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公开(公告)号：CN117766600A
公开(公告)日：2024-03-26
申请号：CN202311783594.3
申请日：2023-12-22
申请人： 浙江晶盛机电股份有限公司 , 浙江晶盛光子科技有限公司
IPC分类号： H01L31/0224 , H01L31/18 , C23C16/515 , C23C16/56 , C23C16/02 , C23C16/22
摘要： 本发明提供了一种PECVD沉积BSG‑硼源层制备硼发射极的方法及硅片与装置系统，所述方法包括依次进行的硅片预处理、PECVD沉积和热退火处理；其中，所述PECVD沉积的温度为250‑500℃，压力为800‑3000mTorr，工艺气体包括SiH4、B2H6和N2O，稀释气体包括Ar、H2或N2中的任意一种或至少两种的组合。本发明提供的方法特别适用于大尺寸电池在大管径的PECVD设备上沉积BSG，提升了硼掺杂均匀性及掺杂浓度，降低了表面BSG层去除难度，改善了钝化效果，同时简化了工艺流程，提高了生产效率，有利于大规模推广应用。
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公开(公告)号：CN117184852A
公开(公告)日：2023-12-08
申请号：CN202311114290.8
申请日：2023-08-30
申请人： 浙江晶盛光子科技有限公司
摘要： 本发明公开了一种花篮转运系统，包括至少两个升降组件和横向转运组件，至少一个所述升降组件用于实现花篮的上料，至少一个所述升降组件用于实现花篮的下料，且所述升降组件包括位于底部的横向单元；所述横向转运组件设于多个所述升降组件之间并用于实现所述花篮在至少两个所述升降组件之间的转移；所述横向单元可上下移动并具有转运位置和避让位置，在所述转运位置，所述横向单元用于将所述花篮向输送设备转运或转接输送设备输送的所述花篮，在所述避让位置，所述横向单元与所述花篮脱离以使所述横向转运组件可将所述花篮从一个所述升降组件输送至另一个所述升降组件。本发明实施例的花篮转运系统具有花篮转运的可靠性较高的优点。
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公开(公告)号：CN116995138A
公开(公告)日：2023-11-03
申请号：CN202310989578.3
申请日：2023-08-07
申请人： 浙江晶盛光子科技有限公司
IPC分类号： H01L31/18 , H01L31/0216 , H01L31/06
摘要： 本发明涉及太阳能光伏电池技术本领域且公开了一种遂穿氧化层的制备方法、TOPCon电池硅片和TOPCon电池，所述遂穿氧化层的制备方法包括以下步骤：S1、对硅片的背面进行清洗抛光处理；S2、将清洗抛光后的所述硅片放置在工艺腔室内，所述工艺腔室升温至第一预设温度，向所述工艺腔室内通入具有刻蚀作用的第一气体，利用所述第一气体对所述硅片背面的自然氧化层进行刻蚀处理；S3、在所述硅片的背面沉积遂穿氧化层。本发明实施例的遂穿氧化层的制备方法制备的遂穿氧化层具有均匀性好的优点。
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公开(公告)号：CN221766697U
公开(公告)日：2024-09-24
申请号：CN202420287625.X
申请日：2024-02-07
申请人： 浙江晶盛光子科技有限公司
摘要： 本实用新型公开了一种扩散炉的框架结构及扩散炉，涉及扩散炉技术领域。该扩散炉的框架结构包括支撑架、隔热组件和电气安装板，支撑架包括炉体安装区域和电气元件安装区域。隔热组件设于炉体安装区域和电气元件安装区域之间，隔热组件用于隔离炉体安装区域中的热量。电气安装板设于电气元件安装区域内，且电气安装板与隔热组件间隔设置。本实用新型提供的扩散炉的框架结构，不仅通过隔热组件对炉体安装区域内的热量进行物理隔热，阻挡热量向电气元件安装区域传递；而且通过将电气安装板与隔热组件间隔设置进行空气隔热，有效降低了热量的传递速度，相对于现有技术中的扩散炉的框架结构隔热效果更好。
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公开(公告)号：CN221466551U
公开(公告)日：2024-08-02
申请号：CN202323649257.3
申请日：2023-12-29
申请人： 浙江晶盛光子科技有限公司
IPC分类号： H01L21/677 , H01L21/67 , C30B31/00
摘要： 本实用新型属于半导体制造技术领域，公开了一种舟托输送装置及扩散炉，舟托输送装置包括悬臂桨、安装架及调整机构，悬臂桨包括第一悬臂梁和第二悬臂梁，悬臂桨沿其轴向的一侧形成承载部，舟托能够载放于承载部上，悬臂桨沿其轴向的另一侧固定连接于安装架，安装架能够沿悬臂桨的轴向移动，调整机构固定连接于悬臂桨和安装架之间，并被配置为调整第一悬臂梁和第二悬臂梁的位姿。本实用新型中，调整机构能够调整第一悬臂梁和第二悬臂梁的位姿，从而使得第一悬臂梁和第二悬臂梁的相对位置满足要求，进而保证舟托能够稳定地载放于悬臂桨上。
