公开(公告)号：CN103779155B

公开(公告)日：2015-11-11

申请号：CN201310251929.7

申请日：2013-06-24

申请人： 日新离子机器株式会社

发明人： 井内裕 ,  谷井正博

IPC分类号： H01J27/02

摘要： 本发明提供一种等离子体源，能使防着板的交换周期延长、能提高等离子体源的运转率。等离子体源（1）包括：等离子体生成容器（2），具有冷却机构，生成等离子体用的气体导入其内部；防着板（5），配置在所述等离子体生成容器（2）的内侧；多个永磁体（3），配置在所述等离子体生成容器（2）的外侧，用于生成会切磁场；并且包括磁体（4），在等离子体生成容器（2）的内侧，在隔着等离子体生成容器（2）的壁面与永磁体（3）相对的位置，以与等离子体生成容器（2）的内壁面抵接的方式配置于等离子体生成容器（2）的内壁面。

公开(公告)号：CN103094027B

公开(公告)日：2015-11-11

申请号：CN201210208305.2

申请日：2012-06-19

申请人： 日新离子机器株式会社

发明人： 井内裕 ,  谷井正博

IPC分类号： H01J27/02 ,  H01J37/08

摘要： 本发明提供一种引出电极系统及狭缝电极，在具有多个狭缝电极的离子源中，引出电流量和控制性取得平衡的离子束。所述的离子源（1）具有多个狭缝电极（7）～（10）作为引出电极系统。狭缝电极（7）～（10）包括具有开口部（15）的电极框体（14）、以及在开口部（15）内排列设置的多个电极棒（16），在构成沿从离子源（1）发生的离子束（2）的行进方向位于最上游的狭缝电极（7）的电极棒（16）中，在相邻的电极棒（16）之间形成的狭缝状开口部（17）的形状沿着离子束（2）的行进方向呈大致锥台形。

公开(公告)号：CN103779155A

公开(公告)日：2014-05-07

申请号：CN201310251929.7

申请日：2013-06-24

申请人： 日新离子机器株式会社

发明人： 井内裕 ,  谷井正博

IPC分类号： H01J27/02

摘要： 本发明提供一种等离子体源，能使防着板的交换周期延长、能提高等离子体源的运转率。等离子体源（1）包括：等离子体生成容器（2），具有冷却机构，生成等离子体用的气体导入其内部；防着板（5），配置在所述等离子体生成容器（2）的内侧；多个永磁体（3），配置在所述等离子体生成容器（2）的外侧，用于生成会切磁场；并且包括磁体（4），在等离子体生成容器（2）的内侧，在隔着等离子体生成容器（2）的壁面与永磁体（3）相对的位置，以与等离子体生成容器（2）的内壁面抵接的方式配置于等离子体生成容器（2）的内壁面。

公开(公告)号：CN103094029A

公开(公告)日：2013-05-08

申请号：CN201210428083.5

申请日：2012-10-31

申请人： 日新离子机器株式会社

发明人： 井内裕

IPC分类号： H01J27/16 ,  H01J37/08

CPC分类号： H01J27/024 ,  H01J37/08 ,  H01J2237/0453

摘要： 本发明公开一种离子束引出电极和离子源。一种离子束引出电极，包括：电极框架以及多个离子引出孔形成部件。多个离子引出孔形成部件在一方向上间隔地设置。各个离子引出孔形成部件的至少一端被可移动地支撑。多个离子引出孔形成部件包括至少一个第一离子引出孔形成部件，其具有基本上杆形的主体部以及从主体部延伸的第一过渡部。第一过渡部与邻近第一离子引出孔形成部件的第二离子引出孔形成部件接触。以及一种离子源，包括其中具有阴极的等离子体容器，以及邻近等离子体容器设置的至少一片离子束引出电极。

公开(公告)号：CN103094027A

公开(公告)日：2013-05-08

申请号：CN201210208305.2

申请日：2012-06-19

申请人： 日新离子机器株式会社

发明人： 井内裕 ,  谷井正博

IPC分类号： H01J27/02 ,  H01J37/08

摘要： 本发明提供一种引出电极系统及狭缝电极，在具有多个狭缝电极的离子源中，引出电流量和控制性取得平衡的离子束。所述的离子源（1）具有多个狭缝电极（7）～（10）作为引出电极系统。狭缝电极（7）～（10）包括具有开口部（15）的电极框体（14）、以及在开口部（15）内排列设置的多个电极棒（16），在构成沿从离子源（1）发生的离子束（2）的行进方向位于最上游的狭缝电极（7）的电极棒（16）中，在相邻的电极棒（16）之间形成的狭缝状开口部（17）的形状沿着离子束（2）的行进方向呈大致锥台形。

公开(公告)号：CN102867717A

公开(公告)日：2013-01-09

申请号：CN201210057513.7

申请日：2012-03-06

申请人： 日新离子机器株式会社

发明人： 井内裕 ,  土肥正二郎 ,  谷井正博

IPC分类号： H01J27/02

摘要： 本发明提供防着板支承部件及具有该防着板支承部件的离子源，能提高将防着板向等离子体生成容器安装及将防着板从等离子体生成容器拆下时的工作效率。防着板支承部件(15)配置在等离子体处理装置及离子束照射装置中所使用的等离子体生成容器(4)内，具有至少一部分与等离子体生成容器(4)的内壁抵接的主体部(16)及从主体部(16)延伸设置的端部(17)，在将防着板支承部件(15)组装在等离子体生成容器(4)上时，端部(17)从等离子体生成容器(4)的内壁离开。

公开(公告)号：CN304546178S

公开(公告)日：2018-03-20

申请号：CN201730416741.2

申请日：2017-09-05

申请人： 日新离子机器株式会社

设计人： 井内裕

摘要： 1．本外观设计产品的名称：等离子体源。
2．本外观设计产品的用途：本外观设计产品用于生成等离子体。
3．本外观设计产品的设计要点：如图所示的形状。
4．最能表明本外观设计设计要点的图片或照片：设计1主视图。
5．指定基本设计：设计1。