一种考虑光增强效应的光学晶体表面微缺陷修复方法

    公开(公告)号:CN108687977B

    公开(公告)日:2020-05-12

    申请号:CN201810517278.4

    申请日:2018-05-25

    Abstract: 一种考虑光增强效应的光学晶体表面微缺陷修复方法,涉及一种光学晶体表面微缺陷修复方法。本发明为了解决目前还未实现光学晶体表面微缺陷精密微铣削修复工艺定型的问题。本发明首先采用显微镜对光学晶体表面缺陷点形貌和尺寸进行检测,获得表面待修复缺陷点的横向尺寸和纵向尺寸;通过对比待修复缺陷点的横向尺寸与数控轨迹加工可修复临界尺寸的大小决定微缺陷修复方式;然后基于电磁场理论,建立修复结构诱导光增强的仿真模型,对比分析不同形状和尺寸的修复结构所引起光增强大小,选取光增强最小的修复形状和尺寸规划出最优修复结构;根据已规划的最优修复结构,微铣削加工出相应的修复结构。本发明适用于光学晶体表面微缺陷修复。

    大口径精密光学晶体表面微缺陷修复用自动对刀工艺方法

    公开(公告)号:CN108705689A

    公开(公告)日:2018-10-26

    申请号:CN201810520556.1

    申请日:2018-05-25

    Abstract: 大口径精密光学晶体表面微缺陷修复用自动对刀工艺方法,属于精密光学加工领域。本发明是为了解决大口径KDP晶体元件表面微缺陷修复时人工对刀效率低、重复精度差等问题。根据捕捉的刀具及其倒影的轮廓信息,确定每帧图像中刀具与倒影的像素距离;对显微镜采集到的图像尺寸比例进行标定,确定刀具距晶体对刀表面的视觉距离;计算“投影法”对刀过程中视觉差引起的刀具与倒影间距离误差,估算刀具与晶体对刀表面的实际距离;确定最终对刀阶段的时机以保证对刀精准性。根据刀具与晶体的相对位置设计刀具在不同位置处的进给速度、步长参数,建立对刀程序实现刀具从零点到对刀完成的全自动化过程,节省晶体修复时间。

    具有平衡装置的大负载单端驱动移动平台

    公开(公告)号:CN105759389B

    公开(公告)日:2018-01-30

    申请号:CN201610231486.9

    申请日:2016-04-14

    Abstract: 具有平衡装置的大负载单端驱动移动平台,涉及一种大负载单端驱动移动平台。解决了现有单侧驱动易造成机构偏载,上升和下降过程中机构形变不同,影响设备的运行精度或安装过程中误差过大,会导致元件卡死在两侧导轨之间,造成设备损坏的问题。本发明的两个气缸结构的浮动接头的下端固定在承载框体的下边框的上表面,且浮动接头的上端与低摩擦力气缸杆螺纹连接,低摩擦力气缸杆在低摩擦力气缸体内做活塞运动,低摩擦力气缸体顶端穿过龙门横板与双耳环座固定链接,双耳环结构安装在龙门肋板上,双耳环结构(11)与双耳环座(12)之间通过气缸铰链轴铰接,实现相对旋转。本发明适用于作为单端驱动形成装置使用。

    大口径曲面光学元件表面微缺陷修复用快速装夹随行夹具装置

    公开(公告)号:CN105834636B

    公开(公告)日:2017-10-03

    申请号:CN201610231493.9

    申请日:2016-04-14

    Abstract: 大口径曲面光学元件表面微缺陷修复用快速装夹随行夹具装置,涉及一种随行夹具。解决了现有光学元件随行夹具装置存在夹持不稳定、易划伤光学元件且夹持过程耗时的问题。本发明的夹具框体为矩形框架,夹具框体的底边框的下表面设有两个定位球头,且两个定位球头以夹具框体竖直方向的中线为对称轴对称设置,夹具框体的前侧设置有两个前挡板,且固定在夹具框体的底边框上,夹具框体的左右两个边框上分别设置有一个侧面顶柱,两个侧面顶柱均固定在夹具框体的后侧,夹具框的左右两个边框上的外侧分别设有一个球窝件,夹具框体的上边框上固定有上顶柱,底部定位夹持件的一端夹持在夹具框体下边框上。本发明适用于作为随行夹具使用。

