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公开(公告)号：CN102890417A
公开(公告)日：2013-01-23
申请号：CN201210251310.1
申请日：2012-07-19
Applicant: 住友化学株式会社
CPC classification number: G03F7/0045 , C07C303/32 , C07C309/06 , C07C309/12 , C07D333/46 , C07D335/02 , G03F7/0046 , G03F7/0397 , G03F7/2041 , G03F7/38 , Y10S430/108 , Y10S430/111 , Y10S430/122 , Y10S430/123
Abstract: 本发明公开了抗蚀剂组合物和用于生产抗蚀图案的方法。所述抗蚀剂组合物包含：具有由式(I)表示的结构单元的树脂，在碱性水溶液中不可溶或难溶但是通过酸的作用变得可溶于碱性水溶液并且不包含由式(I)表示的结构单元的树脂，和由式(II)表示的酸生成剂，其中R1、A1、R2、RII1、RII2、LII1、YII1、RII3、RII4、RII5、RII6、RII7、n、s和RII8如说明书中限定。
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公开(公告)号：CN101921219A
公开(公告)日：2010-12-22
申请号：CN201010203131.1
申请日：2010-06-10
Applicant: 住友化学株式会社
IPC: C07C381/12 , C07C309/17 , C07C303/32 , C07D307/00 , C07D333/46 , C07C25/18 , C07C17/35 , C07C309/12 , G03F7/039 , G03F7/00
CPC classification number: C07D307/94 , C07C309/12 , C07C309/17 , C07C381/12 , C07C2601/14 , C07C2603/74 , G03F7/0045 , G03F7/0046 , G03F7/0397
Abstract: 本发明提供一种盐以及含有该盐的光致抗蚀剂组合物。一种以式(a1)表示的盐，其中Q1和Q2各自独立地表示氟原子或C1-C4全氟烷基；X1表示-CO-O-Xa1-或-CH2-O-Xa2-，其中Xa1和Xa2各自独立地表示C1-C15亚烷基，并且所述亚烷基中的一个或多个-CH2-可以被-O-或-CO-代替；Y1表示C3-C36脂环族烃基或C6-C24芳族烃基，并且所述脂环族烃基和所述芳族烃基可以具有一个或多个取代基，并且所述脂环族烃基中的一个或多个-CH2-可以被-O-或-CO-代替；并且Z+表示有机阳离子。
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公开(公告)号：CN101898988A
公开(公告)日：2010-12-01
申请号：CN201010189458.8
申请日：2010-05-25
Applicant: 住友化学株式会社
IPC: C07C381/12 , C07C309/17 , C07C303/32 , G03F7/039 , G03F7/00
CPC classification number: G03F7/039 , C07C303/32 , C07C309/17 , C07C381/12 , C07C2601/14 , C07C2603/74 , G03F7/0045 , G03F7/0046 , G03F7/0397 , Y10S430/106 , Y10S430/111 , Y10S430/122 , Y10S430/123
Abstract: 一种以式(a)表示的盐，其中Q1和Q2各自独立地表示氟原子等，X1表示单键等，X2表示单键等，Y1表示C3-C36脂环族烃基等，条件是-X2-Y1基团具有一个或多个氟原子，并且Z+表示有机抗衡阳离子，以及一种光致抗蚀剂组合物，其含有以式(a)表示的盐和树脂，所述树脂包含具有酸不稳定基团的结构单元，并且不溶或难溶于碱水溶液，但通过酸的作用变得可溶于碱水溶液。
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公开(公告)号：CN101477220A
公开(公告)日：2009-07-08
申请号：CN200810188403.8
申请日：2008-12-22
Applicant: 住友化学株式会社
IPC: G02B5/30 , C08L25/08 , C08L75/16 , C08J5/18 , C08L33/12 , C08F290/06 , C08G18/83 , C08G18/75 , C08F291/06 , C08F299/06
Abstract: 一种光学膜及该光学膜的制造方法，所述光学膜含有具有如下结构单元的树脂，所述结构单元为：来自选自式(I)～(VI)表示的单体中的一种以上的单体(1)的结构单元；和来自使具有脂环式烃骨架的聚异氰酸酯化合物、以及具有可以与异氰酸酯基反应的官能团和乙烯性双键的化合物进行反应而得到的化合物(2)的结构单元。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN101452090A
公开(公告)日：2009-06-10
申请号：CN200810179795.1
申请日：2008-12-05
Applicant: 住友化学株式会社
IPC: G02B5/30 , C08F220/14 , C08F220/18 , C08F220/30 , C08F220/54 , C08F265/04 , C08F2/50
Abstract: 本发明提供组合物、由该组合物得到的共聚物和光学膜以及该光学膜的制造方法。在第一发明组中提供一种光学膜，其通过将含有式(D)表示的化合物的组合物进行成膜化再进一步拉伸而成。在第二发明组中提供一种组合物，其包含：含有选自来自式(α－I)表示的单体的重复单元及来自式(α－II)表示的单体的重复单元中的至少1种重复单元的聚合物(α－1)、选自式(α－III)表示的单体及式(α－IV)表示的单体中的至少1种单体(α－2)、以及光聚合引发剂(α－3)。
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公开(公告)号：CN1952779A
公开(公告)日：2007-04-25
申请号：CN200610164647.3
申请日：2006-07-13
Applicant: 住友化学株式会社
Abstract: 本发明提供一种着色感光性树脂组合物，其含有(A)着色剂、(B)粘合剂树脂、(C)光聚合性化合物、(D)光聚合引发剂、(E)有机溶剂、以及(F)式(I)～式(III)中的任一式表示的至少一种化合物，其中，相对于着色感光性树脂组合物的固体成分；(F)式(I)～式(III)中的任一式表示的至少一种化合物的含量按质量百分比计为0.0010～5.0质量％或以下。式(I)～(III)中，R1～R5分别独立地表示氢原子或碳原子数为1～10的烷基，R6和R7分别独立地表示碳原子数为1～4的亚烷基，m和n分别独立地表示0～20的整数，但m和n不同时为0。
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公开(公告)号：CN103149798A
公开(公告)日：2013-06-12
申请号：CN201210251272.X
申请日：2012-07-19
Applicant: 住友化学株式会社
CPC classification number: G03F7/0046 , G03F7/0045 , G03F7/0397 , G03F7/2041
Abstract: 本发明公开了抗蚀剂组合物和用于制备抗蚀图案的方法，所述抗蚀剂组合物具有：具有由式(I)表示的结构单元的树脂，在碱性水溶液中不可溶或难溶但是通过酸的作用变得可溶于碱性水溶液并且不包含由式(I)表示的结构单元的树脂，酸生成剂，和具有由式(IA)表示的阴离子的盐，其中R1、A1、A13、X12、A14、R1A和R2A如说明书中限定。
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