一种细晶粒铝钪合金靶材及其制备方法和应用

    公开(公告)号:CN110093588B

    公开(公告)日:2020-03-27

    申请号:CN201910439319.7

    申请日:2019-05-24

    摘要: 本发明涉及磁控溅射靶材制造技术领域,提供了一种细晶粒铝钪合金靶材及其制备方法。本发明首先将分散剂、粘结剂和水混合,得到预混液;然后将纳米级铝粉、纳米级钪粉和所述预混液混合后进行湿法球磨,得到铝钪合金靶材浆料;将所述铝钪合金靶材浆料注浆成型后,再将得到铝钪合金坯体依次进行脱脂和烧结,即得到本发明的细晶粒铝钪合金靶材。本发明提供的方法步骤简单,成本低,容易操作,所得铝钪合金靶材晶粒细小均匀,且氧含量低、密度大,适合用于微波通信系统相关器件的制备。

    一种氧化铟/氢氧化锡复合物、ITO靶材的制备方法

    公开(公告)号:CN118145965A

    公开(公告)日:2024-06-07

    申请号:CN202410217607.9

    申请日:2024-02-28

    摘要: 本发明提供了一种氧化铟/氢氧化锡复合物、ITO靶材的制备方法,属于ITO靶材领域。本发明提供了一种氧化铟/氢氧化锡复合物的制备方法,包括以下步骤:将纳米氧化铟、锡盐溶液、含氢氧根的无机碱和水混合进行沉淀反应,将所得沉淀反应产物进行造粒,得到所述氧化铟/氢氧化锡复合物;所述纳米氧化铟中铟元素与锡盐溶液中锡元素的摩尔比为20~100:1。本发明将纳米氧化铟采用直接引入的方式,避免了需要大量沉淀的操作,而微量掺杂的氢氧化锡采用沉淀的方式获得,可以保证氢氧化锡在氧化铟表面的均匀分布,使得其制备得到的ITO靶材中的氧化锡分布均匀,进而提高了ITO靶材致密度。

    一种大尺寸银合金镶嵌靶材及其制备方法和应用

    公开(公告)号:CN116770240A

    公开(公告)日:2023-09-19

    申请号:CN202310793789.X

    申请日:2023-06-30

    IPC分类号: C23C14/34 B23P15/00 C22C5/06

    摘要: 本发明提供了一种大尺寸银合金镶嵌靶材及其制备方法,属于溅射靶材技术领域。本发明提供的大尺寸银合金镶嵌靶材的制备方法,采用纯银靶加合金钉镶嵌的设计可以将合金钉与银靶冶金结合,结合面无缝隙空洞,导热导电性好,镶嵌处理得到的靶材结合紧密,溅射效率高、性能稳定、品质优良;利用旋转摩擦发热的原理将钉子放入靶槽中,使其熔化焊接在一起,解决了因靶钉与靶之间存在缝隙而引起的异常放电问题,操作简单,手持式钻头即可实现;且本发明的制备方法可以采用不同元素的合金钉在靶面上优化分布,实现多元合金靶。

    一种挤压磨设备和一种从ITO残靶/废靶中回收ITO粉末的方法

    公开(公告)号:CN111632730B

    公开(公告)日:2022-06-28

    申请号:CN202010511661.6

    申请日:2020-06-08

    摘要: 本发明提供了一种挤压磨设备和一种从ITO残靶/废靶中回收ITO粉末的方法,涉及光电材料循环利用技术领域。本发明提供的挤压磨设备包括进料口、挤压腔、振动装置、振动弹簧、吸粉装置和筛机,挤压腔的腔体内部竖向间隔排布有挤压饼。本发明提供的挤压磨设备结构简单、成本低,能够将颗粒从mm级研磨到μm级。本发明提供了从ITO残靶/废靶中回收ITO粉末的方法,通过表面清洁和酸洗、水淬处理、挤压磨碎处理和振动球磨处理,将ITO残靶/废靶加工成可直接用于ITO靶材制备的粒径为100~500nm的ITO粉末,过程简单、节能环保、成本低,适合大规模生产,回收得到的ITO粉末纯度高达99.99%,废靶回收率大于98%。

    一种从ITO蒸镀料切割废液中回收ITO粉末的方法

    公开(公告)号:CN111453764B

    公开(公告)日:2022-04-26

    申请号:CN202010493269.3

    申请日:2020-06-03

    IPC分类号: C01G19/00

    摘要: 本发明提供了一种从ITO蒸镀料切割废液中回收ITO粉末的方法,属于ITO蒸镀料制备技术领域。本发明将ITO蒸镀料切割废液进行固液分离,将所得固体依次在柴油和阴离子表面活性剂水溶液中浸泡洗涤后,得到初始粉末;将所述初始粉末进行碱煮,得到混合粉末;将所述混合粉末进行磁选,所述磁选剩余物即为ITO和SiC混合粉末;将所述ITO和SiC混合粉末在60~80℃的饱和蔗糖水溶液中进行比重分离,再将比重分离后的混合液进行固液分离,得到粗ITO粉末;将所述粗ITO粉末依次进行水洗和干燥,得到纯净的ITO粉末。本发明所提供的方法能够回收得到纯净的ITO粉末。

