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公开(公告)号：CN101946562A
公开(公告)日：2011-01-12
申请号：CN200980105786.0
申请日：2009-02-12
Applicant: 株式会社爱发科
Inventor： 根岸敏夫
CPC classification number: C23C14/12 , B05D1/60 , C23C14/243 , H01L51/001
Abstract: 形成膜质良好的有机薄膜。本发明的蒸气产生装置(20)具有蒸发室(21)、吐出头(35)、箱(31)。蒸镀材料(39)为液状，容纳在箱(31)中，从箱(31)将蒸镀材料(39)向吐出头(35)供给。吐出头(35)将供给至内部的蒸镀材料(39)从吐出口(38)吐出，配置在蒸发室(21)内部的加热部件(25)。吐出头(35)正确地供给必要量的蒸镀材料(39)。由于仅加热必要量的蒸镀材料(39)，因而蒸镀材料(39)不劣化，形成膜质良好的有机薄膜。
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公开(公告)号：CN1939095B
公开(公告)日：2010-12-08
申请号：CN200580010415.6
申请日：2005-12-13
Applicant: 株式会社爱发科
Inventor： 根岸敏夫
CPC classification number: B41J11/002 , H01L51/0005 , H01L51/0027 , H01L51/56
Abstract: 本发明提供一种不需要加热室和冷却室的涂敷装置。在沿X轴方向移动的涂敷对象物(14)上配置可在Y轴方向往复移动的喷出器(31)和激光照射装置(32a、32b)，对从喷出器(31)喷出到涂敷对象物(14)的局部表面的有机材料照射激光，进行加热使其干燥或聚合，实现薄膜化。反复进行喷出器(31)和激光照射装置(32a、32b)的Y轴方向的移动，和涂敷对象物(14)的X轴方向的移动，在涂敷对象物(14)的规定区域形成有机材料的薄膜。由于并行进行涂敷和激光照射，所以，作业效率高。而且，由于涂敷对象物(14)不处于高温，所以不需要冷却工序。
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公开(公告)号：CN101803462A
公开(公告)日：2010-08-11
申请号：CN200880107222.6
申请日：2008-09-04
Applicant: 株式会社爱发科
CPC classification number: C23C14/243 , C23C14/12 , C23C14/228 , H01L51/0011
Abstract: 提供一种有机材料蒸镀技术，该有机材料蒸镀技术能够提升蒸发材料的使用效率，并且，防止蒸发材料的经时劣化，而且，可靠地防止由蒸镀时的热导致的掩模的变形。本发明的有机材料用蒸发源，具有：喷淋板型的放出部(11)，在面内排列有多个放出口(12)；供给管(14)，设在放出部(11)内，经由喷出口(15)而向着放出部(11)的底部(11a)放出被导入的有机蒸发材料的蒸气并供给至放出部(11)内；以及冷却装置(17)，至少设在放出部(11)的放出口(12)侧的部位。冷却装置(17)，例如以将放出部(11)整体地覆盖的方式形成，在与放出部(11)的放出口(12)相对应的部位，具有使该有机蒸发材料的蒸气通过的蒸气通过孔(17a)。
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公开(公告)号：CN101803461A
公开(公告)日：2010-08-11
申请号：CN200880107221.1
申请日：2008-09-08
Applicant: 株式会社爱发科
Inventor： 根岸敏夫
CPC classification number: C23C14/246 , C23C14/12 , C23C14/228 , H01L51/001
Abstract: 即使不加快成膜速度，也形成均匀膜厚的薄膜。预先使配置于蒸发室(20a)内的蒸发装置(24)升温，从供给装置(40)使有机材料(48)落下至蒸发装置(24)的蒸发面(28)上，在使有机材料(48)蒸发时，将被加热的运载气体导入至蒸发室(20a)，在蒸发室(20a)内进行混合，并导入至放出装置(70)内。在仅将有机材料蒸气导入至放出装置(70)内的情况下，在放出装置(70)内形成分子流，但运载气体使放出装置(70)内的压力上升，因而形成粘性流，混合气体充满于放出装置(70)内，均匀地放出。每次少量地供给有机材料，使成膜速度不过快即可。
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公开(公告)号：CN101617564A
公开(公告)日：2009-12-30
申请号：CN200880005565.1
申请日：2008-02-15
Applicant: 株式会社爱发科
Inventor： 根岸敏夫
CPC classification number: H01J1/70 , H01L27/3244 , H01L51/5246 , H01L51/5253 , H01L51/529 , Y10T156/10
Abstract: 本发明提供一种发光效率不降低的显示装置。本发明的显示装置(1)由于是用填充膜(27)填充发光部(15)所在的凹部(13)之后再形成无机膜(28)，因此在无机膜(28)上不会产生龟裂。由于无机膜(28)是由类金刚石碳或AlN这样的气密性和导热性都很高的材料构成，因此，水或氧不易进入到发光部(15)中，而且发光部(15)的热被传递到无机膜(28)上，发光部(15)不会成为高温。此外，由于第一、第二面板(10)、(20)之间的空隙被树脂膜(29)填充，因此不会从外部进入大气。由于发光部(15)不会因水、氧或热而受到损伤，因此本发明的显示装置(1)的寿命长。
