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公开(公告)号：CN102054587B
公开(公告)日：2012-11-28
申请号：CN201010532052.5
申请日：2010-10-27
Applicant: 富士通株式会社
IPC: H01G5/16
Abstract: 本发明涉及可变电容元件、可变电容设备和驱动可变电容元件的方法。可变电容元件包括第一固定电极和第二固定电极，其相互绝缘；可动电极，其设置成面对所述第一固定电极和所述第二固定电极；电介质层，其设置在所述可动电极与所述第一固定电极以及所述第二固定电极之间；第一接线部分，其用于根据所述可动电极的电位将第一驱动电压施加到所述第一固定电极；和第二接线部分，其用于根据所述可动电极的电位将第二驱动电压施加到所述第二固定电极，所述第二驱动电压具有与所述第一驱动电压的极性不同的极性。
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公开(公告)号：CN100547723C
公开(公告)日：2009-10-07
申请号：CN200610058970.2
申请日：2006-03-09
Applicant: 富士通株式会社
CPC classification number: H01H57/00 , H01H2057/006 , H01L41/094 , H01L41/316 , Y10T29/42
Abstract: 一种微移动器件，包括：基础衬底；固定部，其与基础衬底接合；可移动部，其具有连接至固定部的固定端，并沿着基础衬底延伸；以及压电驱动部，其设置在可移动部和固定部与基础衬底相反的一侧上。压电驱动部具有由第一电极膜、第二电极膜以及位于第一和第二电极膜之间的压电膜构成的层叠结构，该第一电极膜与可移动部和固定部接触。可移动部和固定部中的至少一个设置有沿着压电驱动部延伸的沟槽。
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公开(公告)号：CN101276691A
公开(公告)日：2008-10-01
申请号：CN200810086194.6
申请日：2008-03-18
Applicant: 富士通株式会社
CPC classification number: H01G5/16 , B81B7/008 , B81C99/003 , H01H2059/0018
Abstract: 本发明提供了一种驱动控制微机械装置的设备和方法。在所述驱动控制微机械装置的方法中，所述微机械装置包括两个相对的电极和夹在电极之间的电介质层，在两个所述电极之间提供控制电压，所述控制电压为正极性和负极性交替反转的矩形波形。关于正侧和负侧检测由于提供所述控制电压而通过所述微机械装置的电流，基于检测到的电流，关于所述正侧和负侧获取与所述微机械装置的电容有关的参数。将所述控制电压控制为使得关于所述正侧和负侧获取的所述参数互相一致。这样，在可变电容装置的交换驱动中可抑制电容在正侧与负侧之间的变化。
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公开(公告)号：CN1835188A
公开(公告)日：2006-09-20
申请号：CN200610058970.2
申请日：2006-03-09
Applicant: 富士通株式会社
CPC classification number: H01H57/00 , H01H2057/006 , H01L41/094 , H01L41/316 , Y10T29/42
Abstract: 一种微移动器件，包括：基础衬底；固定部，其与基础衬底接合；可移动部，其具有连接至固定部的固定端，并沿着基础衬底延伸；以及压电驱动部，其设置在可移动部和固定部与基础衬底相反的一侧上。压电驱动部具有由第一电极膜、第二电极膜以及位于第一和第二电极膜之间的压电膜构成的层叠结构，该第一电极膜与可移动部和固定部接触。可移动部和固定部中的至少一个设置有沿着压电驱动部延伸的沟槽。
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公开(公告)号：CN1424820A
公开(公告)日：2003-06-18
申请号：CN02156069.2
申请日：2002-12-13
Applicant: 富士通媒体器件株式会社 , 富士通株式会社
CPC classification number: H03H9/6483 , H03H9/02559
