公开(公告)号：CN101901777A

公开(公告)日：2010-12-01

申请号：CN201010141873.6

申请日：2010-03-31

Applicant: 东京毅力科创株式会社

Inventor： 中野征二 ,  松下道明 ,  饭田成昭 ,  榎木田卓 ,  森川胜洋

IPC: H01L21/683 ,  H01L21/677 ,  H01L21/00

CPC classification number: H01L21/67742 ,  H01L21/68707

Abstract: 本发明提供基板支承装置及基板支承方法。该基板支承装置能够防止由于由与基板的接触引起的磨损及由基板带来的药品的化学性侵蚀而无法正常地支承基板。该基板支承装置包括：支承构件，其具有支承基板背面的背面支承部；位置限制部，其设置于该支承构件上，包围被上述背面支承部支承的基板的侧面，用于限制基板的位置；上述背面支承部及上述位置限制部中的至少一个由基材和保护膜构成，该保护膜包覆该基材，用于防止该基材的磨损及化学性侵蚀中的至少一种。该基板支承装置例如还包括支承上述支承构件的基体和用于使支承构件相对于上述基体移动的驱动机构，构成为基板输送装置。上述支承构件例如构成为用于对基板进行加热或冷却的温度调整板。

公开(公告)号：CN208589418U

公开(公告)日：2019-03-08

申请号：CN201820944150.1

申请日：2018-06-19

Applicant: 东京毅力科创株式会社

Inventor： 中野征二

IPC: H01L21/67 ,  G03F7/20

Abstract: 本实用新型提供一种基板处理装置。本实用新型的目的在于在具备对基板进行检查的检查组件的基板处理装置中得到高的生产率。该基板处理装置具备：第一加载端口(2A、2B)和第二加载端口(2C、2D)，所述第一加载端口(2A、2B)和第二加载端口(2C、2D)以分别载置用于容纳基板的搬送容器的方式分别设置于左右方向上的一侧和另一侧；处理部(D2)，其对基板进行处理；检查组件(4)，其用于对处理部(D2)处理前或处理后的基板进行检查；以及基板搬送机构，其用于向处理部(D2)、载置于加载端口的搬送容器以及检查组件(4)交接所述基板。(ESM)同样的发明创造已同日申请发明专利

公开(公告)号：CN212659525U

公开(公告)日：2021-03-05

申请号：CN202020952391.8

申请日：2020-05-29

Applicant: 东京毅力科创株式会社

Inventor： 川口义广 ,  山胁阳平 ,  中野征二

IPC: H01L21/683 ,  H01L21/687

Abstract: 本实用新型提供一种基板处理装置，该基板处理装置能够形成多组以隔开恰当的间隔的方式相对的旋转流路与固定流路的组，能够针对这些组中的每个组控制气体的流动。基板处理装置具备：主轴，其使基板旋转；和气体轴承，其隔着气体层将所述主轴支承成旋转自由，在所述主轴的内部形成有多个供气体流动的旋转流路，在所述气体轴承的内部形成有多个供气体流动的固定流路，多个所述固定流路隔着所述气体层与不同的所述旋转流路相对。

公开(公告)号：CN301294969S

公开(公告)日：2010-07-28

申请号：CN200930264176.8

申请日：2009-11-17

Applicant: 东京毅力科创株式会社

Designer： 中野征二

Abstract: 1.外观设计产品名称：基板保持件。2.外观设计产品的用途：本外观设计产品是可交换安装在基板搬送臂上的基板保持件，在使用基板搬送臂搬送圆形的基板时，控制基板的位置并支撑基板，防止基板飞出。3.外观设计的设计要点：本外观设计的设计要点在于产品的形状。4.指定的图片或照片：立体图1。5.省略的视图：右视图与左视图对称，故省略右视图。