-
公开(公告)号：CN116655977A
公开(公告)日：2023-08-29
申请号：CN202310072601.2
申请日：2023-01-28
申请人： 西安交通大学 , 明石创新(烟台)微纳传感技术研究院有限公司 , 山东明石微纳技术研究院
IPC分类号： C08J7/04 , C08J7/043 , C09D105/08 , C09D7/61 , C09D5/24 , C09D11/52 , C09D11/14 , H05K9/00 , H05B3/34 , H05B3/03 , G01B7/16 , C08L79/08
摘要： 本发明公开了一种基于可靠界面结合的柔性多功能薄膜的制备方法及器件，制备方法包括以下步骤：首先将含有氨基的聚合物改性，在其分子链上引入巯基，并将其溶解在去离子水中；将金属纳米颗粒加入含巯基聚合物的溶液中，均匀分散后静置；将改性后的含巯基的聚合物和所制备的导电油墨分层涂覆在清洁的柔性基板上；经低温干燥和高温烧结后，得到具有可靠结合力的柔性多功能薄膜，所制备的柔性多功能薄膜具有多种功能，可作为电磁屏蔽薄膜、弯曲应变传感器和电热器件使用。
-
公开(公告)号：CN117232689A
公开(公告)日：2023-12-15
申请号：CN202311169458.5
申请日：2023-09-11
申请人： 西安交通大学 , 明石创新(烟台)微纳传感技术研究院有限公司 , 山东明石微纳技术研究院
IPC分类号： G01K17/06
摘要： 本发明公开了一种多孔式柔性热流传感器，通过ITO与In2O3材料搭接形成热电堆的热节点，以聚酰亚胺作为传感器的热阻层与基底，通过在基底的小孔，串联起上下表面的热电堆，热电堆延伸至聚酰亚胺底部并引出，ITO与In2O3材料通过丝网印刷制备形成热电堆阵列，能够实现低温至高温下的热流测量，制备封装方法简单，可贴附于复杂表面，且成本较低，可应用于液氮等低温冷却、高温传热等热流测量。
-
公开(公告)号：CN116022723A
公开(公告)日：2023-04-28
申请号：CN202211604516.8
申请日：2022-12-13
申请人： 西安交通大学 , 明石创新(烟台)微纳传感技术研究院有限公司 , 山东明石微纳技术研究院
摘要： 本发明公开了一种双腔MEMS碱金属气室及其制备方法，P型(100)晶面双面抛光硅片上设有工作腔室、辅助腔室以及连接通道，第一玻璃片和第二玻璃片分别键合于P型(100)晶面双面抛光硅片的背面和正面并将工作腔室、辅助腔室和连接通道密封，工作腔室、辅助腔室、连接通道表面、第一玻璃片上与工作腔室和辅助腔室对应的区域以及第二玻璃片上与工作腔室、辅助腔室和连接通道对应的区域表面均设有HF型派瑞林薄膜；辅助腔室内设有碱金属化学反应物，工作腔室、辅助腔室和连接通道内填充有保护气体。与传统碱金属气室相比，本发明双MEMS碱金属气室具有体积小、气室间一致性好，以及批量制造等优点。
-
公开(公告)号：CN117254712A
公开(公告)日：2023-12-19
申请号：CN202311211696.8
申请日：2023-09-19
申请人： 西安交通大学 , 明石创新(烟台)微纳传感技术研究院有限公司 , 山东明石微纳技术研究院
摘要： 本发明公开了一种复合摩擦电‑热电‑压电可穿戴能量收集器及其制备方法，属于自供电器件技术领域，复合摩擦电‑热电‑压电可穿戴能量收集器包括摩擦电层、热电层、压电层、保护层和柔性基底；按照柔性基底‑保护层‑压电层‑保护层‑热电层‑保护层‑摩擦电层自下而上的方式进行多层堆叠组装，当人体发生运动时，柔性基底和人体皮肤发生相对运动，摩擦电输出电压；柔性基底的自由垂坠块产生摆动，压电层输出电压；热电层感受到人体皮肤和外界环境的温差，热电层输出电压；能量收集器设计可以有效跟随人体运动，高效从人体运动中收集能量。
-
公开(公告)号：CN117187744A
公开(公告)日：2023-12-08
申请号：CN202311149097.8
申请日：2023-09-06
申请人： 西安交通大学 , 明石创新(烟台)微纳传感技术研究院有限公司 , 山东明石微纳技术研究院