Abstract: 一种表面声波元件，该表面声波元件包括呈梯形布置在一个压电基片上的表面声波(SAW)共振器，从表面声波元件的输入侧观察的第一级的串联臂共振器的共振频率fs1和所有剩余串联臂SAW共振器的平均共振频率fsav满足1.00fsav＞fs1≥0.99fsav。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN102664102B
公开(公告)日：2015-04-15
申请号：CN201210108857.6
申请日：2010-10-27
Applicant: 富士通株式会社
Abstract: 本发明涉及可变电容元件、可变电容设备和驱动可变电容元件的方法。可变电容元件包括第一固定电极和第二固定电极，其相互绝缘；可动电极，其设置成面对所述第一固定电极和所述第二固定电极；电介质层，其设置在所述可动电极与所述第一固定电极以及所述第二固定电极之间；第一接线部分，其用于根据所述可动电极的电位将第一驱动电压施加到所述第一固定电极；和第二接线部分，其用于根据所述可动电极的电位将第二驱动电压施加到所述第二固定电极，所述第二驱动电压具有与所述第一驱动电压的极性不同的极性。
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公开(公告)号：CN102664102A
公开(公告)日：2012-09-12
申请号：CN201210108857.6
申请日：2010-10-27
Applicant: 富士通株式会社
Abstract: 本发明涉及可变电容元件、可变电容设备和驱动可变电容元件的方法。可变电容元件包括第一固定电极和第二固定电极，其相互绝缘；可动电极，其设置成面对所述第一固定电极和所述第二固定电极；电介质层，其设置在所述可动电极与所述第一固定电极以及所述第二固定电极之间；第一接线部分，其用于根据所述可动电极的电位将第一驱动电压施加到所述第一固定电极；和第二接线部分，其用于根据所述可动电极的电位将第二驱动电压施加到所述第二固定电极，所述第二驱动电压具有与所述第一驱动电压的极性不同的极性。
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公开(公告)号：CN1947209B
公开(公告)日：2011-04-27
申请号：CN200480042925.7
申请日：2004-05-31
Applicant: 富士通株式会社
Abstract: 将具有两端侧的线路部(35a、35a)和中央侧的电容器部(35b)的下部可动电极(35)以及具有两端侧的线路部(37a、37a)和中央侧的电容器部(37b)的上部可动电极(37)配置成使电容器部(35b、37b)对置，与下部可动电极(35)和上部可动电极(37)电隔离地设置驱动下部可动电极(35)的下部可动电极用致动器(27a、27b、27c、27d)和驱动上部可动电极(37)的上部可动电极用致动器(29a、29b、29c、29d)的驱动电极。利用这些致动器(27a～27d和/或29a～29d)使下部可动电极(35)和/或上部可动电极(37)移动，调整两电容器部(35b、37b)间的距离来控制静电电容。
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公开(公告)号：CN101752088A
公开(公告)日：2010-06-23
申请号：CN200910221923.9
申请日：2009-11-23
Applicant: 富士通株式会社
Abstract: 本发明公开了可变电容元件。可变电容元件包括：基板；设置在基板上的信号线；设置为横跨信号线并且具有被固定到基板的第一端和第二端的可移动电极；以及设置在可移动电极两端中的至少一个与基板之间的固定电容部分。
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公开(公告)号：CN1815646B
公开(公告)日：2010-05-26
申请号：CN200510066849.X
申请日：2005-04-29
Applicant: 富士通株式会社
CPC classification number: H01G5/18 , H01G5/16 , Y10T29/417 , Y10T29/435
Abstract: 本发明涉及可变电容器及制造可变电容器的方法。第一可动电极是平坦的，但第二可动电极变形为凸形。在第二可动电极的相对面上设置电介质层。通过调节施加在第一可动电极和第二可动电极之间的电压，通过在所述两个电极之间产生的静电吸引力来在所述两个电极之间形成任意距离，从而获得所需的静电电容。当缩短两个电极之间的距离时，首先，在中心，第一可动电极的一部分和第二可动电极的一部分相互接触，其间夹有电介质层。然后，第一可动电极和电介质层(第二可动电极)从所述接触部分向外围依次相互接触，接触面积逐渐增加。
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