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公开(公告)号：CN107254672A
公开(公告)日：2017-10-17
申请号：CN201710392929.7
申请日：2017-05-27
申请人： 深圳先进技术研究院
摘要： 本发明提供一种真空镀膜设备的检测系统，所述检测系统包括控制装置和检测装置，所述检测装置包括摄像头和驱动结构，所述摄像头与所述驱动结构连接，所述控制装置包括控制单元，所述摄像头用于对所述真空镀膜设备的内部进行拍摄，所述控制单元用于控制所述驱动结构驱动所述摄像头移动。本发明提供的真空镀膜设备的检测系统，所述控制单元可以控制所述驱动结构驱动所述摄像头移动，所述摄像头移动可以对所述真空镀膜设备的内部的各个细节进行拍摄，从而在真空环境中便可以实现对真空镀膜设备的内部进行检测，避免真空镀膜设备的内部暴露在大气环境中。
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公开(公告)号：CN106893993A
公开(公告)日：2017-06-27
申请号：CN201710136620.1
申请日：2017-03-08
申请人： 深圳先进技术研究院
CPC分类号： C23C14/35 , C23C14/505 , C23C14/566
摘要： 本发明涉及一种溅射镀膜设备及其镀膜腔室，镀膜腔室包括：外壳，所述外壳围成镀膜腔，所述外壳包括底壁、前壁及与所述前壁相对的后壁；阴极，设置于所述前壁上，且沿所述前壁排列；基架，可滑动地设置于所述底壁上，所述基架的运动方向与所述阴极排列的方向一致；支架，可转动地设置于所述基架上，所述支架能够承载样品；及，驱动机构，用于驱动所述支架转动。上述溅射镀膜设备及其镀膜腔室，采用了基架、支架及驱动机构相配合的结构，从进样到镀膜再到出样的过程中，样品均随着基架移动，以实现连续生产。同时，驱动机构能够驱动支架转动，以实现对非平面异形样品各个表面上的均匀镀膜。
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公开(公告)号：CN102912310A
公开(公告)日：2013-02-06
申请号：CN201210327591.4
申请日：2012-09-06
CPC分类号： Y02P70/521
摘要： 一种玻璃基片装载装置，包括：与地面垂直设置的框架，框架上开设有用于收容玻璃基片的窗口，窗口的尺寸大于玻璃基片的尺寸；相互间隔设置的两个连接件，每一连接件的一端与框架位于所述窗口的顶部可转动相连，另一端与玻璃基片的顶部可转动相连，两个连接件的两个另一端的间距随着玻璃基片受热膨胀而伸长，且随着玻璃基片冷却收缩而缩小；及限位件，设于框架位于窗口的底部，限位件上开设有收容玻璃基片的底部的凹槽。当玻璃基片膨胀时，玻璃基片的横向间距会增大，两个连接件也会随之自然的张开，连接件之间的玻璃基片不会因为挤压而变形。本发明还提供一种应用了玻璃基片装载装置的立式镀膜装置。
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公开(公告)号：CN203038961U
公开(公告)日：2013-07-03
申请号：CN201220729897.8
申请日：2012-12-26
IPC分类号： H01L31/18 , H01L21/324
CPC分类号： Y02P70/521
摘要： 一种铜铟镓硒薄膜太阳能电池退火装置，用于对基片上的金属薄膜预制层进行硒化，包括退火炉、盖体及加热灯管；所述退火炉为盒状结构，所述退火炉包括开口端；所述盖体可转动地连接于所述退火炉的开口端，所述退火炉与所述盖体共同围成密闭的退火腔；所述加热灯管收容于所述退火腔中，并设置于所述盖体上。上述铜铟镓硒薄膜太阳能电池退火装置中，加热灯管收容于退火腔中，退火腔密封且体积较小，使得退火腔中的温度较高，提高了硒的蒸汽压，节省了硒或硫的用料，降低了成本。同时，加热灯管更靠近基片，具有较高的升温速率，保证所得铜铟镓硒薄膜的质量。
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公开(公告)号：CN207713807U
公开(公告)日：2018-08-10
申请号：CN201721745217.0
申请日：2017-12-14
申请人： 深圳先进技术研究院
摘要： 本实用新型涉及一种可控线性蒸发装置，该可控线性蒸发源包括坩埚、坩埚加热器、导管、导管加热器，所述坩埚和所述导管构成线性蒸发源，在所述导管和所述坩埚之间设置可控性阀门，来控制所述坩埚内材料气体的压力，进而在较短时间内改变材料气体的瞬间蒸发速率。采用该可控线性蒸发装置进行蒸发镀膜时，可以更准确地控制平均蒸发速率，扩大蒸发速率的调节区间，提高线性蒸发源的瞬间蒸发速率，同时在改变温度工艺时节约原料的消耗。(ESM)同样的发明创造已同日申请发明专利
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公开(公告)号：CN207201698U
公开(公告)日：2018-04-10
申请号：CN201721054952.7
申请日：2017-08-22
申请人： 深圳先进技术研究院 , 深圳市烯谷能源控股有限公司
摘要： 本实用新型公开了一种智能项圈，包括连接带、安装底座、柔性太阳能电池以及GPS定位装置，连接带与安装底座连接固定，柔性太阳能电池安装于安装底座的外侧表面上，GPS定位装置安装在连接带上，并且柔性太阳能电池与GPS定位装置电性连接。本实用新型采用柔性太阳能电池为蓄电池供电，可多次充放电，减少对野生动物人工麻醉次数，且电池损坏时，荧光条夜晚发出的光亮方便工作人员及时找到，可应用于对野生动物进行长期跟踪救助。
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公开(公告)号：CN203013779U
公开(公告)日：2013-06-19
申请号：CN201220741993.4
申请日：2012-12-26
IPC分类号： H01L31/18
CPC分类号： Y02P70/521
摘要： 一种薄膜太阳能电池退火装置，用于对基片上的金属薄膜预制层进行硒化或者硫化，包括退火炉、多个加热壁及固定座。所述退火炉为中空结构，其内部为反应空间；所述多个加热壁间隔设置于所述退火炉中，将所述反应空间分割为多个退火腔，所述加热壁上设有加热器；所述固定座为“U”字形结构，其上开设插槽，所述基片的部分边缘卡设于所述插槽中，并与所述固定座一同收容于所述退火腔中。上述薄膜太阳能电池退火装置中，退火腔的空间较小，很容易达到硒或硫的饱和蒸汽压，防止硒或硫从基片中脱出，节省了硒或硫的用料。
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