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公开(公告)号：CN101799629A
公开(公告)日：2010-08-11
申请号：CN201010114105.1
申请日：2010-02-04
Applicant: 住友化学株式会社
CPC classification number: G03F7/0045 , G03F7/0046 , G03F7/0392 , G03F7/0397
Abstract: 本发明提供化学放大型光致抗蚀剂组合物和形成图案的方法。化学放大型光致抗蚀剂组合物包含：由式(I)表示的酸生成剂(A)和树脂，所述树脂包括：衍生自通过酸的作用而在碱中成为可溶性的单体的结构单元(b1)，衍生自具有含至少2个羟基的金刚烷基的单体的结构单元(b2)和衍生自具有内酯环的单体的结构单元(b3)；式(I)中Q1和Q2独立地表示氟原子或C1至C6全氟烷基；X1表示单键或-[CH2]k-，在-[CH2]k-中含有的-CH2-可以被-O-或-CO代替，并且在-[CH2]k-中含有的氢原子可以被C1至C4脂族烃基代替；k表示整数1至17；Y1表示任选取代的C4至C36饱和环状烃基，在所述饱和环状烃基中含有的-CH2-可以被-O-或-CO代替；并且Z+表示有机阳离子。
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公开(公告)号：CN101211111A
公开(公告)日：2008-07-02
申请号：CN200710305412.6
申请日：2007-12-26
Applicant: 住友化学株式会社
Abstract: 本发明涉及一种着色感光性树脂组合物，它是含有(A)颜料、(B)粘结剂树脂、(C)光聚合性化合物、(D)光聚合引发剂和(E)溶剂的着色感光性树脂组合物，其中，(A)颜料相对于着色感光性树脂组合物固形物的含量，以质量分率计为35～60质量％，并且(C)光聚合性化合物含有化学式(I)所示化合物。其中，l、m和n各自独立地表示0以上的整数，l+m+n表示3～20的整数。
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公开(公告)号：CN102955359A
公开(公告)日：2013-03-06
申请号：CN201210297407.6
申请日：2012-08-20
Applicant: 住友化学株式会社
IPC: G03F7/004 , G03F7/00 , C07C381/12 , C07C309/17 , C07D307/00 , C07C309/12 , C07D327/08 , C07D333/46 , C07D335/02
CPC classification number: C07C381/12 , C07C309/06 , C07C309/10 , C07C309/12 , C07C309/17 , C07C2601/14 , C07C2603/74 , C07D307/00 , G03F7/0045 , G03F7/0046 , G03F7/0397 , G03F7/2041
Abstract: 本发明提供盐、光致抗蚀剂组合物和用于制备光致抗蚀剂图案的方法。一种光致抗蚀剂组合物，其包含在碱水溶液中难溶或不溶但是通过酸的作用可溶的树脂和由式(I)表示的盐，其中Q1和Q2各自独立地表示氟原子或C1-C6全氟烷基，L1表示C1-C30三价脂族饱和烃基，其中氢原子可以用氟原子替换并且其中亚甲基可以用氧原子、-NR3-或羰基替换，其中R3表示氢原子或C1-C6烷基，W1和W2各自独立地表示C3-C36脂环烃环，其中亚甲基可以用氧原子、硫原子、-NR4-、磺酰基或羰基替换，其中R4表示氢原子或C1-C6烷基，R1和R2各自独立地表示羟基或C1-C6烷基，t1和t2各自独立地表示0至2的整数，并且Z+表示有机阳离子。
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公开(公告)号：CN101477220B
公开(公告)日：2013-02-20
申请号：CN200810188403.8
申请日：2008-12-22
Applicant: 住友化学株式会社
IPC: G02B5/30 , C08L25/08 , C08L75/16 , C08J5/18 , C08L33/12 , C08F290/06 , C08G18/83 , C08G18/75 , C08F291/06 , C08F299/06
Abstract: 一种光学膜及该光学膜的制造方法，所述光学膜含有具有如下结构单元的树脂，所述结构单元为：来自选自式(I)～(VI)表示的单体中的一种以上的单体(1)的结构单元；和来自使具有脂环式烃骨架的多异氰酸酯化合物、以及具有可以与异氰酸酯基反应的官能团和乙烯性双键的化合物进行反应而得到的化合物(2)的结构单元。
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公开(公告)号：CN102890410A
公开(公告)日：2013-01-23
申请号：CN201210251266.4
申请日：2012-07-19
Applicant: 住友化学株式会社
CPC classification number: G03F7/0045 , G03F7/0046 , G03F7/0397 , G03F7/2041
Abstract: 本发明公开了抗蚀剂组合物和用于制备抗蚀图案的方法，所述抗蚀剂组合物具有：具有由式(I)表示的结构单元的树脂，在碱性水溶液中不可溶或难溶但是通过酸的作用变得可溶于碱性水溶液并且不包含由式(I)表示的结构单元的树脂，和由式(II)表示的酸生成剂，其中R1、A1、A13、A14、X12、R23、R24、R25、X21和Z1+如说明书中限定。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN101086619B
公开(公告)日：2012-03-21
申请号：CN200710109918.X
申请日：2007-06-06
Applicant: 住友化学株式会社
