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公开(公告)号：CN103575662A
公开(公告)日：2014-02-12
申请号：CN201210281821.8
申请日：2012-08-09
申请人： 北京智朗芯光科技有限公司
摘要： 本发明公开了一种光学测量系统，包括光源、光纤束、第一聚光单元、第二聚光单元、第三聚光单元、第四聚光单元、第五聚光单元、第六聚光单元、第一偏振器、第二偏振器、第三偏振器及光谱计。本发明包含垂直入射和斜入射的两个光学测量装置，通过光纤束进行分光及合光，可以使两套光学测量装置共用一个光源和一个光谱计，简化了系统结构，并极大地降低了系统的成本结构简单，测量准确，集成度高。
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公开(公告)号：CN103134591B
公开(公告)日：2016-05-04
申请号：CN201110396390.5
申请日：2011-12-02
申请人： 北京智朗芯光科技有限公司
摘要： 本发明涉及一种易于调节聚焦的、无色差的、保持偏振特性的、信噪比优化的、且结构简单的近垂直入射宽带光谱仪。该宽带光谱仪通过一对曲面反射元件和平面反射元件实现聚焦和调焦，包含至少一个偏振器，能够高精度地测量样品材料的光学常数、薄膜厚度和/或用于分析周期性结构的样品的临界尺度(CD)或三维形貌；特别地，该宽带光谱仪通过采用近垂直入射，避免了分束结构的使用，提高光通量一倍以上。
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公开(公告)号：CN103162830B
公开(公告)日：2015-02-04
申请号：CN201110427609.3
申请日：2011-12-19
申请人： 北京智朗芯光科技有限公司
摘要： 本发明公开了一种包含参考光束的垂直入射光谱仪，包括光源、光源聚光单元、第一反射单元、第一聚光单元、第二聚光单元、第二反射单元和探测单元。本发明提供的包含参考光束的垂直入射光谱仪利用由平面反射镜组成的平面反射单元，实现了分光及分光后的光束的重新结合，在提高光通效率的同时，系统的复杂程度比现有技术低。该垂直入射光谱仪能够精确地测量各向异性或非均匀样品，如多层材料的薄膜厚度与光学常数。本发明还公开了一种包括上述光谱仪的光学测量系统。
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公开(公告)号：CN103575661A
公开(公告)日：2014-02-12
申请号：CN201210281800.6
申请日：2012-08-09
申请人： 北京智朗芯光科技有限公司
摘要： 本申请公开了一种包含垂直入射和斜入射的光学测量系统，包括光源、光纤束、反射聚焦系统、第一聚光单元、第二聚光单元、第三聚光单元、第四聚光单元、第一偏振器、第二偏振器以及光谱计。本申请提供的包含垂直入射和斜入射的光学测量系统包含斜入射和垂直入射的两个测量装置，提高了样品测量的精度。
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公开(公告)号：CN103575662B
公开(公告)日：2016-05-04
申请号：CN201210281821.8
申请日：2012-08-09
申请人： 北京智朗芯光科技有限公司
摘要： 本发明公开了一种光学测量系统，包括光源、光纤束、第一聚光单元、第二聚光单元、第三聚光单元、第四聚光单元、第五聚光单元、第六聚光单元、第一偏振器、第二偏振器、第三偏振器及光谱计。本发明包含垂直入射和斜入射的两个光学测量装置，通过光纤束进行分光及合光，可以使两套光学测量装置共用一个光源和一个光谱计，简化了系统结构，并极大地降低了系统的成本结构简单，测量准确，集成度高。
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