用于材料表面处理的低温等离子电源

    公开(公告)号:CN203632569U

    公开(公告)日:2014-06-04

    申请号:CN201420001338.4

    申请日:2014-01-02

    Abstract: 本实用新型公开了一种用于材料表面处理的低温等离子电源,包括依次连接的交流变换单元、波形整形单元和材料表面处理单元。本实用新型的有益效果是:本实用新型的波形整形单元采用多原边变压器,能够输出多种前沿脉冲输出,再通过方波发生器的输出方波的调节脉宽,实现了频率0-50kHZ可调、电压0-50kV可调、脉宽1-100μs可调、上升沿300ns-15μs可调的单极性脉冲;本实用新型的输出电压为单极性,使得两个电极板之间放电非常均匀,对工件和电极板基本没有破坏性,保证了工件或材料的完整性,延长了电极板的使用寿命。

    一种布鲁莱恩脉冲形成线倍压器

    公开(公告)号:CN203406796U

    公开(公告)日:2014-01-22

    申请号:CN201320509538.6

    申请日:2013-08-21

    CPC classification number: Y02B70/1483

    Abstract: 本实用新型提供了一种布鲁莱恩脉冲形成线倍压器。所述的倍压器由多个单级平板布鲁莱恩脉冲形成线交叉层叠构成,每个单级平板布鲁莱恩脉冲形成线包括陶瓷固态平板传输线、GaAs光导开关、激光二极管触发系统以及无感电阻负载。所述的数个单级平板布鲁莱恩脉冲形成线紧凑地布局在平台上,构成多级层叠平板布鲁莱恩脉冲形成线倍压器。本实用新型能够获得多倍于单级平板布鲁莱恩脉冲形成线输出电压幅值的脉宽为纳秒量级的短脉冲高压输出,也可以通过多组多级平板布鲁莱恩脉冲形成线倍压器层叠构成多组多级平板布鲁莱恩脉冲形成线倍压器,或者设计级数更多的多级层叠平板布鲁莱恩脉冲形成线可以获得电压幅值更大、峰值功率更高的短脉冲高压。

    一种300kV纳秒脉冲发生器
    26.
    实用新型

    公开(公告)号:CN204068756U

    公开(公告)日:2014-12-31

    申请号:CN201420382670.X

    申请日:2014-07-11

    CPC classification number: Y02B70/1483

    Abstract: 本实用新型提供了一种300kV纳秒脉冲发生器。所述的300kV纳秒脉冲发生器由十六个单级平板Blumlein脉冲形成线交叉层叠构成,每个单级平板Blumlein脉冲形成线包括陶瓷固态平板传输线、GaAs光导开关、激光二极管触发系统、高压二极管以及无感陶瓷电阻负载。所述的十六个单级平板Blumlein脉冲形成线紧凑地布局在平台上,构成300kV纳秒脉冲发生器。本实用新型能够获得十六倍于单级平板Blumlein脉冲形成线输出电压幅值的脉宽为纳秒量级的短脉冲高压输出。实现削弱单级Blumlein脉冲形成线间的电路耦合和电磁耦合。

    多层介质阻挡放电低温等离子体产生装置

    公开(公告)号:CN204014246U

    公开(公告)日:2014-12-10

    申请号:CN201420501783.7

    申请日:2014-09-02

    Abstract: 本实用新型涉及材料表面处理技术领域,具体公开了一种多层介质阻挡放电低温等离子体产生装置,包括功率源和DBD等离子体反应器,DBD等离子体反应器的反应室内设置有2个金属电极,其中一个金属电极连接功率源的高压输出端,另一个金属电极接地,2个金属电极相对的两个端面相互平行,两个金属电极之间设置有至少3层介质板,相邻介质板之间具有间隙。本实用新型的每两层介质板之间都能够放电形成均匀良好的低温等离子体,处于中间位置的每一层介质板两侧均可处理薄膜材料,覆盖在两个电极上的介质板能够处理一层薄膜,能够提高单次处理的薄膜的数量和面积;处理效率高。

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