一种光热电和气氛协同的薄膜退火设备及退火工艺

    公开(公告)号:CN115613114A

    公开(公告)日:2023-01-17

    申请号:CN202211535218.8

    申请日:2022-12-02

    发明人: 石磊 付超

    摘要: 一种光热电和气氛协同的薄膜退火设备,包括舱体以及安装在舱体内部的基片台,基片台的上侧设置有安装在舱体内壁上的顶部光源,在基片台的下侧设置有安装在舱体内壁上的底部光源,舱体的前后端均连接有舱门,且舱体的底部连接有排气口,所述排气口连接真空泵,且舱体的右端连接有第一进气口,舱体的左端连接有第二进气口,基片台上设置有温度传感器,且温度传感器电性连接有控制器,控制器电性连接顶部光源和底部光源,还包括设置在基片台上对基片夹持和通电的夹持机构。第一进气口和第二进气口均可连接氮气或者工艺气体。

    一种光电薄膜退火方法和退火设备

    公开(公告)号:CN115458636A

    公开(公告)日:2022-12-09

    申请号:CN202211292064.4

    申请日:2022-10-21

    发明人: 付超 石磊 张文君

    摘要: 本发明公开一种光电薄膜退火方法和退火设备,涉及薄膜太阳能电池功能膜层制备领域,其中所述退火方法包括如下步骤:控制退火设备各轴归零,将形成薄膜需要退火的基片放置在设备基片台上;通过激光位移传感器获取激光光路终端与薄膜表面的绝对距离,并调节到合适的数值H1;使用连续激光器通过特定光路对薄膜进行线性加热,同步获取加热区域表面温度信息;根据表面温度信息计算激光参数,使薄膜表面获得需要的温度T1;对薄膜表面进行移动性加热,直至完成基片表面薄膜的退火处理;该方法利用激光快速加热薄膜本体,提升控温精度,能保证薄膜退火效果的情况下不加热基材,减弱了退火温度要求对基材的限制,免去了预热过程,提高退火处理效率。

    钙钛矿电池层跟随除尘控制装置及方法

    公开(公告)号:CN116967640B

    公开(公告)日:2024-01-05

    申请号:CN202311227029.9

    申请日:2023-09-22

    发明人: 马显 付超 石磊

    IPC分类号: B23K26/70 B23K26/38

    摘要: 本发明实施例提供了一种钙钛矿电池层跟随除尘控制装置和方法,该装置包括跟随除尘神经网络训练单元与跟随除尘单元。其中,训练单元通过多个传感器采集激光模块、除尘模块、钙钛矿电池层及环境的参数数据,经训练形成神经网络模型。跟随除尘单元依赖此模型,实时预测除尘模块的最佳工作位置,并驱动其紧随激光模块路径进行除尘,解决了现有技术中激光切割钙钛矿电池层后除尘装置或方法的除尘效率和精度都无法满足制造所需的技术问题,实现了在激光切割钙钛矿电池层过程中通过自动跟随激光模块的切割路径进行实时除尘,从而提高除尘效率和精度,保证钙钛矿电池层的清洁度和整体生产质量。

    基于钙钛矿电池层表面粗糙度的除尘参数控制方法及装置

    公开(公告)号:CN116913823A

    公开(公告)日:2023-10-20

    申请号:CN202311140888.4

    申请日:2023-09-06

    发明人: 马显 付超 石磊

    摘要: 本发明实施例提供了一种基于钙钛矿电池层表面粗糙度的除尘参数控制方法和装置,通过表面形貌分析系统获取激光切割区域(包含多个待激光切割点)的表面粗糙度集合分布数据,根据这些数据,确定每个待激光切割点的表面粗糙度值,根据这些表面粗糙度值,确定出对应的除尘参数控制策略,根据这些策略,控制除尘参数,进而使得除尘执行模块能根据这些除尘参数对待切割的钙钛矿电池层进行精准的除尘,解决了现有技术中在除尘过程中并未考虑钙钛矿电池层表面粗糙度的影响,或者未对各待激光切割点的表面粗糙度进行精确判断和处理,导致除尘效果不理想的问题,实现了精确识别和处理钙钛矿电池层各个区域的除尘需求的技术效果。

    一种复合半透明顶电极的薄膜光电器件及其制备方法

    公开(公告)号:CN115605033A

    公开(公告)日:2023-01-13

    申请号:CN202211292105.X

    申请日:2022-10-21

    发明人: 张文君 石磊 付超

    IPC分类号: H10K30/81 H10K71/60

    摘要: 一种复合半透明顶电极的薄膜光电器件及其制备方法。本发明公开了一种复合半透明顶电极的薄膜光电器件及制备方法。属于新材料太阳能电池领域,稳定性是阻碍薄膜光电器件产业化进程的重要因素,对于主流的电池采用的是金属背电极,存在金属扩散和化学腐蚀的问题,导致薄膜光电器件稳定性下降,采用无机电极的电池由于方阻问题导致效率比较低,所以针对该问题,本发明提供了一种复合半透明顶电极的薄膜光电器件以及制备方法,先制备空穴传输层,接着制备有机无机杂化半导体薄膜,随后沉积一层电子传输层,接着沉积一层界面修饰层,最后原位连续沉积制备的复合半透明顶电极(ITO/ITO‑X/AZO/AZO‑X,X=Cu或Ag),所述原位制备的复合半透明顶电极,通过原位连续复合溅射的方法制备无机‑金属/无机混合‑无机薄膜的复合半透明顶电极,即解决金属电极导致的稳定性问题,又解决了纯半透明顶电极因导电性较差导致的光电转换效率低下的问题,有利于实现半透明薄膜器件的产业化应用。

