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    MEMS开关
    1.
    发明授权
    MEMS开关 失效

    公开(公告)号：CN103843100B

    公开(公告)日：2016-04-27

    申请号：CN201180073883.3

    申请日：2011-10-06

    申请人： 富士通株式会社

    发明人： 豊田治 ,  岛内岳明

    IPC分类号： H01H57/00

    CPC分类号： H01L41/094 ,  B81B2201/016 ,  B81C1/00976 ,  H01H57/00 ,  H01H2057/006

    摘要： 提供一种容易制造并且能够有效抑制粘连的MEMS开关。MEMS开关具有：固定支撑部；板状挠性梁，至少一端被固定支撑在固定支撑部上，具有延伸的活动表面；活动电气触点，配置在挠性梁的活动表面上；固定电气触点，位置相对于固定支撑部固定，与活动电气触点相对置；第一压电驱动元件，从固定支撑部朝向活动电气触点而在挠性梁的活动表面的上方延伸，能够通过电压驱动使活动电气触点向固定电气触点发生位移；以及第二压电驱动元件，至少配置在挠性梁的活动表面上，通过电压驱动，向活动电气触点远离固定电气触点的方向驱动挠性梁的活动部。

    制造MEMS器件的方法以及MEMS器件
    3.
    发明授权
    制造MEMS器件的方法以及MEMS器件 失效

    公开(公告)号：CN102190286B

    公开(公告)日：2015-09-09

    申请号：CN201110057805.6

    申请日：2011-03-04

    申请人： 富士通株式会社

    发明人： 胜木隆史 ,  岛内岳明 ,  今井雅彦 ,  丰田治 ,  上田知史

    IPC分类号： B81C1/00 ,  B81B7/02

    CPC分类号： H01G7/00 ,  H01H57/00 ,  H01R9/00

    摘要： 本发明涉及制造MEMS器件的方法以及MEMS器件，并提供了制造优选地用于微机电系统的器件的制造方法。该方法包括以下步骤：在衬底上形成第一电极，其中第一电极至少在其一端处具有第一倾斜端部；在第一电极上形成牺牲层，其中牺牲层具有第一倾斜边缘，该第一倾斜边缘和第一倾斜端部彼此叠置，使得第一倾斜边缘的厚度随着第一倾斜端部的厚度增加而减小；在第一电极上形成第一隔离体，其中第一隔离体与第一倾斜边缘接触；在牺牲层和第一隔离体上形成梁电极；以及在形成梁电极以后去除牺牲层。

    致动器以及使用其的电子设备
    5.
    发明授权
    致动器以及使用其的电子设备 失效

    公开(公告)号：CN101488723B

    公开(公告)日：2012-07-18

    申请号：CN200910002664.0

    申请日：2009-01-14

    申请人： 株式会社东芝

    发明人： 西垣亨彦 ,  长野利彦 ,  板谷和彦 ,  川久保隆

    IPC分类号： H02N2/02

    CPC分类号： H01H57/00 ,  B81B3/0021 ,  B81B2201/032 ,  H01G5/18 ,  H01H2057/006 ,  H01L41/094 ,  H01L41/0973

    摘要： 本发明提供一种致动器以及使用其的电子设备，该致动器通过降低梁的翻翘的影响，最大静电电容大，此外缓和了在最大静电电容附近的静电电容的急剧的变化。本发明提供一种致动器，具备：第1梁，其从第1固定端延伸到第1连接端；第1固定部，其连结第1固定端与基板，并使上述第1梁在基板的主面的上方空出间隙地支撑第1梁；第2梁，其从第2连接端延伸到第1作用端，与第1梁并排地设置，并且具有由从第1作用端向着第2连接端延伸的第1缝隙分割而成的第1分割部；第1连接部，其连结第1连接端与第2连接端，并且使上述第2梁在基板的主面的上方空出间隙地保持第2梁；第1固定电极，其与第1分割部的、第1作用端侧的一部分相对，并且设置在基板的主面上。

    压电MEMS开关及制造方法
    6.
    发明授权
    压电MEMS开关及制造方法 失效

    公开(公告)号：CN101390226B

    公开(公告)日：2011-04-06

    申请号：CN200780006767.3

    申请日：2007-01-31

    申请人： 飞思卡尔半导体公司

    发明人： 刘连军

    IPC分类号： H01L41/00 ,  H02N2/00

    CPC分类号： H01H57/00 ,  H01H2057/006

    摘要： 一种MEMS压电开关(100)，其提供结构紧凑、易于在单个单元中制造、以及没有高温导致的接触材料的形态变化与作为结果而发生的对特性的不利影响的优点。高温导致的形态变化指：当诸如射频线(125，130)和短路条(150)的金属接触暴露到退火压电层所要求的温度或者如果换而使用高温沉积处理而在压电层的高温沉积期间所遇到的温度时，在制造期间发生的变化。

    低压微型开关
    10.
    发明公开
    低压微型开关 无效

    公开(公告)号：CN1540700A

    公开(公告)日：2004-10-27

    申请号：CN200410037301.8

    申请日：2004-04-23

    申请人： LG电子有限公司

    发明人： 朴宰永

    IPC分类号： H01H57/00

    CPC分类号： H01H57/00 ,  H01H2057/006

    摘要： 一种低压微型开关包括在其内具有驱动空间的基片；具有以悬梁形状从基片的一部分延伸到基片的驱动空间的压电材料和偏压电极的驱动装置；从基片的一侧以一定间隔延伸地形成并具有不相连部分的导电信号线；连接到驱动装置，被放置在驱动空间内并根据驱动装置的驱动移动的支承单元；形成在支承单元处并根据支承单元的运动连接或断开导电信号线的不相连部分的切换装置；及一个或多个形成在基片处的基单元。