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公开(公告)号：CN108365049A
公开(公告)日：2018-08-03
申请号：CN201810083509.5
申请日：2018-01-29
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
Abstract: 本发明提供一种大光敏面超导纳米线单光子探测器，包括至少一层超导纳米线结构，超导纳米线结构包括：若干条平行间隔排布的直线部，包括至少两条平行间隔排布的超导纳米线；若干个第一连接部，将直线部依次首尾连接成蜿蜒状；若干个第二连接部，位于直线部内，且位于直线部内平行间隔排布的超导纳米线之间；位于同一直线部内的若干个第二连接部平行间隔排布；沿平行于所述直线部的方向，超导纳米线结构对应于写场拼接处的部分为第二连接部；沿垂直于直线部的方向，超导纳米线结构对应于写场拼接处的部分为相邻直线部之间的间隙。本发明可以避免写场拼接误差对超导纳米线核心区域的影响，从而不可以确保大光敏面超导纳米线单光子探测器的性能。
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公开(公告)号：CN102694117B
公开(公告)日：2015-08-19
申请号：CN201210167983.9
申请日：2012-05-25
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
Abstract: 本发明提供一种基于超导纳米线的高频振荡器及其制备方法，该振荡器包括一共面波导，以及位于所述共面波导中心导体带和接地导体之间的超导纳米线，该振荡器的实现原理是基于超薄超导材料的纳米线结构的自热弛豫效应特性。本发明制备的振荡器工艺结构简单，和超导约瑟夫逊振荡器相比，不需要使用多层超导薄膜，不需要制备结构复杂且制备难度较高的超导约瑟夫逊结。同时，其控制简单，不需要外加磁场，仅需控制器件的偏置电压即可实现高频振荡。该振荡器原理适用于所有类型超导材料，包括各种高温超导材料和低温超导材料。
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公开(公告)号：CN104064631A
公开(公告)日：2014-09-24
申请号：CN201410334717.X
申请日：2014-07-15
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
IPC: H01L31/18 , H01L31/101
CPC classification number: Y02P70/521 , H01L31/18 , H01L31/02165 , H01L31/035227 , H01L31/101
Abstract: 本发明提供一种降低超导纳米线单光子探测器件非本征暗计数的方法及器件，包括步骤：于所述超导纳米线单光子探测器件上集成短波通多层薄膜滤波器；其中，所述短波通多层薄膜滤波器为通过多层介质薄膜实现的具有短波通滤波功能的器件。所述非本征暗计数为由于光纤黑体辐射及外界杂散光触发的暗计数。本发明操作简单，仅需在衬底上集成短波通多层薄膜滤波器，将非信号辐射过滤掉，该方法可以在保证信号辐射和器件的光耦合效率的同时，有效降低非本征暗计数，从而提高器件在特定暗计数条件下的探测效率，另外，只需要过滤波长范围大于1550nm的光波，降低了设计要求，有利于滤波器的实现。
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公开(公告)号：CN102694117A
公开(公告)日：2012-09-26
申请号：CN201210167983.9
申请日：2012-05-25
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
Abstract: 本发明提供一种基于超导纳米线的高频振荡器及其制备方法，该振荡器包括一共面波导，以及位于所述共面波导中心导体带和接地导体之间的超导纳米线，该振荡器的实现原理是基于超薄超导材料的纳米线结构的自热弛豫效应特性。本发明制备的振荡器工艺结构简单，和超导约瑟夫逊振荡器相比，不需要使用多层超导薄膜，不需要制备结构复杂且制备难度较高的超导约瑟夫逊结。同时，其控制简单，不需要外加磁场，仅需控制器件的偏置电压即可实现高频振荡。该振荡器原理适用于所有类型超导材料，包括各种高温超导材料和低温超导材料。
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公开(公告)号：CN119374502A
公开(公告)日：2025-01-28
申请号：CN202310932927.8
申请日：2023-07-27
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
IPC: G01B11/06
