低结瘤氧化铟锡靶材的制备方法

    公开(公告)号:CN109369172A

    公开(公告)日:2019-02-22

    申请号:CN201811505302.9

    申请日:2018-12-10

    申请人: 郑州大学

    IPC分类号: C04B35/453 C04B35/622

    摘要: 本发明公开了低结瘤氧化铟锡靶材的制备方法,该方法包括,氧化铟粉体、氧化锡粉体研磨混匀,得到混合粉体;混合粉体与料浆液混合,真空除气,得到料浆;料浆在压力下注入成型模具,冷等静压强化,得到靶材素坯;靶材素坯在恒温恒湿环境中干燥,在空气气氛下程序升温至脱脂温度,保持设定的时间,在氧气气氛下程序升温至烧结温度,保持设定时间;停止通入氧气,程序降温至室温,得到氧化铟锡靶材。本方法的烧结温度低,烧结时间大大缩短,有效抑制了晶粒长大,保证了氧化铟锡靶材晶粒细小、分布均匀,平均晶粒度为4~6μm;相对密度大于99.6%;电阻率低至1.24×10-4Ω.cm,具有长时间溅射结瘤低、不中毒的优异性能。

    氧化铟锡靶材的超低温制备方法

    公开(公告)号:CN109279873A

    公开(公告)日:2019-01-29

    申请号:CN201811390845.0

    申请日:2018-11-21

    申请人: 郑州大学

    摘要: 本发明公开的氧化铟锡靶材的超低温制备方法,将氧化铟粉体、氧化锡粉体球磨混匀,得到混合粉体;混合粉体与料浆液混合,得到粉料;粉料在模具中成形得到氧化铟锡靶材素坯,在模具中同时加压、升温;空气气氛中,在升高的温度、升高的压力下保持设定时间,降温至室温,得到了烧结密度高、晶粒度均匀的氧化铟锡靶材,制备温度低至450℃,晶粒尺寸在1.0μm以下,相对密度可达99.2%,制备时间短,不采用高浓度氧气气氛,制备过程安全,具有良好的工业应用前景。

    一种用于管状靶材制备的微波混合加热内旋转烧结装置

    公开(公告)号:CN108895828A

    公开(公告)日:2018-11-27

    申请号:CN201810466163.7

    申请日:2018-05-16

    申请人: 郑州大学

    IPC分类号: F27B5/00 F27B5/14 F27B5/06

    摘要: 本发明公开了一种用于管状靶材制备的微波混合加热内旋转烧结装置,该烧结装置包括烧结装置本体,该烧结装置本体包括炉膛上盖、炉膛本体和炉膛下盖;承烧台,设置在炉膛下盖上,用于放置管状靶材;旋转组件,用于旋转承烧台,该旋转组件可以为磁旋转组件;微波加热组件,设置在烧结装置本体上,用于对烧结装置加热;电阻加热组件,设置在烧结装置本体中,用于对烧结装置加热。微波混合加热内旋转烧结装置通过管状靶材的旋转和微波混合加热,实现了管状靶材烧结过程中不同温度段加热温度的均匀性,减小了大尺寸管状靶材在加热过程中受热不均的问题,能够制备出收缩均匀、烧结不形变、不开裂的大尺寸管状靶材。

    一种管状靶材的微波混合加热内旋转高温烧结方法

    公开(公告)号:CN108530087A

    公开(公告)日:2018-09-14

    申请号:CN201810466251.7

    申请日:2018-05-16

    申请人: 郑州大学

    IPC分类号: C04B35/64

    摘要: 本发明公开了一种管状靶材的微波混合加热内旋转高温烧结方法,包括管状靶材素坯成型;加热管状靶材素坯、加热过程中使管状靶材素坯处于旋转状态,在烧结温度下保持设定的时间,且加热采用微波加热与电阻加热混合方式进行,以及,降温、停止旋转、直至室温、得到烧结好的管状靶材。利用微波混合加热内旋转高温烧结方法能够制备出收缩均匀、无变形、无烧结裂变的管状靶材,制备方法简单,易于工业化应用。

    一种氧化铟锡靶材的短流程烧结工艺

    公开(公告)号:CN108516820A

    公开(公告)日:2018-09-11

    申请号:CN201810722380.8

    申请日:2018-07-04

    申请人: 郑州大学

    摘要: 本发明提供一种氧化铟锡靶材的短流程烧结工艺,包括:将氧化铟粉体及氧化锡粉体混合,得到混合粉体;向混合粉体中加入水、成型剂、分散剂和消泡剂,混合得到料浆;将料浆采用粉浆浇注成型,得到氧化铟锡素坯;氧化铟锡素坯进行一体化脱脂烧结,得到氧化铟锡靶材。采用脱脂烧结一体化工艺,烧结温度降低、烧结时间大大缩短,仅需要5天即可完成从脱脂烧结及降温的整个烧结过程。实现快速活化烧结,抑制晶粒长大,保证制备的氧化铟锡靶材的晶粒细小、均匀,平均晶粒度为4~5μm;致密度高,相对密度可达99.7%以上,具有较高的强度性能,抗弯强度≥200MPa。