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公开(公告)号：CN100566487C
公开(公告)日：2009-12-02
申请号：CN200580001295.3
申请日：2005-05-11
Applicant: 株式会社爱发科
Inventor： 根岸敏夫
CPC classification number: H01L51/0003 , H01L51/5088
Abstract: 提供一种发光效率高的有机EL元件。本发明的有机EL元件(1)具有在透明电极膜(12)上由氧化钛构成的无机材料膜(14)，由于无机材料膜(14)对水那样的溶剂的亲和性比透明电极膜(12)高，因此，当将空穴输送物质那样的第1有机材料溶解在溶剂中而成的第1有机材料涂布在无机材料膜(14)的表面上时，第1有机材料能够在无机材料膜(14)的表面散开，形成厚度均匀的第1有机层(21)。由于第1有机层(21)的表面平坦，因而在将第2有机材料涂布在第1有机层(21)上时，可形成厚度均匀的第2有机层(22)。如上所述，本发明的有机EL元件(1)，其构成有机膜(20)的第1～第3有机层(21～23)的厚度均匀，因此，在使具有发光物质的有机层(22)发光时，可使其发光量均匀，发光效率高。
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公开(公告)号：CN100466022C
公开(公告)日：2009-03-04
申请号：CN200580001296.8
申请日：2005-05-11
Applicant: 株式会社爱发科
Inventor： 根岸敏夫
CPC classification number: H01L27/326 , H01L51/52 , H01L51/5206 , H01L2227/323
Abstract: 提供一种不使用ITO膜的有机EL显示装置。在半导体衬底(10)的背面形成由杂质区构成的公共电极(11)后，将有底的孔(20)呈行列状布置，在各孔(20)内形成有机发光层(40)，在它们的表面分别设置像素电极(43)。当在公共电极(11)和像素电极(43)之间施加电压时，有机发光层(40)便发光，发出的光透过公共电极(11)向外部射出。通过设置连接晶体管(115)只使所需要的像素(110)发光，便可得到显示装置(102)。
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公开(公告)号：CN1975527A
公开(公告)日：2007-06-06
申请号：CN200610162879.5
申请日：2006-11-28
Applicant: 株式会社爱发科
IPC: G02F1/1333
Abstract: 本发明提供一种面板制造装置及其制造方法。用于解决在面板制造过程中必须要采用带有隔离粒子的密封材料的技术问题。当被上基板保持部(44)吸附的基板(W2)与间隔形成块(61)的上面靠接时，即可控制上基板保持部(44)的下降。被下基板保持部(53)吸附的基板(W1)被收纳于间隔形成块(61)的内侧。两块基板(W1、W2)贴合时，上基板保持部(44)的下降被间隔形成块(61)所限制，因此两块基板(W1、W2)之间的间隔即被限制为规定的基板间隔。所以，这种面板制造装置无需采用隔离粒子即可形成所需要的间隔。同时，减少了清洗设备所需花费的功夫，提高了生产效率。
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公开(公告)号：CN1834285A
公开(公告)日：2006-09-20
申请号：CN200610059671.0
申请日：2006-03-17
Applicant: 株式会社爱发科
IPC: C23C14/35
Abstract: 本发明的目的在于不破坏有机薄膜表面地在其上形成溅射膜。在配置了靶(113a)的筒状侧壁(103)的开口中配置有粒子通路(130a)，在其两侧配置有第1、第2捕集磁铁(121a、122a)，在粒子通路(130a)中形成磁力线。在欲通过粒子通路(130a)的喷溅粒子中，只有中性粒子直行，因此，在成膜对象物的有机薄膜表面上形成溅射膜。由于带电粒子、电子因磁力线的作用而其飞行飞行弯曲，不会到达有机薄膜表面上，所以对有机薄膜的破坏较小。
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公开(公告)号：CN102639746B
公开(公告)日：2014-03-12
申请号：CN201080055842.7
申请日：2010-12-08
Applicant: 株式会社爱发科
CPC classification number: C23C14/12 , C23C14/246 , C23C14/564
Abstract: 逐次少量地向蒸发槽（41）内供给的有机材料与加热部（43）接触而被加热，成为蒸气并导入缓冲装置（50）中。在缓冲装置（50）中设有具有流路的缓冲部（52），在流路中流动的蒸气与缓冲部（52）碰撞，成为固体的有机材料而附着在缓冲部（52）上。当缓冲部（52）的表面被固体的有机材料覆盖时，蒸发槽（41）内的蒸气发生量的变动被缓冲部（52）抵消，蒸气从排放装置（12）的排放稳定。若在蒸气从排放装置（12）的排放稳定之前，预先将蒸气导入收集装置（60）中并使其在缓冲部（62）的表面上析出，则能够回收而再利用。
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