    一种钼铌合金靶材及其制备方法

    公开(公告)号:CN111590071B

    公开(公告)日:2022-04-12

    申请号:CN202010493086.1

    申请日:2020-06-03

    摘要: 本发明涉及粉末冶金制备技术领域,提供了一种钼铌合金靶材及其制备方法。本发明提供的制备方法包括以下步骤:将钼粉和铌粉混合后压制,得到生坯;所述钼粉的平均颗粒尺寸为2~5μm,铌粉的平均颗粒尺寸≤2μm;将所述生坯进行真空烧结处理,得到钼铌烧结体;将所述钼铌烧结体依次进行塑性变形和真空热处理,得到钼铌合金靶材。本发明提供的方法能够制备得到延展性好、致密度高的钼铌合金靶材,实施例结果表明,本发明制备得到的钼铌合金靶材在长度方向上可延伸3~5倍没有裂纹出现,能够从500mm延伸至2800mm,致密度可达99%。且本发明提供的方法无需进行热等静压烧结处理,大幅度的降低了生产成本。

    一种从ITO靶材磨削废液中回收ITO粉末的方法

    公开(公告)号:CN111606353A

    公开(公告)日:2020-09-01

    申请号:CN202010493263.6

    申请日:2020-06-03

    摘要: 本发明提供了一种从ITO靶材磨削废液中回收ITO粉末的方法,属于ITO靶材制造技术领域。本发明将ITO靶材磨削废液进行固液分离,得到含ITO粉末的固体;将所述含ITO粉末的固体进行化学除油,得到ITO粉末和SiC粉末的混合粉末;将所述ITO粉末和SiC粉末的混合粉末在60~80℃的饱和蔗糖水溶液中进行比重分离,再将比重分离后的混合液进行固液分离,得到粗ITO粉末;将所述粗ITO粉末依次进行水洗和干燥,得到ITO粉末。上述方法执行起来十分方便快捷,同时整个过程不需要过于复杂的设备,耗能小,使用的化学药品毒性小,对环境污染小。

    一种钼铌合金靶材及其制备方法

    公开(公告)号:CN111590071A

    公开(公告)日:2020-08-28

    申请号:CN202010493086.1

    申请日:2020-06-03

    摘要: 本发明涉及粉末冶金制备技术领域,提供了一种钼铌合金靶材及其制备方法。本发明提供的制备方法包括以下步骤:将钼粉和铌粉混合后压制,得到生坯;所述钼粉的平均颗粒尺寸为2~5μm,铌粉的平均颗粒尺寸≤2μm;将所述生坯进行真空烧结处理,得到钼铌烧结体;将所述钼铌烧结体依次进行塑性变形和真空热处理,得到钼铌合金靶材。本发明提供的方法能够制备得到延展性好、致密度高的钼铌合金靶材,实施例结果表明,本发明制备得到的钼铌合金靶材在长度方向上可延伸3~5倍没有裂纹出现,能够从500mm延伸至2800mm,致密度可达99%。且本发明提供的方法无需进行热等静压烧结处理,大幅度的降低了生产成本。

    一种从ITO蒸镀料切割废液中回收ITO粉末的方法

    公开(公告)号:CN111453764A

    公开(公告)日:2020-07-28

    申请号:CN202010493269.3

    申请日:2020-06-03

    IPC分类号: C01G19/00

    摘要: 本发明提供了一种从ITO蒸镀料切割废液中回收ITO粉末的方法,属于ITO蒸镀料制备技术领域。本发明将ITO蒸镀料切割废液进行固液分离,将所得固体依次在柴油和阴离子表面活性剂水溶液中浸泡洗涤后,得到初始粉末;将所述初始粉末进行碱煮,得到混合粉末;将所述混合粉末进行磁选,所述磁选剩余物即为ITO和SiC混合粉末;将所述ITO和SiC混合粉末在60~80℃的饱和蔗糖水溶液中进行比重分离,再将比重分离后的混合液进行固液分离,得到粗ITO粉末;将所述粗ITO粉末依次进行水洗和干燥,得到纯净的ITO粉末。本发明所提供的方法能够回收得到纯净的ITO粉末。

    一种细晶粒铝钪合金靶材及其制备方法和应用

    公开(公告)号:CN110093588A

    公开(公告)日:2019-08-06

    申请号:CN201910439319.7

    申请日:2019-05-24

    摘要: 本发明涉及磁控溅射靶材制造技术领域,提供了一种细晶粒铝钪合金靶材及其制备方法。本发明首先将分散剂、粘结剂和水混合,得到预混液;然后将纳米级铝粉、纳米级钪粉和所述预混液混合后进行湿法球磨,得到铝钪合金靶材浆料;将所述铝钪合金靶材浆料注浆成型后,再将得到铝钪合金坯体依次进行脱脂和烧结,即得到本发明的细晶粒铝钪合金靶材。本发明提供的方法步骤简单,成本低,容易操作,所得铝钪合金靶材晶粒细小均匀,且氧含量低、密度大,适合用于微波通信系统相关器件的制备。