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公开(公告)号：CN220993128U
公开(公告)日：2024-05-24
申请号：CN202323013755.9
申请日：2023-11-07
申请人： 杭州众能光电科技有限公司
IPC分类号： B23K26/359 , B23K26/70
摘要： 本实用新型公开了一种激光划线设备及激光划线系统，涉及半导体设备领域。该激光划线设备包括机体及设置于机体上的视觉检测模块，视觉检测模块包括两个视觉检测装置，机体上设置有划线区域，两个视觉检测装置用于在薄膜太阳能电池进入划线区域的状态下，分别获取薄膜太阳能电池上的基准线的两个端点的位置信息，以使机体根据两个端点的位置信息对薄膜太阳能电池进行位置矫正。本实用新型提供的激光划线设备能够自动化获取薄膜太阳能电池的位置信息作为位置矫正依据，保证矫正精度，从而保证划线精确。
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公开(公告)号：CN221166706U
公开(公告)日：2024-06-18
申请号：CN202322998064.2
申请日：2023-11-07
申请人： 杭州众能光电科技有限公司
IPC分类号： C23C14/22
摘要： 本实用新型公开了一种桌面式涂布成膜一体机，包括成膜机、对成膜机抽真空的真空泵、涂布机以及给涂布机提供氮气的氮气接口，还包括将成膜机和涂布机从外侧密封在一起的封闭机构，以避免基片转移时被外界污染。封闭机构将成膜机和涂布机封闭，这样在内部操作，避免外界接触，从而避免了污染。将涂布机和成膜机进行了不影响功能的优化，使两者能够放置于同一箱体中，并减小了大部分体积，同时也将操作进行了优化，箱体的主箱门也配有橡胶手套，可在不开门的情况下将涂布完成的基片从涂布机的平台上转移到成膜机上，避免了外界的污染。
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公开(公告)号：CN221379396U
公开(公告)日：2024-07-19
申请号：CN202322988706.0
申请日：2023-11-07
申请人： 杭州众能光电科技有限公司
IPC分类号： H01L31/18 , H01L31/04 , H01L21/683 , H01L21/67 , H01L21/677
摘要： 本实用新型公开了一种分离式载片台加热装置，包括对涂布后的载片进行加热的加热器，所述加热器位于载片台的上侧以减小载片台的空间占用，还包括对加热器进行支撑的支撑机构。相对于原有的加热器固定在载片台上，这里为分离式，减小载片台的空间占用，保证载片台的平整度和精度，增加使用寿命。加热器安装在支撑台上，上料时载片台移动至加热器的下方，气缸下降开始加热，加热达到要求后载片台向工作区域移动，结束后，气缸收回，完成一次加热，载片台旁也配有温探，可直接与触摸屏通讯，当达到温度上限时进行报警等处理，这里供了加热需求，也保留了载片台的平面度精度。
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公开(公告)号：CN210022693U
公开(公告)日：2020-02-07
申请号：CN201920278854.4
申请日：2019-03-06
申请人： 杭州众能光电科技有限公司
发明人： 付超
摘要： 本实用新型公开了一种高精度调节涂布头水平的狭缝式涂布机，包括涂布头连接板、涂布头固定板、两个螺旋测微头、第一螺旋测微头夹具、两个第二螺旋测微头夹具、轴承、涂布头、两个止推片，本实用新型结构合理，成本低，精度高，涂层均匀性优良，能够准确方便地进行平行度校准，从而节约了实验时间，提升了实验效率。
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