用于制造场致发光显示设备的装置

    公开(公告)号:CN1838845A

    公开(公告)日:2006-09-27

    申请号:CN200610068273.5

    申请日:2006-03-22

    Inventor: 朴钟贤 卓润兴

    CPC classification number: C23C14/042 H01L27/3211 H01L51/56

    Abstract: 公开了用于制造有机场致发光设备的装置,其可以均匀地分布施加于该掩模的压力。按照本发明的用于制造有机场致发光设备的装置包括安排在掩模的边缘上用于夹紧该掩模的多个夹子;形成在每个夹子上并且与该掩模接触的多个钳夹;和用于给该夹子供给电源以拉伸该掩模的电源单元。每个夹子由上面部分和下面部分构成,并且至少两个钳夹均形成在该上面和下面部分的相应的表面上。该钳夹被直线形式排列在每个夹子上,或者以之字形状态排列在每个夹子上。此时,该钳夹通过彼此均等的间距排列。此外,该钳夹可以随机地排列在该夹子上。

    有机场致发光膜蒸镀用蒸镀源

    公开(公告)号:CN1487116A

    公开(公告)日:2004-04-07

    申请号:CN03178764.9

    申请日:2003-07-18

    CPC classification number: C23C14/12 C23C14/243 C23C14/543 H01L51/56

    Abstract: 本发明提供了可以补偿加热装置与蒸镀材料表面之间的间隔变化的、用于形成有机场致发光膜的蒸镀源。包括:容器,由上部板、侧壁和底构件构成;加热装置,对蒸镀材料提供热量;以及移动装置,根据探测装置的信号进行工作,移动加热装置,加热装置借助于移动装置向下移动,使得加热装置与蒸镀材料表面之间的间隔维持初始设定值。探测装置和加热装置设置在上部板上,移动装置包括:多个缸筒,使上部板上下移动;以及控制装置,接收探测装置的信号,当上部板与蒸镀材料表面之间的间隔比设定的间隔大时,使缸筒工作,沿侧壁向下移动上部板。

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