    一种采用金属氧化物复合隧穿层的薄膜光电器件及其制备方法

    公开(公告)号:CN115605032A

    公开(公告)日:2023-01-13

    申请号:CN202211292130.8

    申请日:2022-10-21

    发明人: 张文君 石磊 付超

    IPC分类号: H10K30/80 H10K71/00

    摘要: 一种采用金属氧化物复合隧穿层的薄膜光电器件及其制备方法以及制备方法摘要本发明公开了一种采金属氧化物复合隧穿层的薄膜光电器件及其制备方法以及制备方法。属于新材料太阳能电池领域,在现有的反式平板结构的薄膜光电器件中,导电基底与空穴传输层都是简单的物理叠加,导电基底与空穴传输层的接触电阻较大,电荷传输损失比较大,限制电池光电转换效率的提升,针对该问题,本发明提供了一种采金属氧化物复合隧穿层的薄膜光电器件及其制备方法,其结构为ITO透明导电层,原位制备ITO‑金属氧化物复合隧穿层,金属氧化物空穴传输层,接着制备有机无机杂化半导体薄膜,随后沉积电子传输层,接着沉积一层界面修饰层,最后沉积一层电极层,所述ITO‑金属氧化物复合隧穿层,使得ITO和金属氧化物层能有着良好的欧姆接触,提高了ITO/金属氧化物界面的电荷传输效率,减低了非辐射复合导致的效率损失,改善了反式薄膜光电器件的光电转换性能,有利于实现薄膜光电器件产业化。

    基于钙钛矿电池层表面粗糙度的除尘参数控制方法及装置

    公开(公告)号:CN116913823B

    公开(公告)日:2023-12-12

    申请号:CN202311140888.4

    申请日:2023-09-06

    发明人: 马显 付超 石磊

    摘要: 本发明实施例提供了一种基于钙钛矿电池层表面粗糙度的除尘参数控制方法和装置,通过表面形貌分析系统获取激光切割区域(包含多个待激光切割点)的表面粗糙度集合分布数据,根据这些数据,确定每个待激光切割点的表面粗糙度值,根据这些表面粗糙度值,确定出对应的除尘参数控制策略,根据这些策略,控制除尘参数,进而使得除尘执行模块能根据这些除尘参数对待切割的钙钛矿电池层进行精准的除尘,解决了现有技术中在除尘过程中并未考虑钙钛矿电池层表面粗糙度的影响,或者未对各待激光切割点的表面粗糙度进行精确判断和处理,导致除尘效果不理想的问题,实现了精确识别和处理钙钛矿电池层各个区域的除尘需求的技术效果。

    一种涂布注液装置及控制方法
    9.
    发明公开

    公开(公告)号:CN117548283A

    公开(公告)日:2024-02-13

    申请号:CN202311509994.5

    申请日:2023-11-13

    发明人: 付超 施陈杰 马显

    IPC分类号: B05C5/00 B05B15/55 B05C11/10

    摘要: 本发明涉及涂布设备技术领域,提供了一种涂布注液装置及控制方法,包括:样品单元中包括至少一种涂布溶液及至少一种清洁溶液;切换单元包括切换模组及旋转模组,切换模组包括中心孔、中心通道、多个边孔及多个阻挡结构;进样单元包括进样器及移动模组;外置气体单元与进样器的出口连接;控制器用于控制旋转模组、移动模组、阻挡结构及外置气体单元。在进样器吸入涂布溶液或清洁溶液前,中心孔连通与涂布头连接的边孔,进样器吸入空气,在进样器中形成预设空腔。实现了不用拆除就能对涂布头及管道进行清洁的技术效果,同时还能够避免切换模组的内部污染以及消除管路及涂布头中的液体残留的技术问题。

    钙钛矿电池层跟随除尘控制装置及方法

    公开(公告)号:CN116967640A

    公开(公告)日:2023-10-31

    申请号:CN202311227029.9

    申请日:2023-09-22

    发明人: 马显 付超 石磊

    IPC分类号: B23K26/70 B23K26/38

    摘要: 本发明实施例提供了一种钙钛矿电池层跟随除尘控制装置和方法,该装置包括跟随除尘神经网络训练单元与跟随除尘单元。其中,训练单元通过多个传感器采集激光模块、除尘模块、钙钛矿电池层及环境的参数数据,经训练形成神经网络模型。跟随除尘单元依赖此模型,实时预测除尘模块的最佳工作位置,并驱动其紧随激光模块路径进行除尘,解决了现有技术中激光切割钙钛矿电池层后除尘装置或方法的除尘效率和精度都无法满足制造所需的技术问题,实现了在激光切割钙钛矿电池层过程中通过自动跟随激光模块的切割路径进行实时除尘,从而提高除尘效率和精度,保证钙钛矿电池层的清洁度和整体生产质量。