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公开(公告)号：CN109148329A
公开(公告)日：2019-01-04
申请号：CN201810632233.1
申请日：2018-06-19
Applicant: 东京毅力科创株式会社
Inventor： 中野征二
Abstract: 本发明提供一种基板处理装置、基板处理方法以及存储介质。该基板处理装置具备：第一加载端口(2A、2B)和第二加载端口(2C、2D)，所述第一加载端口(2A、2B)和第二加载端口(2C、2D)以分别载置用于容纳基板的搬送容器的方式分别设置于左右方向上的一侧和另一侧；处理部(D2)，其对基板进行处理；检查组件(4)，其用于对处理部(D2)处理前或处理后的基板进行检查；以及基板搬送机构，其用于向处理部(D2)、载置于加载端口的搬送容器以及检查组件(4)交接所述基板。
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公开(公告)号：CN101872732B
公开(公告)日：2015-02-18
申请号：CN201010167338.8
申请日：2010-04-23
Applicant: 东京毅力科创株式会社
Abstract: 本发明提供基板保持部件、基板搬送臂和基板搬送装置，其具备减低磨损量、防止污染、提高对准精度、防止凸出的功能。作为安装于基板搬送装置的基板搬送臂的、载置基板的周边而保持该基板的基板保持部件(4)，其具有与基板的背面抵接而保持该基板的背面保持部(5)、和与基板的端面抵接的端面抵接部(6)。端面抵接部(6)包括：具有R形状，与基板的端面抵接而限制基板的偏移的R形状部(8)；和设置在R形状部(8)的上方侧的、形成为檐状的悬突(overhang)部(81)。
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公开(公告)号：CN113924640B
公开(公告)日：2025-05-06
申请号：CN202080039357.4
申请日：2020-05-14
Applicant: 东京毅力科创株式会社
IPC: H01L21/67 , H01L21/683 , H01L21/687
Abstract: 一种基板加工装置，其具备：卡盘，其将基板保持为水平；加工单元，其将加工工具压靠于由所述卡盘保持着的状态的所述基板的外周，加工所述基板；以及下杯，其在所述基板的外周整周的范围内回收从所述基板落下的加工屑，在所述下杯形成有排出所述加工屑的排出口。
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公开(公告)号：CN101901777B
公开(公告)日：2013-04-03
申请号：CN201010141873.6
申请日：2010-03-31
Applicant: 东京毅力科创株式会社
IPC: H01L21/683 , H01L21/677 , H01L21/00
CPC classification number: H01L21/67742 , H01L21/68707
Abstract: 本发明提供基板支承装置及基板支承方法。该基板支承装置能够防止由于由与基板的接触引起的磨损及由基板带来的药品的化学性侵蚀而无法正常地支承基板。该基板支承装置包括：支承构件，其具有支承基板背面的背面支承部；位置限制部，其设置于该支承构件上，包围被上述背面支承部支承的基板的侧面，用于限制基板的位置；上述背面支承部及上述位置限制部中的至少一个由基材和保护膜构成，该保护膜包覆该基材，用于防止该基材的磨损及化学性侵蚀中的至少一种。该基板支承装置例如还包括支承上述支承构件的基体和用于使支承构件相对于上述基体移动的驱动机构，构成为基板输送装置。上述支承构件例如构成为用于对基板进行加热或冷却的温度调整板。
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公开(公告)号：CN101872732A
公开(公告)日：2010-10-27
申请号：CN201010167338.8
申请日：2010-04-23
Applicant: 东京毅力科创株式会社
Abstract: 本发明提供基板保持部件、基板搬送臂和基板搬送装置，其具备减低磨损量、防止污染、提高对准精度、防止凸出的功能。作为安装于基板搬送装置的基板搬送臂的、载置基板的周边而保持该基板的基板保持部件(4)，其具有与基板的背面抵接而保持该基板的背面保持部(5)、和与基板的端面抵接的端面抵接部(6)。端面抵接部(6)包括：具有R形状，与基板的端面抵接而限制基板的偏移的R形状部(8)；和设置在R形状部(8)的上方侧的、形成为檐状的悬突(overhang)部(81)。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN118919467A
公开(公告)日：2024-11-08