摘要： 本发明公开了一种具有保护层的T型薄膜热电偶及其制备方法，涉及温度传感器技术领域，采用保护层解决现有T型热电偶服役温度低的技术问题，T型薄膜热电偶包括陶瓷基底以及陶瓷基底上的正极敏感层Cu薄膜、负极敏感层Cu/Ni薄膜、敏感层薄膜上的保护层薄膜。当T型薄膜热电偶在高温下使用时，保护层能够阻止T型薄膜热电偶电极薄膜挥发以及防止氧气进入电极薄膜，减少薄膜的热挥发、氧化造成的电极损坏导致无法测温现象的出现。同时，保护层的存在使得金属热电偶能够在腐蚀性溶液或酸性、碱性溶液中使用。
-
公开(公告)号：CN117589139A
公开(公告)日：2024-02-23
申请号：CN202311604925.2
申请日：2023-11-28
申请人： 西安交通大学 , 明石创新(烟台)微纳传感技术研究院有限公司
摘要： 本发明公开了一种基于囚禁离子的转动角速度传感测量系统和方法，所述系统包括永磁体、离子阱、离子囚禁电极、恒压电源和偶极力光源；永磁体用于产生z方向的磁场，用于囚禁离子在xy平面内；离子囚禁电极包括四个电极，测量时，恒压电源向上施加交变电压形成旋转电磁场，相对的两个电极所加电压极性相同，相邻两个电极所加电压极性相反；所述偶极力光源用于发出偶极力光束，所述偶极力光束用于纠缠离子的电子自旋和离子的z方向简谐量子机械振子；所述离子团围绕z方向进行旋转质心运动，当外界存在转动角速度输入时，所述离子团和科里奥利力耦合，在z方向产生简谐运动。在转动测量精度方面达到了新高度。
-
公开(公告)号：CN117776091A
公开(公告)日：2024-03-29
申请号：CN202311833488.1
申请日：2023-12-27
申请人： 西安交通大学 , 明石创新(烟台)微纳传感技术研究院有限公司
摘要： 本发明公开了一种集成抗弛豫OTS膜的MEMS碱金属气室结构及其制备方法，该气室结构采用玻璃‑高阻硅‑玻璃三层结构，高阻硅片上设有工作腔、辅助腔、连接通道以及碱金属通道，工作腔内表面制备有抗弛豫性能的OTS膜。辅助腔内填充碱金属后，高阻硅片与第一玻璃片键合在一起，之后再将第二玻璃片与高阻硅片键合，形成三层结构。结合OTS膜在无碱金属蒸汽作用时相比于有碱金属蒸汽作用时可耐更高温度的机制，在辅助腔中设计了隔膜结构，其作用是在第二次阳极键合时隔绝OTS膜和碱金属蒸汽，使得抗弛豫OTS膜与阳极键合温度兼容。本发明由于集成抗弛豫OTS膜、充入缓冲气体压力较低，从而减小了共振谱线的压力展宽，抑制了磁场梯度的影响，降低了泵浦光的功率。
-
公开(公告)号：CN117082392A
公开(公告)日：2023-11-17
申请号：CN202311238995.0
申请日：2023-09-22
申请人： 西安交通大学
IPC分类号： H04R1/08
摘要： 本发明公开了具有声波聚焦功能的硅麦克风封装结构及麦克风，该封装结构包括超表面声学透镜结构以及封装结构本体，封装结构包含有振动膜片，超表面声学透镜结构设置于振动膜片与声源之间的声传播路径上，超表面声学透镜结构能够对经过其的声波聚焦；当封装结构本体上设有透声孔时，透声孔位于振动膜片与声源之间的声传播路径上，且超表面声学透镜结构位于透声孔与声源之间的声传播路径上，超表面声学透镜结构的焦点位于透声孔的中心；当封装结构本体上未设有透声孔时，超表面声学透镜结构的焦点位于振动膜片的中心。本发明通过对硅麦克风封装结构进行优化，在不增大破透声孔尺寸的情况下，能够提高硅麦克风的灵敏度。
-
公开(公告)号：CN116939413A
公开(公告)日：2023-10-24
申请号：CN202311007043.8
申请日：2023-08-10
申请人： 西安交通大学
IPC分类号： H04R1/08
摘要： 本发明公开了一种基于声学超表面的声波调控麦克风防尘装置及麦克风，防尘装置包括均为超表面的阻抗匹配区和声波调控区，阻抗匹配区的整体形状为一圆盘形，声波调控区的整体形状为一平凹透镜形，声波调控区的平面一侧与阻抗匹配区连接，阻抗匹配区上与声波调控区连接的一侧设有声波出口，阻抗匹配区上与声波调控区相对的一侧设有声波入口；阻抗匹配区和声波调控区同心设置，阻抗匹配区的厚度≤1/4声波波长，声波调控区的厚度≥阻抗匹配区的厚度；阻抗匹配区和声波调控区的整体厚度≤半个声波波长；声波调控区能够将经过阻抗匹配区的声波聚焦。本发明在提高了吸声系数的同时能够实现声波的调控，具有鲁棒性好、防尘透声的特点。
-
-
-
-
-
-
-
-
搜索结果
9 条记录 (耗时 0.062 秒)