    滚筒注浆成型制备氧化物陶瓷靶材的方法和装置

    公开(公告)号:CN108081436A

    公开(公告)日:2018-05-29

    申请号:CN201711292916.9

    申请日:2017-12-08

    申请人: 郑州大学

    IPC分类号: B28B1/20 C23C14/34

    CPC分类号: B28B1/20 C23C14/3414

    摘要: 本发明公开了一种滚筒注浆成型制备氧化物陶瓷靶材的方法和装置。该方法中,氧化物浆料流动分散于圆筒形模具的内壁上,在所述圆筒形模具的转动过程中形成氧化物靶材坯体。可以设置在圆筒形模具的转动过程中,氧化物浆料逐渐进入圆筒形模具内,该圆筒形模具由具有强吸水特性的石膏做成,氧化物浆料为低粘度、流动性好的氧化物浆料。该装置包括圆筒形的本体和设置于本体两端的封口部件,至少一个封口部件上设置有氧化物浆料进入的开口,且封口部件与本体可拆卸密封连接。方法简单易行,能够制备得到密度高的靶材坯体,装置简单,便于制备操作,可以制备的坯体尺寸可选范围大,成本低。

    一种制备三氯化钛粉体的方法和装置

    公开(公告)号:CN107758731A

    公开(公告)日:2018-03-06

    申请号:CN201711190456.9

    申请日:2017-11-24

    申请人: 郑州大学

    IPC分类号: C01G23/02

    摘要: 本发明公开了制备三氯化钛粉体的方法,该方法包括(1)四氯化钛与金属钛在低沸点金属氯化物熔盐介质中反应,得到具有二氯化钛饱和浓度的低价钛盐;将步骤(1)得到的低价钛盐与氯化氢气体反应,得到三氯化钛粉体;在步骤(1)之前,还包括低沸点金属氯化物熔盐的净化处理步骤;在步骤(2)之前,还包括对步骤(1)得到的低价钛盐进行脱水的步骤。利用本发明公开的方法制备的三氯化钛粉体,纯度高、分散性好。本发明还公开了制备三氯化钛粉体的装置。本发明公开的方法简单,装置设计合理,便于控制,得到的三氯化钛纯度高,适合于高温熔盐电解钛研究。

    镧系稀土掺杂氧化铟锌纳米粉体的制备方法

    公开(公告)号:CN116002749B

    公开(公告)日:2024-06-28

    申请号:CN202310048494.X

    申请日:2023-01-31

    申请人: 郑州大学

    摘要: 本发明公开了一种镧系稀土掺杂氧化铟锌纳米粉体的制备方法。该方法包括:分别配置设定浓度的镧系稀土盐水溶液、铟盐水溶液、锌盐水溶液和沉淀剂水溶液;将铟盐水溶液倒入反应器中;在搅拌条件下,滴加沉淀剂水溶液,当pH值达到3~5时,将镧系稀土盐水溶液加入反应器,滴加沉淀剂水溶液,当pH值达到6~8时,将锌盐水溶液加入反应器,滴加沉淀剂水溶液,当pH值达到9~11时,停止滴加沉淀剂水溶液,得到含镧系稀土掺杂的铟锌胶状沉淀的溶液;将含有镧系稀土掺杂的铟锌胶状沉淀的溶液升温搅拌熟化、冷却静置、分离洗涤,得到镧系稀土掺杂氧化铟锌的前驱体;将镧系稀土掺杂氧化铟锌的前驱体干燥、高温煅烧,得到镧系稀土掺杂氧化铟锌纳米粉体。

    强织构化高纯铜靶材的制备方法
    29.
    发明公开

    公开(公告)号:CN117139372A

    公开(公告)日:2023-12-01

    申请号:CN202311180291.2

    申请日:2023-09-13

    申请人: 郑州大学

    摘要: 本发明公开了一种强织构化高纯铜靶材的制备方法。该制备方法包括:多晶铜块退火制备高纯单晶铜块;高纯单晶铜块进行冷轧处理,冷轧方向平行于轧面,冷轧减薄量为80%~98%,每道次下压变形量为5%~20%;冷轧处理后的高纯单晶铜块进行淬火处理,然后进行抛光处理,得到强织构化高纯铜靶材,其中,强织构化高纯铜靶材中的晶粒尺寸小于30μm,强织构化高纯铜靶材中的主织构占比大于50%。本发明实施例公开的制备方法,多晶铜块退火制备高纯单晶铜块,然后控制冷轧条件、淬火条件调控高纯单晶铜块的织构及晶粒尺寸,制得的强织构化高纯铜靶材晶粒尺寸小,主织构占比高。本发明实施例公开的强织构化高纯铜靶材磁控溅射成膜速率高,膜层质量好、厚度分布均匀。

    低氧含量钛粉或钛合金粉及降低其氧含量的方法

    公开(公告)号:CN116904788A

    公开(公告)日:2023-10-20

    申请号:CN202310880772.8

    申请日:2023-07-18

    申请人: 郑州大学

    IPC分类号: C22C1/05 C22C14/00 C22C32/00

    摘要: 本发明实施例公开了低氧含量钛粉或钛合金粉及降低其氧含量的方法;方法包括步骤:S1、钛粉或钛合金粉与氧化钙粉混合,得混合粉体;S2、混合粉体与还原剂混合,在保护气氛中反应,反应温度设置为850~1200℃,反应时间设置为0.5~8h;其中,还原剂为钙粉体或者氢化钙粉体,保护气氛为氢气、氩气或氢气与氩气的混合气体;S3、洗涤反应产物,得到低氧含量的钛粉或钛合金粉。方法通过还原剂钙以及氢化钙与钛粉或钛合金Ti‑6Al‑4V粉的直接接触进行降氧,通过引入氢降低钛与氧的结合能力并在后续有效除氢有效来降低还原剂用量,并通过加入氧化钙粉末来阻碍高温时粉体的团聚烧结现象,得到低氧含量的钛粉或钛合金粉体;生产成本低,适于规模化生产。