公开(公告)号：CN107078454A

公开(公告)日：2017-08-18

申请号：CN201480083028.4

申请日：2014-12-15

Applicant: 极光先进雷射株式会社

Inventor： 柿崎弘司 ,  诹访辉 ,  若林理

IPC: H01S3/13 ,  H01S3/101 ,  H01S3/225

CPC classification number: G02B26/10 ,  B23K26/0676 ,  B23K26/352 ,  G02B26/101 ,  G02B26/12 ,  G21K5/08 ,  G21K5/10 ,  G21K2201/067 ,  H01L21/02422 ,  H01L21/02532 ,  H01L21/02592 ,  H01L21/0268 ,  H01L21/02686 ,  H01L21/02691 ,  H01L27/1285

Abstract: 该激光照射装置可以具备：激光装置，其输出脉冲激光；光束扫描光学系统，其将从激光装置输出的脉冲激光分配至多个光路；多个光束均匀器，它们分别配置于多个光路，分别使分配至多个光路的脉冲激光的光强分布均匀化；以及控制部，其将光束扫描光学系统控制成，将从激光装置输出的脉冲激光按照每个脉冲分配至多个光路。

公开(公告)号：CN207753289U

公开(公告)日：2018-08-21

申请号：CN201721638285.7

申请日：2017-11-30

Applicant: 极光先进雷射株式会社

Inventor： 柿崎弘司 ,  野川博行 ,  薮隆之

IPC: H01S3/03 ,  H01S3/038

Abstract: 本实用新型提供一种放电激励式气体激光装置，包括：激光腔室，其具有第一放电电极以及由导电性的保持部件所保持的第二放电电极；第一配线，其与所述第一放电电极电连接；第二配线，其一端与所述保持部件电连接，另一端与所述激光腔室的内壁电连接；所述第二配线从所述保持部件在所述激光腔室内被配置成直线状。由此，放电电路的电阻分量变小，能够减少甚至不需要调整放电电路的时间常数，并且减少由放电电路产生的电力损失。