Abstract: 本发明提供一种超导纳米线单光子探测器膜厚测试结构、方法及制备方法，所述膜厚测试结构包括从下至上依次层叠设置的衬底、底反射层、超导膜层、介质材料层及顶反射层；其中，所述底反射层、所述超导膜层、所述介质材料层及所述顶反射层形成光学微腔结构；所述底反射层及所述顶反射层作为所述光学微腔结构的两个反射面；所述超导膜层及所述介质材料层作为所述光学微腔结构的间隔层。本发明提供的超导纳米线单光子探测器膜厚测试结构、方法及制备方法，能够解决现有膜厚测试手段无法准确测试得到超导纳米线单光子探测器的超导膜层膜厚的问题。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN117805588A
公开(公告)日：2024-04-02
申请号：CN202311863259.4
申请日：2023-12-29
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
Abstract: 本发明提供一种测试装置及测试方法，测试装置包括：线缆、测试板、芯片安装位、样品转接架、连接装置和探测杆；测试板上设置了M个内置孔，M为大于1的自然数；芯片安装位设置于测试板上，用以安装芯片；连接装置设置于测试板上，用以将测试板与样品转接架的第一表面固定连接；样品转接架上设置了M个连接器，连接器贯穿了样品转接架的本体；各连接器的一端分别通过各内置孔与相应的芯片端口一一对应连接，另一端分别连接对应线缆的低温端接头；探测杆与样品转接架的第二表面固定连接。本发明提供一种测试装置及测试方法，可满足高频响应带宽和高频低噪声测试需求，且无需插拔射频线缆，直接更换芯片，操作简便。
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公开(公告)号：CN117309163A
公开(公告)日：2023-12-29
申请号：CN202311459810.9
申请日：2023-11-03
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
IPC: G01J11/00
Abstract: 本发明提供一种超导单光子探测器双端读出电路、读出方法及探测系统，用于对M个超导单光子探测器的脉冲信号进行读出，M为大于等于1的整数，包括：传输光波导和M个电光调制结构；各电光调制结构与各超导单光子探测器一一对应设置，用于将脉冲信号转为携带热信号的谐振光波，进而耦合至所述传输光波导；传输光波导的第一端输入宽谱光信号，第二端作为输出端，将各电光调制结构输出的谐振光波同时输出。本发明通过设置光电转换结构，将脉冲信号转为光信号并以光信号传输的方式输出，可以实现对微弱信号的跨温区传输、漏热极小且具有较强的抗干扰性。
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公开(公告)号：CN115274211B
公开(公告)日：2023-09-08
申请号：CN202210975359.5
申请日：2022-08-15
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
IPC: H01B12/06
Abstract: 本发明提供一种用于跨温区微波信号传输的铁基超导传输线及制备方法，采用BaKFeAs铁基超导带制备微带线或带状线，提供了一种具有跨温区互联功能的低温超导柔性传输线，能够实现mK温区至18K温区的互联，传输信号支持数十GHz；能够制备数十cm长度的传输线，且占有空间小、柔韧性好、漏热小、集成度高，适用于极低温的跨温区互联。
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公开(公告)号：CN116225122A
公开(公告)日：2023-06-06
申请号：CN202310100305.9
申请日：2023-02-06
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
IPC: G05F1/56
Abstract: 本发明提供一种多通道全隔离恒流装置及超导电路测试系统，包括：直流电源模块，用于提供N路第一直流电源；直流转直流模块，将各路第一直流电源转换为相应的第二直流电源，其中，各第二直流电源为独立电源；数控恒流模块，基于控制信号将N路第二直流电源分别转换为N路恒流源；N为大于1的自然数。本发明实现全隔离式的恒流输出，保证各个通道间的独立性；各模块设计比较灵活，各通道相对独立，易扩展；集成度高、体积小、易携带；采用电池供电，各通道噪声干扰小；采用数控控制，精度高；且采用光纤隔离，各通道之间的干扰小。
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公开(公告)号：CN112803132B
公开(公告)日：2023-04-25
申请号：CN201911113361.6
申请日：2019-11-14
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
Abstract: 本发明涉及电子技术领域，本发明公开了一种传输线结构，其包括介质层、第一导体层和第二导体层；该介质层设有该第一导体层和该第二导体层；该第二导体层设置于该介质层的表面；该第二导体层包括凹陷结构，该通过设计该凹陷结构的尺寸，能够提高该传输线结构的谐振频率，使该谐振频率高于最高工作频率；该第二导体层接地；上述结构能够使信号在该第一导体层与该第二导体层之间进行传输。本发明提供的传输线结构具有漏热低的特点。
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