公开(公告)号：CN105676596B

公开(公告)日：2018-12-07

申请号：CN201510881762.1

申请日：2015-12-03

Applicant: 株式会社ORC制作所

Inventor： 奥山隆志 ,  菊地信司

IPC: G03F7/20

Abstract: 曝光装置，在该曝光装置中，简单且精度良好地检测或确认对焦状态。一边使载台(12)移动，一边向形成有缝隙(ST1～ST6)的遮光部(40)投影由条形图案(PL1～PL4)构成的图案列(PT)，由此从光电传感器(PD)输出光量信号。然后，基于根据光量信号求出的振幅比(M)，判断是否维持在对焦状态。

公开(公告)号：CN101470356A

公开(公告)日：2009-07-01

申请号：CN200810185054.4

申请日：2008-12-26

Applicant: 株式会社ORC制作所

Inventor： 奥山隆志

IPC: G03F7/20

Abstract: 本发明提供描绘装置及描绘方法。通过简单的结构来提高描绘处理速度并形成高精度的图案。在DMD中规定6个部分调制区域(D1～D6)，根据与1个部分调制区域的宽度相对应的曝光间距(RS)，进行利用分步重复的多重曝光动作。在各曝光动作中，基于光栅数据(描绘数据)，规定控制微镜的曝光ON区域(MON)、和将部分调制区域的微镜整体设定为OFF状态的曝光OFF区域(MOFF)，通过位于曝光ON区域(MON)的部分调制区域的微镜来向基板(SW)照射光。而且，每进行曝光动作时对构成曝光ON区域(MON)和曝光OFF区域(MOFF)的部分调制区域的组合进行更新，变更曝光ON区域(MON)和曝光OFF区域(MOFF)以使曝光ON区域(MON)循环移位。

公开(公告)号：CN101206408A

公开(公告)日：2008-06-25

申请号：CN200710159754.1

申请日：2007-12-21

Applicant: 株式会社ORC制作所

Inventor： 奥山隆志

IPC: G03F7/20

CPC classification number: G03F7/70291 ,  G03F7/70508

Abstract: 本发明提供曝光数据产生装置。所述曝光数据产生装置包括第一存储器、第二存储器和曝光数据存储器。第一存储器按位图格式存储绘图数据，作为用于曝光的第一数据。第二存储器存储第二数据，根据所述第一数据，所述第二数据在列方向的数据单位被转换为各个单元的信息的分辨率单位。曝光数据存储器存储曝光数据，所述曝光数据是通过在每个列单位的对第三数据的脉冲传输而获得的光栅数据。将第二数据重新排列并转换为第三数据，其中，将第二数据在列方向的各个单元的数据排列改变为行方向。所述单元构成根据所述曝光数据进行曝光的数字微镜装置的显示元素。

公开(公告)号：CN101191900A

公开(公告)日：2008-06-04

申请号：CN200710188799.1

申请日：2007-11-20

Applicant: 株式会社ORC制作所

Inventor： 奥山隆志

IPC: G02B26/08 ,  G03F7/20 ,  G03B27/32

Abstract: 本发明提供不会将电路构成作为复杂化、考虑藉由DMD被照射的位置而制作曝光数据的装置。曝光装置(1)具备制作基于作为在曝光用中被使用的向量数据的绘制数据而被制作的网格数据的曝光数据的控制部(10)，且具备被使用在曝光用、具有基于曝光数据被驱动的DMD的曝光部(15)，并具备具有藉由DMD被照射的绘制区域(23)、以及位置检测部(22)的绘制部(20)，其中位置检测部(22)具有PD群，其具有检测出有关于藉由DMD被照射的位置的信息的发光二极管。控制部(10)考虑有关于藉由位置检测部(22)而被检测出的位置的信息，制作曝光数据。