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公开(公告)号:CN1835188A
公开(公告)日:2006-09-20
申请号:CN200610058970.2
申请日:2006-03-09
Applicant: 富士通株式会社
CPC classification number: H01H57/00 , H01H2057/006 , H01L41/094 , H01L41/316 , Y10T29/42
Abstract: 一种微移动器件,包括:基础衬底;固定部,其与基础衬底接合;可移动部,其具有连接至固定部的固定端,并沿着基础衬底延伸;以及压电驱动部,其设置在可移动部和固定部与基础衬底相反的一侧上。压电驱动部具有由第一电极膜、第二电极膜以及位于第一和第二电极膜之间的压电膜构成的层叠结构,该第一电极膜与可移动部和固定部接触。可移动部和固定部中的至少一个设置有沿着压电驱动部延伸的沟槽。
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公开(公告)号:CN1782779A
公开(公告)日:2006-06-07
申请号:CN200510125085.7
申请日:2005-11-18
Applicant: 富士通株式会社
IPC: G02B26/08
CPC classification number: H02N1/008 , G02B26/0841
Abstract: 一种微振荡元件,包括框架以及经扭转接合部件连接到框架的振荡部件。振荡部件包括可移动操作部件、臂部件以及第一梳齿电极。臂部件从可移动操作部件延伸。第一梳齿电极包括在与臂部件相交的方向上从臂部件延伸的多个第一电极齿。微振荡元件还包括第二梳齿电极,以与第一梳齿电极配合使得振荡部件绕着扭转接合部件限定的振荡轴振荡。第二梳齿电极包括在与臂部件相交的方向上从框架延伸的多个第二电极齿。
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公开(公告)号:CN103430272B
公开(公告)日:2015-12-02
申请号:CN201180069268.5
申请日:2011-06-02
Applicant: 富士通株式会社
IPC: H01H59/00
CPC classification number: B81B3/0018 , B81C1/00134 , H01H59/0009
Abstract: 本申请的提供一种提高电子器件的可靠性的电子器件及其制造方法、电子器件的驱动方法。所述电子器件(20)包括:基材(21);导电膜(31),具备固定在基材(21)上的第一端部(33)和第二端部(34),在第一端部(33)和第二端部(34)之间相对于基材(21)能够横向移动;第一驱动电极(25),设置于基材(21)上的与导电膜(31)的第一主表面(31a)相向的位置,并被施加第一驱动电压(V1);第二驱动电极(26),设置于基材(21)上的与导电膜(31)的第二主表面(31b)相向的位置,并被施加第二驱动电压(V2);端子(28),设置于基材(21)上的能够与导电膜(31)的第二主表面(31b)接触的位置。
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公开(公告)号:CN102190275B
公开(公告)日:2014-10-15
申请号:CN201110043026.0
申请日:2011-02-21
Applicant: 富士通株式会社
IPC: B81B3/00
CPC classification number: B81C1/00698 , B81B2201/0221 , H01G5/18
Abstract: 本发明涉及静电致动器及其驱动方法。静电致动器包括彼此相对的固定电极和可动电极,并且在所述固定电极和所述可动电极之间放置有电介质层,所述方法包括以下步骤:在固定电极和可动电极之间施加第一电压,使可动电极与电介质层进行接触,并且,在第一电压的施加停止后并且在可动电极从电介质层移开之前,在固定电极和可动电极之间施加第二电压。第二电压的极性与第一电压的极性相反,并且第二电压的绝对值小于第一电压的绝对值。
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公开(公告)号:CN103650340A
公开(公告)日:2014-03-19
申请号:CN201180072125.X
申请日:2011-07-07
Applicant: 富士通株式会社