Abstract: 一种包含(A)着色剂、(B)粘合剂树脂、(C)可光聚合化合物、(D)光聚合引发剂和(E)溶剂的彩色光敏树脂组合物，其中着色剂(A)的含量为基于彩色光敏树脂组合物固体含量的35-60重量％，可光聚合化合物(C)是包含双季戊四醇六丙烯酸酯、双季戊四醇五丙烯酸酯和双季戊四醇五丙烯酸酯的琥珀酸酯的混合物，而且该混合物具有45-80mgKOH/g的酸值。
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公开(公告)号：CN102167684A
公开(公告)日：2011-08-31
申请号：CN201110038165.4
申请日：2011-02-12
Applicant: 住友化学株式会社
IPC: C07D233/60 , C07D233/56 , C07D333/46 , C07C381/12 , C07C25/18 , C07C17/35 , C07C309/17 , C07C303/32 , G03F7/004
CPC classification number: C07D233/14 , C07C303/22 , C07C381/12 , C07C2603/74 , G03F7/0045 , G03F7/0046 , G03F7/0397 , C07C309/17
Abstract: 本发明公开了一种盐以及用于制备酸生成剂的方法，所述盐由式(I0)表示，其中Q1和Q2各自独立地表示氟原子或C1-C6全氟烷基，L1表示其中一个或多个-CH2-可以被-O-或-CO-代替的二价C1-C17烃基，m表示1或2，Zm+表示m价的有机或无机阳离子。
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公开(公告)号：CN102023482A
公开(公告)日：2011-04-20
申请号：CN201010283695.0
申请日：2010-09-14
Applicant: 住友化学株式会社
IPC: G03F7/004 , G03F7/039 , G03F7/00 , H01L21/027
CPC classification number: G03F7/0397 , G03F7/0045 , G03F7/0046
Abstract: 本发明提供一种光刻胶组合物，包含产酸剂和树脂，所述树脂含有衍生自式(I)表示的单体的结构单元：其中R1表示氢原子等，R2表示氢原子或C1-C4烷基，A1表示单键等，B1表示：式(1a)表示的基团：其中R3、R4和R5各自独立地表示C1-C16脂肪族烃基，并且R4和R5可以相互键合以与键合R4和R5的碳原子一起形成C3-C18环，具有内酯结构的C4-C20饱和环状基团，或者具有至少一个羟基的C5-C20饱和环烃基。
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公开(公告)号：CN102001926A
公开(公告)日：2011-04-06
申请号：CN201010269794.3
申请日：2010-08-31
Applicant: 住友化学株式会社
IPC: C07C49/84 , C07C69/84 , C07C69/773 , C07C69/92 , C07C69/54 , C07C69/96 , C08F220/30 , G03F7/039 , G03F7/00
CPC classification number: C07C69/84 , C07C69/54 , C07C69/96 , C07C2603/74 , C08F20/30 , G03F7/0045 , G03F7/0046 , G03F7/0397
Abstract: 本发明提供化合物，树脂，抗蚀剂组合物和用于制备抗蚀剂图案的方法。本发明的化合物由式(A)表示；其中R1表示氢原子或C1至C6烷基；Z1表示单键，-CO-O-*或-CO-O-(CH2)k-CO-O-*；Z2表示单键，*-O-CO-，*-CO-O-，*-O-(CH2)k-CO-，*-CO-(CH2)k-O-，*-O-(CH2)k-CO-O-，*-O-CO-(CH2)k-O-或*-O-CO-(CH2)k-O-CO-；k表示1至6的整数；*表示与W的结合位置；W表示C4至C36(n+1)价脂环烃基或C6至C18(n+1)价芳族烃基，在所述脂族烃基和所述芳族烃基中含有的一个或多个氢原子可以被卤素原子，C1至C12烷基，C1至C12烷氧基，C2至C4酰基或-OR10取代；R10表示氢原子或由式(R2-2)表示的基团；R2表示氢原子，由式(R2-1)或式(R2-2)表示的基团；n表示1至3的整数；R4，R5和R6独立地表示C1至C12烃基；R7和R8独立地表示氢原子或C1至C12烃基；R9表示C1至C14烃基。
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公开(公告)号：CN101995770A
公开(公告)日：2011-03-30
申请号：CN201010250473.9
申请日：2010-08-06
Applicant: 住友化学株式会社
CPC classification number: G03F7/0397 , G03F7/0045 , G03F7/0046 , G03F7/2041
Abstract: 本发明提供一种光刻胶组合物，所述组合物包含树脂，所述树脂包含由具有酸敏基团的化合物得到的结构单元和由式(a)所代表的化合物得到的结构单元：其中R1代表氢原子、卤素原子、C1-C6烷基或C1-C6卤代烷基，k代表1-6的整数，W1代表C6-C18二价芳族烃基，其可具有一个或更多个选自卤素原子、羟基、C1-C12烷基、C1-C12烷氧基、C6-C14芳基、C7-C15芳烷基、缩水甘油氧基和C2-C4酰基的取代基，R2代表氢原子、式(R2-1)所代表的基团或式(R2-2)所代表的基团，其中R3、R4和R5各自独立地代表C1-C12烃基且R3和R4可彼此键合形成环，R6和R7各自独立地代表氢原子或C1-C12烃基，R8代表C1-C12烃基，且所述树脂不溶于或难溶于碱性水溶液但在酸的作用下变为可溶于碱性水溶液。
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