申请号：CN202410954969.6
申请日：2018-06-29
Applicant: 东京毅力科创株式会社
IPC: H01L21/677 , H01L21/67
Abstract: 本发明涉及基板输送系统以及基板处理系统。输送装置保持被薄板化的基板，并且沿着输送所述基板的输送路径移动，其中，该输送装置具有：抓持部，其用于抓持借助带安装有所述基板的框架；引导部，其与所述抓持部一同沿着所述输送路径移动，载置由所述抓持部抓持的所述框架；以及移动机构部，其通过使所述抓持部相对于所述引导部移动，使由所述抓持部抓持的所述框架沿着所述引导部移动。
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公开(公告)号：CN114080663A
公开(公告)日：2022-02-22
申请号：CN202080048587.7
申请日：2020-06-29
Applicant: 东京毅力科创株式会社
IPC: H01L21/67 , H01L21/02 , H01L21/683
Abstract: 一种分离装置，将处理对象体分离为第一分离体和第二分离体，所述分离装置具有：第一保持部，其保持所述第一分离体；第二保持部，其保持所述第二分离体；移动部，其使所述第一保持部和所述第二保持部相对地移动；以及分离面清洗部，其至少对所述第一分离体的分离面或所述第二分离体的分离面进行清洗。
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公开(公告)号：CN110892519A
公开(公告)日：2020-03-17
申请号：CN201880046446.4
申请日：2018-06-29
Applicant: 东京毅力科创株式会社
IPC: H01L21/677 , B65G49/07 , H01L21/301 , H01L21/304
Abstract: 输送装置保持被薄板化的基板，并且沿着输送所述基板的输送路径移动，其中，该输送装置具有：抓持部，其用于抓持借助带安装有所述基板的框架；引导部，其与所述抓持部一同沿着所述输送路径移动，载置由所述抓持部抓持的所述框架；以及移动机构部，其通过使所述抓持部相对于所述引导部移动，使由所述抓持部抓持的所述框架沿着所述引导部移动。
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公开(公告)号：CN103177992B
公开(公告)日：2016-12-07
申请号：CN201210487648.7
申请日：2012-11-26
Applicant: 东京毅力科创株式会社
IPC: H01L21/677
CPC classification number: G06F17/00 , B25J13/085 , H01L21/67288 , H01L21/68707
Abstract: 本发明提供一种搬送装置和搬送方法，在利用电机的旋转驱动力使装载有被搬送部件的被驱动单元移动从而搬送被搬送部件时，能够检测搬送时发生的异常。该搬送装置将被搬送部件装载于被驱动单元进行搬送，该搬送装置的特征在于，包括：驱动单元，利用电机的旋转驱动力使驱动侧传动轮旋转，从而使架设在该驱动侧传动轮的传动带移动，使连结于该传动带的被驱动单元在规定的方向上移动；和监视被驱动单元的搬送状态的搬送监视单元，搬送监视单元检测出使被驱动单元移动时所需的上述电机的转矩值，基于所检测的转矩值，计算出该转矩值的相对时间的转矩微分值，并利用所计算的转矩微分值检测搬送状态。通过具有上述特征的搬送装置能够完成上述课题。
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公开(公告)号：CN103177992A
公开(公告)日：2013-06-26
申请号：CN201210487648.7
申请日：2012-11-26
Applicant: 东京毅力科创株式会社
IPC: H01L21/677
CPC classification number: G06F17/00 , B25J13/085 , H01L21/67288 , H01L21/68707
Abstract: 本发明提供一种搬送装置和搬送方法，在利用电机的旋转驱动力使装载有被搬送部件的被驱动单元移动从而搬送被搬送部件时，能够检测搬送时发生的异常。该搬送装置将被搬送部件装载于被驱动单元进行搬送，该搬送装置的特征在于，包括：驱动单元，利用电机的旋转驱动力使驱动侧传动轮旋转，从而使架设在该驱动侧传动轮的传动带移动，使连结于该传动带的被驱动单元在规定的方向上移动；和监视被驱动单元的搬送状态的搬送监视单元，搬送监视单元检测出使被驱动单元移动时所需的上述电机的转矩值，基于所检测的转矩值，计算出该转矩值的相对时间的转矩微分值，并利用所计算的转矩微分值检测搬送状态。通过具有上述特征的搬送装置能够完成上述课题。
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