CPC classification number: H03H7/0123 , H03H7/0115 , H03H7/0161 , H03H7/075 , H03H7/12 , H03H7/175 , H03H7/1758 , H03H7/1775 , H03H2001/0085 , H03H2007/008 , H03H2210/012 , H03H2210/015 , H03H2210/025 , H03H2210/033 , H03H2210/036 , H03H2250/00 , H04B1/10 , H04B1/1638 , H04B1/18
Abstract: 本发明的课题与可调滤波器的通频带的中心频率一起使通频带的带宽可变。本发明的解决手段在于,可调滤波器装置具有:第一串联臂,所述第一串联臂被串联地连接到信号线上,包含可调电容和电感,构成串联谐振器;第一并联臂和第二并联臂,在第一串联臂的两侧,所述第一并联臂和第二并联臂被连接到信号线和接地之间,分别包含可调电容和电感,构成被接地的串联谐振器,第一串联臂规定通频带的中心频率,第一并联臂和第二并联臂规定夹着通频带的衰减极点。
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公开(公告)号:CN103430272A
公开(公告)日:2013-12-04
申请号:CN201180069268.5
申请日:2011-06-02
Applicant: 富士通株式会社
IPC: H01H59/00
CPC classification number: B81B3/0018 , B81C1/00134 , H01H59/0009
Abstract: 本申请的提供一种提高电子器件的可靠性的电子器件及其制造方法、电子器件的驱动方法。所述电子器件(20)包括:基材(21);导电膜(31),具备固定在基材(21)上的第一端部(33)和第二端部(34),在第一端部(33)和第二端部(34)之间相对于基材(21)能够横向移动;第一驱动电极(25),设置于基材(21)上的与导电膜(31)的第一主表面(31a)相向的位置,并被施加第一驱动电压(V1);第二驱动电极(26),设置于基材(21)上的与导电膜(31)的第二主表面(31b)相向的位置,并被施加第二驱动电压(V2);端子(28),设置于基材(21)上的能够与导电膜(31)的第二主表面(31b)接触的位置。
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公开(公告)号:CN101859643B
公开(公告)日:2013-03-06
申请号:CN201010124349.8
申请日:2010-02-26
Applicant: 富士通株式会社
Abstract: 本发明公开一种可变电容元件。所述可变电容元件设置有衬底、设置在衬底上的信号线、设置在衬底上的固定电极和可动电极。可动电极包括可动部分和固定部分,可动部分跨过信号线并延伸到固定电极上方,并可相对于固定电极移动,固定部分隔着介电层固定到固定电极。
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公开(公告)号:CN101256899B
公开(公告)日:2011-12-07
申请号:CN200810081333.6
申请日:2008-02-25
Applicant: 富士通株式会社
Abstract: 一种可移动微器件,包括可移动部件、框架及连接部件。可移动部件具有主要部分、第一电容器电极及第一驱动器电极。电容器电极和驱动器电极具有从主要部分延伸的电极齿。框架包括第二电容器电极和第二驱动器电极,其中第二电容器电极具有朝向第一电容器电极延伸的电极齿,而第二驱动器电极具有朝向第一驱动器电极延伸的电极齿。连接部件将可移动部件连接到框架。第一电容器电极和第二电容器电极的电极齿在其初始位置交叠。可移动部件可旋转以改变第一驱动器电极与第二驱动器电极之间交叠的程度。
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公开(公告)号:CN102054587A
公开(公告)日:2011-05-11
申请号:CN201010532052.5
申请日:2010-10-27
Applicant: 富士通株式会社
IPC: H01G5/16
Abstract: 本发明涉及可变电容元件、可变电容设备和驱动可变电容元件的方法。可变电容元件包括第一固定电极和第二固定电极,其相互绝缘;可动电极,其设置成面对所述第一固定电极和所述第二固定电极;电介质层,其设置在所述可动电极与所述第一固定电极以及所述第二固定电极之间;第一接线部分,其用于根据所述可动电极的电位将第一驱动电压施加到所述第一固定电极;和第二接线部分,其用于根据所述可动电极的电位将第二驱动电压施加到所述第二固定电极,所述第二驱动电压具有与所述第一驱动电压的极性不同的极性。
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