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公开(公告)号：CN109580723A
公开(公告)日：2019-04-05
申请号：CN201811235063.X
申请日：2018-10-23
Applicant: 华中科技大学
IPC: G01N27/04
Abstract: 本发明属于湿度传感器技术领域，并公开了一种柔性湿度传感器的制备方法及产品。其制备方法包括以下步骤：(1)光刻和显影；(2)去残胶及活化柔性基底，以增强基底的粘附性；(3)溅射制备金属电极，将所述活化的基底表面溅射一层金属电极材料，从而得到具有呈阵列排布的金属电极结构的基底；(4)生长超亲水湿敏层，在基底表面沉积一层Cu种子层，水平放置在NaOH和(NH4)2S2O8混合溶液中，以在Cu种子层上生长超亲水Cu(OH)2纳米线。本发明还公开了一种湿度传感器。本发明所制备的湿度传感器具备柔性和透明、延展性能好、响应快、湿滞小、灵敏度高、重复性好、性能稳定等特性，且制备工艺简单、便于操控、成本低。
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公开(公告)号：CN108982277A
公开(公告)日：2018-12-11
申请号：CN201810633969.0
申请日：2018-06-20
Applicant: 华中科技大学
IPC: G01N5/02
Abstract: 本发明属于湿度传感器技术领域，并具体公开了一种石英晶体微天平湿度传感器的制备方法及产品，所述方法包括，S1、种子层制备：在石英晶体微天平上沉积一层Cu种子层，用于后续生长超亲水纳米线作为湿敏层材料；S2、湿敏层制备：将沉积有所述Cu种子层的石英晶体微天平水平置于NaOH和(NH4)2S2O4的混合溶液中，以在所述Cu种子层上生长超亲水Cu(OH)2纳米线，从而获得石英晶体微天平湿度传感器件。所述产品包括石英晶体微天平、设于所述石英晶体微天平正面和/或反面的种子层以及生长于所述种子层上的纳米线。本发明制备形成的湿度传感器响应速度小于1s，具有高响应性、灵敏度高、重复性好、性能稳定等特点。
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公开(公告)号：CN107526879A
公开(公告)日：2017-12-29
申请号：CN201710659044.9
申请日：2017-08-04
Applicant: 华中科技大学
IPC: G06F17/50
Abstract: 本发明属于有限元模拟领域，并公开了一种基于ANSYS参数化设计语言的三维模型梯度有限元求解方法，该方法主要包括如下步骤：模型前处理，求解器设置并求解；提取目标变量和节点自然坐标；求解形函数导数矩阵；求解雅各比列矩阵；求解雅各比列矩阵逆矩阵；计算插值点变量梯度；单元梯度值积分求单元解。本发明方法避免了同类问题导出数据、二次求解、费时费力的缺点，实现了后处理过程中梯度值的快速求解，能够大幅降低计算时间。
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公开(公告)号：CN112050845A
公开(公告)日：2020-12-08
申请号：CN202010954269.9
申请日：2020-09-11
Applicant: 华中科技大学
IPC: G01D18/00
Abstract: 本发明属于传感器测试领域，并具体公开了一种石英晶体微天平传感器的性能测试装置。该性能测试装置包括上盖和底座，其中上盖中进气孔和出气孔与反应腔相连通；反应腔下方的上盖密封圈凹槽用于放置上盖密封圈，上盖限位凹槽用于与底座配合，以放置待测石英晶体微天平传感器；底座中底座限位凹槽与上盖限位凹槽配合用于放置待测石英晶体微天平传感器；底座密封圈凹槽用于放置底座密封圈；引线孔用于放置引线。本发明利用上盖限位凹槽和底座限位凹槽相互配合对石英晶体微天平传感器进行限位，并利用上盖密封圈和下盖密封圈增强气密性，并保证较好的电极接触性能，同时还能够缓解石英晶体微天平传感器的接触压力。
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公开(公告)号：CN110702753B
公开(公告)日：2020-09-08
申请号：CN201911034800.4
申请日：2019-10-29
Applicant: 华中科技大学
IPC: G01N27/30
Abstract: 本发明属于微纳传感器制备领域，并具体公开了一种桥接式微纳结构传感单元的阵列传感器的制备方法及产品。所述方法包括：在基底表面制备多对需要桥接的指定形状的电极阵列，然后制备一层指定形状和厚度的种子层，接着在种子层表面外周除了桥接面制备一层钝化保护层，并对种子层进行热处理，以改善种子层的结晶性，最后采用溶液法定向生长微纳结构，使得多对所述电极阵列实现桥接。所述产品包括基底、电极阵列、种子层、钝化保护层以及微纳结构，微纳结构生长于种子层未覆盖钝化保护层的一面上，从而实现该对电极阵列的桥接。本发明制备的传感器具有灵敏度高、故障容差性强的特点，大幅度降低了传统桥接式微纳结构传感器敏感层之间的结电阻。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN108982277B
公开(公告)日：2020-05-19
申请号：CN201810633969.0
申请日：2018-06-20
Applicant: 华中科技大学