    一种光学元件体内采样光栅及其制备方法

    公开(公告)号:CN119644490A

    公开(公告)日:2025-03-18

    申请号:CN202411889581.9

    申请日:2024-12-20

    Abstract: 本发明一种光学元件体内采样光栅及其制备方法,涉及光学工程技术领域,为解决现有的采样光栅在熔石英元件表面进行光栅制备,同时还需在光栅表面涂敷不同功能的化学膜,易导致采样光栅表面污染物残留,进而降低采样光栅抗激光损伤性的问题。包括:S1、设计光栅结构,将光学元件表面的采样光栅通过优化设计在元件内部进行制备,依据采样光栅的参数要求设计体内采样光栅的线对、周期和占空比参数;S2、将大口径熔石英光学元件进行清洗,固定在加工平台上;S3、调整飞秒激光的波长,将光斑聚焦到元件内部,根据设计好的光栅参数进行内部改性加工;S4、调整聚焦光斑在元件内部进行移动,以特定线对在内部扫描改性,得到大口径熔石英元件体内采样光栅。

    一种薄壁球壳类复杂微小构件吸附装夹用气路传输装置与方法

    公开(公告)号:CN119115606A

    公开(公告)日:2024-12-13

    申请号:CN202411243789.3

    申请日:2024-09-05

    Abstract: 薄壁球壳类复杂微小构件吸附装夹用气路传输装置及方法,它涉及一种气路传输装置及方法。本发明为了解决常规负压吸附手段夹紧力无法控制、装夹精度差、负压无法传递至回转运动部件,导致无法满足薄壁球壳类复杂微小构件装夹需求的问题。本发明所述装置包括真空吸头和真空腔体,还包括负压连通管、工件轴、过渡元件、零点快换系统、气路导通管、快换连接件和夹具底座;负压连通管、工件轴、过渡元件、零点快换系统、快换连接件、夹具底座、真空腔体和真空吸头首尾依次连接,过渡元件通过气路导通管与夹具底座连接。本发明用于薄壁球壳类复杂微小构件表面特征结构加工时的稳定吸附。

    一种熔石英元件表面缺陷激光修复质量的自动检测方法

    公开(公告)号:CN114119556B

    公开(公告)日:2024-11-05

    申请号:CN202111428213.0

    申请日:2021-11-29

    Abstract: 一种熔石英元件表面缺陷激光修复质量的自动检测方法,涉及工程光学技术领域,用于检测熔石英元件表面缺陷的修复质量。本发明的技术要点包括:改变相机和元件之间的距离,采集对应不同聚焦状态下包含修复坑的多个图像;对不同聚焦状态下的多个图像进行景深融合,获取包含修复坑的清晰图像;将包含修复坑的清晰图像输入预训练的残余损伤检测模型,获取检测结果。本发明通过单幅拍照和扫描拍照结合的方式实现了不同尺寸修复坑图像的自动采集,使用景深融合与图像拼接方法获得了修复坑完整的全景深图像,使用基于卷积神经网络的目标检测方法实现了修复坑残余损伤的检测。本发明无需人工干预,可应用于元件表面缺陷修复后对于修复质量的自动检测。

    一种基于试切对刀的复杂微小构件加工机床铣削轴空间位置标定方法

    公开(公告)号:CN118720847A

    公开(公告)日:2024-10-01

    申请号:CN202410785876.5

    申请日:2024-06-18

    Abstract: 本发明提供一种基于试切对刀的复杂微小构件加工机床铣削轴空间位置标定方法,属于复杂微小构件加工领域。为解决现有机床铣削轴因偏置放置导致引入的空间位置无法准确、高效标定的问题。本发明基于试切对刀,将铣削轴轴线平行于Z轴移动方向时回转台位姿设为零点,通过回转台处于零点位置、顺时针偏转、逆时针偏转三种位姿下,对刀具和工件试切对刀,记录三种位姿下刀尖位置三维坐标,结合机床坐标系的空间坐标获得刀尖点在机床空间的相对位置坐标,通过理论分析数值拟合出三次对刀完成时刀尖点所在的同圆,由上述特定偏转角度求解出铣削轴空间位置,从而实现空间位置标定,为微结构加工程序的编写与加工表面质量提供数据支撑与精度保障。

    一种光学元件全口径表面微缺陷光致荧光检测用自动对焦检测方法

    公开(公告)号:CN116754565B

    公开(公告)日:2024-04-26

    申请号:CN202310977429.5

    申请日:2023-08-04

    Abstract: 本发明一种光学元件全口径表面微缺陷光致荧光检测用自动对焦检测方法,涉及光学元件技术领域,为解决现有的对焦检测方法,需要手动对焦及检测,效率低,且无法保证检测结果的准确性和一致性的问题。包括如下步骤:一、安装物镜与待测光学元件;二、确定待检测区域内多个标定检测点坐标,构建检测物镜焦平面方程,制定检测扫描路径;三、控制元件沿检测扫描路径移动进行检测,判断待测点是否处于物镜焦平面,若是,则在该点进行扫描检测,若不是,则计算补偿量并控制移动平台在调焦方向对元件进行距离补偿;四、实时保存光谱信息及检测成像信息;五、根据检测扫描路径判断检测是否结束。实现了光学元件表面微缺陷光致荧光检测的自动对焦及检测。

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