一类锌氧簇化合物在光刻胶领域的应用

    公开(公告)号:CN115407607A

    公开(公告)日:2022-11-29

    申请号:CN202210843159.4

    申请日:2022-07-18

    IPC分类号: G03F7/004 G03F7/16

    摘要: 本发明公开一类锌氧簇化合物在光刻胶领域的应用,其结构通式如A所示;将所述锌氧簇化合物或其组合物用作制备光刻胶,该一体化的光刻胶分子既是光敏剂,又是树脂,合成方法简单,原料简单易得,反应一步即可高产率得到产物,产物纯净,其中苯及其衍生物配体大大提高了锌氧簇在各种溶剂或显影剂中的溶解度,尤其是4‑三氟苯基配体的分子适合绝大多数溶剂,具有很强的工艺包容性,非常适合制备15~100nm不同厚度且均一的光刻胶薄膜。在生产中可以不加任何助剂,实施方便,大大降低了成本。所合成的光刻胶分子具有很高的热稳定性及储存稳定性、烘烤时不析出、光刻中不易变性、较好的成膜性、较低的粘度等,适用于不同类型的光刻技术。