IPC: G01N5/02
Abstract: 本发明属于湿度传感器技术领域，并具体公开了一种石英晶体微天平湿度传感器的制备方法及产品，所述方法包括，S1、种子层制备：在石英晶体微天平上沉积一层Cu种子层，用于后续生长超亲水纳米线作为湿敏层材料；S2、湿敏层制备：将沉积有所述Cu种子层的石英晶体微天平水平置于NaOH和(NH4)2S2O4的混合溶液中，以在所述Cu种子层上生长超亲水Cu(OH)2纳米线，从而获得石英晶体微天平湿度传感器件。所述产品包括石英晶体微天平、设于所述石英晶体微天平正面和/或反面的种子层以及生长于所述种子层上的纳米线。本发明制备形成的湿度传感器响应速度小于1s，具有高响应性、灵敏度高、重复性好、性能稳定等特点。
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公开(公告)号：CN110702753A
公开(公告)日：2020-01-17
申请号：CN201911034800.4
申请日：2019-10-29
Applicant: 华中科技大学
IPC: G01N27/30
Abstract: 本发明属于微纳传感器制备领域，并具体公开了一种桥接式微纳结构传感单元的阵列传感器的制备方法及产品。所述方法包括：在基底表面制备多对需要桥接的指定形状的电极阵列，然后制备一层指定形状和厚度的种子层，接着在种子层表面外周除了桥接面制备一层钝化保护层，并对种子层进行热处理，以改善种子层的结晶性，最后采用溶液法定向生长微纳结构，使得多对所述电极阵列实现桥接。所述产品包括基底、电极阵列、种子层、钝化保护层以及微纳结构，微纳结构生长于种子层未覆盖钝化保护层的一面上，从而实现该对电极阵列的桥接。本发明制备的传感器具有灵敏度高、故障容差性强的特点，大幅度降低了传统桥接式微纳结构传感器敏感层之间的结电阻。
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公开(公告)号：CN110422818A
公开(公告)日：2019-11-08
申请号：CN201910680395.7
申请日：2019-07-26
Applicant: 华中科技大学
Abstract: 本发明属于传感器技术领域，并具体公开了一种基于超亲水层的复合微纳结构传感器的制备方法及产品。所述方法包括：采用溶液法在传感基底的上表面生长制备超亲水微纳米结构并以此作为超亲水层；将配置好的敏感材料分散液采用定量滴涂的方式滴涂到制备于传感基底上表面的所述超亲水层上，从而敏感材料分散液对所述超亲水层在咖啡环区域以内的超亲水微纳米结构形成均匀包覆；将包覆有敏感材料的超亲水纳米层进行浸泡和烘干。所述产品为采用该制备方法制备得到的传感器。本发明所制备的传感器具有敏感材料层包覆均匀、结构稳定、灵敏度高以及机械结构性能强的特点，因而尤其适用于石英晶体微天平的应用场合。
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公开(公告)号：CN108104078B
公开(公告)日：2019-04-26
申请号：CN201711365351.2
申请日：2017-12-18
Applicant: 华中科技大学
Abstract: 本发明属于平面流体流道设计领域，并公开了一种基于楔形分形的树形自发定向运输收集流道结构，其具有多级楔形枝干，第i级楔形枝干的纵截面的下底等效长度为Di、梯度角为整体高度为Li及上底长度为Di′，并且其上底长度小于下底等效长度，梯度角为与上底相连的两斜边的夹角；第i+1级楔形枝干的下底附在第i级楔形枝干的斜边上，第i+1级楔形枝干的下底等效长度与第i级楔形枝干的上底长度的关系如下：Di+1≤Di′,第i+1级楔形枝干与第i级楔形枝干中心线夹角为φi(i+1)。本发明利用楔形基本单元具有梯度结构，使流体在流道上产生拉普拉斯压力差，自发驱动流体在流道上定向运输，并且沿着连续性的分形结构运输收集，可提高流体的定向运输收集效率和实现大面积制作。
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公开(公告)号：CN107731939A
公开(公告)日：2018-02-23
申请号：CN201710867913.7
申请日：2017-09-22
Applicant: 华中科技大学
IPC: H01L31/0224 , G02F1/1343 , G03F7/00 , G06F3/041 , H01L31/18
CPC classification number: Y02P70/521 , H01L31/022466 , G02F1/13439 , G03F7/00 , G06F3/041 , G06F2203/04103
Abstract: 本发明属于微钠制造相关技术领域，其公开了基于光衍射的柔性透明碳电极制备方法，该方法包括以下步骤：(1)提供基底，并在所述基底上旋涂一层负性的光刻胶；(2)将掩膜设置在所述光刻胶上，并进行曝光处理，所述掩膜上设置有网格图形，所述网格图形呈矩形，其四个角部分别连接有大尺寸图形；(3)采用显影液对曝光后得到的样品进行显影后，再进行清洗以得到光刻胶悬浮网格；(4)将步骤(3)得到的样品在保护气体氛围下进行热解，并进行剥离以得到独立的整片碳网格结构，即柔性透明碳电极。本发明通过一次曝光即可获得光刻胶悬浮网格，工艺简单，参数容易控制，成品率较高。
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