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公开(公告)号：CN221459122U
公开(公告)日：2024-08-02
申请号：CN202322998873.3
申请日：2023-11-07
申请人： 浙江晶盛光子科技有限公司
IPC分类号： B65G47/90
摘要： 本实用新型公开了一种石墨舟搬运装置，属于光伏技术领域。该石墨舟搬运装置包括第一架体；X向移动模组，第一架体设置于所述X向移动模组，所述X向移动模组能够驱动所述第一架体沿X方向移动；Z向移动模组，设置于所述第一架体；第二架体，设置于所述Z向移动模组，所述Z向移动模组能够驱动所述第二架体沿Z方向移动；至少四组抓取模组，设置于所述第二架体的底部，每组所述抓取模组包括两个手抓组件，两个所述手抓组件能够相互靠近或分离，用于抓取石墨舟。本实用新型不仅避免石墨舟的磕碰损伤，而且能够实现至少四个石墨舟的自动化搬运，提高石墨舟的清洗效率。
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公开(公告)号：CN221899984U
公开(公告)日：2024-10-25
申请号：CN202420339050.1
申请日：2024-02-23
申请人： 浙江晶盛光子科技有限公司
IPC分类号： H01L21/673 , H01L31/18
摘要： 本实用新型涉及半导体加工技术领域，公开一种石英舟及硅片承载装置。其中石英舟包括承载组件、舟耳和两个沿第一方向间隔设置的端板。两个端板相互背离的一侧分别设置有舟耳，两个舟耳的底部形成搭接面，搭接面相对端板倾斜设置，搭接面的边缘设置有倒角；承载组件位于两个端板之间，承载组件用于承载硅片使得硅片平行于端板。本实用新型实现了硅片形成倾斜状态，满足生产需求；能够最大程度的增加载片量，相对于现有技术，提高了2％的载片量；降低了石英舟与舟托的组装难度，提高了组装效率。
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公开(公告)号：CN221480076U
公开(公告)日：2024-08-06
申请号：CN202420060285.7
申请日：2024-01-10
申请人： 浙江晶盛光子科技有限公司
IPC分类号： C23C16/505 , C23C16/458
摘要： 本实用新型公开了一种管式PECVD设备，属于太阳能电池生产技术领域。管式PECVD设备包括管式炉、电极杆组件和石墨舟载体，管式炉包括带有开口的炉体和可拆卸连接于开口处的炉门；电极杆组件包括两个第一电极杆和两个第二电极杆，两个第一电极杆设于炉体，两个第二电极杆设于炉门；石墨舟载体设于管式炉内，第一电极杆和第二电极杆插接于石墨舟载体的两端，电极杆组件与外界电源连接以在石墨舟载体上形成加热回路和放电回路。本实用新型的管式PECVD设备，简化了炉体的制备流程，以降低成本，方便后续维修和维护，避免影响设备产能。
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公开(公告)号：CN221176085U
公开(公告)日：2024-06-18
申请号：CN202323112600.0
申请日：2023-11-17
申请人： 浙江晶盛光子科技有限公司
摘要： 本实用新型公开了一种固态继电器，属于继电器技术领域。固态继电器包括继电器本体和液冷板，所述继电器本体设于所述液冷板，所述液冷板设有流道、两个第一开口和两个第二开口，所述流道通过所述第一开口和所述第二开口与外界连通，所述第一开口和所述第二开口二者中，一个用于与外部液冷装置连通，另一个用于封堵。本实用新型的固态继电器，通过冷却液在液冷板内循环流动，使冷却液与继电器本体进行热交换将热量导出，实现了继电器本体液冷散热。通过设置两个第一开口和两个第二开口，可以选择使用其中一对开口与外部液冷装置连接使用，能够根据安装空间等需求进行灵活调整，适用性更强。
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公开(公告)号：CN221453684U
公开(公告)日：2024-08-02
申请号：CN202323002116.2
申请日：2023-11-07
申请人： 浙江晶盛光子科技有限公司
摘要： 本实用新型公开了一种载片舟清洗装置的外腔结构和载片舟清洗装置，属于硅片生产技术领域。载片舟清洗装置的外腔结构包括外壳，内设有真空腔，真空腔内用于放置具有反应腔的内壳；第一开口开设于外壳上且与真空腔连通，第一开口用于取放待清洗的载片舟；真空口开设于外壳上且与真空腔连通，真空口用于对真空腔抽真空；吹气口开设于外壳上且与真空腔连通，吹气口用于向真空腔通入气体；第一密封件，用于密封第一开口。本实用新型的外壳用于保护具有反应腔的内壳，清洗前，通过真空口对真空腔抽真空，便于在真空腔内维持洁净的环境；清洗完成后，通过吹气口通入气体，使真空腔内的压力与外界压力相持平，便于打开第一密封件。
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