅助腔中设计了隔膜结构，其作用是在第二次阳极键合时隔绝OTS膜和碱金属蒸汽，使得抗弛豫OTS膜与阳极键合温度兼容。本发明由于集成抗弛豫OTS膜、充入缓冲气体压力较低，从而减小了共振谱线的压力展宽，抑制了磁场梯度的影响，降低了泵浦光的功率。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN212568596U
公开(公告)日：2021-02-19
申请号：CN202021438472.2
申请日：2020-07-21
Applicant: 明石创新(烟台)微纳传感技术研究院有限公司
IPC: G01N27/327 , G01N27/49
Abstract: 本实用新型涉及生物传感技术领域，尤其涉及同时测定胆固醇和葡萄糖的微型三电极传感器，包括硅片衬底及硅片衬底上分别设有的对电极、工作电极组与参比电极；工作电极组包括各自呈圆形的胆固醇氧化酶工作电极和葡萄糖氧化酶工作电极；对电极半包裹并隔开胆固醇氧化酶工作电极和葡萄糖氧化酶工作电极；参比电极位于胆固醇氧化酶工作电极和葡萄糖氧化酶工作电极之间；对电极、胆固醇氧化酶工作电极、葡萄糖氧化酶工作电极和参比电极依次分别通过一级铂导线、二级铂导线、四级铂导线、三级铂导线连接外部设备，本实用新型采用氧化还原反应原理检测葡萄糖和胆固醇浓度，使得灵敏度高，有较好的稳定性和同步性。
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公开(公告)号：CN111504220A
公开(公告)日：2020-08-07
申请号：CN202010368587.7
申请日：2020-05-01
Applicant: 西安交通大学 , 西安交通大学苏州研究院
Abstract: 一种光纤光栅温度/振动/应变复合传感器及其工作方法，包括第一基座及第二基座，第一基座及第二基座相对的一端分别设置有第一支撑梁及第二支撑梁，中间设置有弹簧梁；第二基座正中设置有L-悬臂梁；光纤粘贴于传感器顶部的凹槽中，光纤悬空处分别刻有第一光纤光栅和第二光纤光栅；测量振动时，L-悬臂梁产生受迫振动，并作用于第二光纤光栅，通过对第二光纤光栅输出信号进行快速傅里叶变换，得到振动和温度信号；测量应变时，在应变的作用下第一光纤光栅产生压缩或拉伸，测量第一光纤光栅输出信号得到应变信号，同时由得而光纤光栅测量得到的温度用于对应变信号进行温度补偿；本发明具有结构简单、灵敏度及测量精度高及实用高效的优点。
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公开(公告)号：CN111504219A
公开(公告)日：2020-08-07
申请号：CN202010368586.2
申请日：2020-05-01
Applicant: 西安交通大学 , 西安交通大学苏州研究院
Abstract: 一种少模光纤光栅三参量复合传感器及其工作方法，包括第一基座及第二基座，第一基座及第二基座相对的一端分别设置有第一支撑梁及第二支撑梁，中间设置有弹簧梁；第二基座正中设置有L-悬臂梁，L-悬臂梁、第一支撑梁、第二支撑梁、第一基座及第二基座顶部正中开设有凹槽，光纤粘贴于凹槽正中位置，光纤悬空处分别刻有少模光纤光栅和光纤光栅；少模光纤与单模光纤形成F-P腔，通过对F-P腔和少模光纤光栅信号的联合解调，得到温度和应变信号；在测量振动时，L-悬臂梁产生受迫振动，压缩或拉伸光纤光栅，通过对光纤光栅输出信号进行快速傅里叶变换，即可排除温度信号的干扰，得到振动信号。本发明具有结构简单、灵敏度及测量精度高及实用高效的优点。
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公开(公告)号：CN111504219B
公开(公告)日：2021-11-16
申请号：CN202010368586.2
申请日：2020-05-01
Applicant: 西安交通大学 , 西安交通大学苏州研究院
IPC: G01B11/16 , G01H9/00 , G01K11/3206 , G01K1/14
Abstract: 一种少模光纤光栅三参量复合传感器及其工作方法，包括第一基座及第二基座，第一基座及第二基座相对的一端分别设置有第一支撑梁及第二支撑梁，中间设置有弹簧梁；第二基座正中设置有L‑悬臂梁，L‑悬臂梁、第一支撑梁、第二支撑梁、第一基座及第二基座顶部正中开设有凹槽，光纤粘贴于凹槽正中位置，光纤悬空处分别刻有少模光纤光栅和光纤光栅；少模光纤与单模光纤形成F‑P腔，通过对F‑P腔和少模光纤光栅信号的联合解调，得到温度和应变信号；在测量振动时，L‑悬臂梁产生受迫振动，压缩或拉伸光纤光栅，通过对光纤光栅输出信号进行快速傅里叶变换，即可排除温度信号的干扰，得到振动信号。本发明具有结构简单、灵敏度及测量精度高及实用高效的优点。
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公开(公告)号：CN119620292A
公开(公告)日：2025-03-14
申请号：CN202411860366.6
申请日：2024-12-17
Applicant: 西安交通大学
Abstract: 一种改变波形提高解调分辨率的高串扰阵列波导光栅结构，包括输入光波导，输入光波导的输出端与耦合模块输入端相连接，耦合模块输出端依次连接第一平板波导、阵列波导及第二平板波导，第二平板波导的输出端分别连接第一输出波导、第二输出波导、第三输出波导、第四输出波导的输入端；本发明采用在输入端与耦合模块连接的阵列波导光栅结构，使得相邻输出通道的输出光谱具有大带宽，保证了在对FBG波长解调时相邻通道的大动态范围，还采用与设计值不同的光波导宽度值，调控输出光谱的顶端波形，在确保相邻输出通道动态范围不变的前提下，提高了解调波长的分辨率；具有结构简单、大带宽高串扰、波长解调分辨率高的优点。
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